Apakah Precision Granite merupakan material terbaik untuk komponen litografi semikonduktor?

Karena sifatnya yang non-magnetik, kekakuan yang tinggi, dan ekspansi termal yang mendekati nol, Precision Granite merupakan material penting untuk memastikan presisi tingkat nanometer dalam litografi dan metrologi.

Stabilitas Non-Magnetik dan Kimiawi

Dalam lingkungan elektromagnetik intensitas tinggi pada proses fabrikasi semikonduktor,Komponen granitMencegah gangguan karena sifatnya yang non-magnetik. Selain itu, granit bersifat inert secara kimia dan tidak mengeluarkan gas atau menghasilkan partikel, sehingga sangat cocok untuk lingkungan ruang bersih ISO Kelas 1.

Kekakuan Fisik dan Ketahanan Terhadap Per creepan yang Maksimal

Granit hitam dengan kepadatan tinggi yang dipilih oleh ZHHIMG menawarkan kekerasan yang ekstrem. Di bawah beban jangka panjang, granit ini hampir tidak menunjukkan deformasi fisik, sehingga memberikan fondasi yang stabil dan permanen untuk tahap XY dan memastikan akurasi pemosisian yang konsisten dan berulang selama bertahun-tahun beroperasi.

Keunggulan Alami dalam Ekspansi Termal

Proses semikonduktor sangat sensitif terhadap panas. Koefisien ekspansi termal granit yang rendah mengimbangi panas yang dihasilkan oleh motor presisi. Dikombinasikan dengan pemesinan presisi tinggi kami, hal ini memastikan bahwa komponen mempertahankan integritas geometrisnya di berbagai suhu operasional.

Komponen granit dengan stabilitas tinggi

Matriks Kinerja Material

Milik Granit Hitam (Jinan Black) Keramik Tingkat Lanjut Paduan Aluminium
Kepadatan (g/cm³) 3.07 3.6 – 3.9 2.7
Modulus Elastisitas (GPa) 95 – 100 300+ 70
Ekspansi Termal 5.0 – 7.0 (10⁻⁶/K) 4.0 – 8.0 23.0

Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ): Granit Presisi

  1. Mengapa memilih granit "Hitam"? Granit ini memiliki kepadatan lebih tinggi, daya serap air lebih rendah, dan stabilitas lebih baik daripada granit abu-abu.

  2. Tingkat presisi apa yang Anda tawarkan? Kami memproduksi hingga standar DIN 876 Grade 000.

  3. Berapa ukuran maksimumnya? ZHHIMG dapat memproses satu bagian hingga sepanjang 12 meter.

  4. Bagaimana cara merawat komponen granit? Gunakan pembersih khusus dengan pH netral dan hindari kontak dengan zat asam.

  5. Bisakah Anda mengebor lubang untuk sisipan? Ya, kami menyediakan pengeboran presisi dan pengikatan sekunder untuk Sisipan Baja Tahan Karat.

  6. Apakah cocok untuk penggunaan vakum? Tentu saja, granit alami tidak mengeluarkan gas dalam kondisi vakum.


Waktu posting: 29 Mei 2026