Sistem bantalan udara granit banyak digunakan dipresisi ultraPlatform gerak untuk manufaktur semikonduktor, penyelarasan optik, dan metrologi skala nanometer.
Sistem ini menghilangkan kontak mekanis dengan menggunakan lapisan tipis udara bertekanan, sehingga menghasilkan gerakan dengan gesekan mendekati nol.
Prinsip Bantalan Udara
Bantalan udara bekerja dengan memasukkan udara bertekanan di antara dua permukaan, membentuk lapisan udara setebal 2–20 μm.
Ini menghilangkan:
- Gesekan mekanis
- Memakai
- Perilaku selip-lengket
Sistem ini bergantung pada dinamika lapisan fluida dan aliran laminar yang stabil.
Peran Granit
Granit menyediakan:
- Stabilitas struktural
- Penekanan pergeseran termal
- Peredaman getaran
Ini berfungsi sebagai basis referensi mekanis untuk sistem gerak.
Komponen Sistem
- Dasar granit
- Bantalan udara
- Sistem pasokan udara
- Encoder presisi
- Sistem kontrol gerak
Karakteristik Kinerja
Kinerja tipikal meliputi:
- Akurasi pemosisian sub-mikron
- Kelurusan tinggi pada perjalanan panjang
- Tidak ada reaksi balik mekanis sama sekali.
Sumber kesalahan utama meliputi ketidakstabilan tekanan udara, pergeseran termal, dan kesalahan encoder.
Aplikasi
- Inspeksi wafer semikonduktor
- Sistem litografi
- Platform penyelarasan optik
- Mesin metrologi kelas atas
Pertanyaan yang Sering Diajukan (FAQ)
Apakah bantalan udara bisa aus?
Tidak adanya kontak mekanis menghilangkan keausan.
Mengapa menggunakan granit?
Untuk stabilitas dan peredaman getaran.
Apa yang membatasi akurasi?
Stabilitas udara dan efek termal.
Bisakah mereka membawa beban berat?
Ya, tergantung pada desainnya.
Waktu posting: 03 Juli 2026