♦ Alumina (al2O3)
Bagian-bagian keramik presisi yang diproduksi oleh Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) dapat dibuat dari bahan baku keramik dengan kemurnian tinggi, 92 ~ 97% alumina, 99,5% alumina,> 99,9% alumina, dan penekan isostatik dingin CIP. Sintering suhu tinggi dan pemesinan presisi, akurasi dimensi ± 0,001mm, kehalusan hingga RA0.1, gunakan suhu hingga 1600 derajat. Berbagai warna keramik dapat dibuat sesuai dengan persyaratan pelanggan, seperti: hitam, putih, krem, merah gelap, dll. Bagian keramik presisi yang diproduksi oleh perusahaan kami resisten terhadap suhu tinggi, korosi, keausan, dan isolasi, dan dapat digunakan untuk waktu yang lama dalam suhu tinggi, vakum dan lingkungan gas korosif.
Banyak digunakan dalam berbagai peralatan produksi semikonduktor: bingkai (braket keramik), substrat (pangkalan), lengan/ jembatan (manipulator), komponen mekanik dan bantalan udara keramik.
| Nama Produk | Kemurnian Tinggi 99 Alumina Keramik Square Tube / Pipe / Batang | |||||
| Indeks | Satuan | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
| Kepadatan | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan air | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Suhu yang disinter | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuatan Bending (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuatan tekan | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu kerja yang lama | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. Suhu kerja | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistivitas volume | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Penerapan keramik alumina kemurnian tinggi:
1. Diaplikasikan pada Peralatan Semikonduktor: Chuck vakum keramik, cakram pemotongan, cakram pembersih, chuck keramik.
2. Bagian Transfer Wafer: Penanganan wafer chucks, cakram pemotongan wafer, cakram pembersih wafer, cangkir pengisapan inspeksi optik wafer.
3. LED / LCD Panel Flat Display Industri: Nozzle keramik, cakram gerinda keramik, pin lift, pin rail.
4. Komunikasi Optik, Industri Surya: Tabung Keramik, Batang Keramik, Pencetak Layar Sirkuit Pencetakan Keramik.
5. Bagian yang tahan panas dan isolasi listrik: bantalan keramik.
Saat ini, keramik aluminium oksida dapat dibagi menjadi kemurnian tinggi dan keramik umum. Seri keramik aluminium oksida kemurnian tinggi mengacu pada bahan keramik yang mengandung lebih dari 99,9% al₂o₃. Karena suhu sintering hingga 1650 - 1990 ° C dan panjang gelombang transmisinya dari 1 ~ 6μm, biasanya diproses menjadi kaca yang menyatu alih -alih platinum wadah: yang dapat digunakan sebagai tabung natrium karena transmisi cahaya dan ketahanan korosi terhadap logam alkali. Dalam industri elektronik, ini dapat digunakan sebagai bahan isolasi frekuensi tinggi untuk substrat IC. Menurut berbagai kandungan aluminium oksida, seri keramik aluminium oksida umum dapat dibagi menjadi 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik dan 85 keramik. Kadang -kadang, keramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga diklasifikasikan sebagai seri keramik aluminium oksida umum. Di antara mereka, 99 bahan keramik aluminium oksida digunakan untuk menghasilkan wadah suhu tinggi, tabung tungku perapian dan bahan tahan aus khusus, seperti bantalan keramik, segel keramik dan pelat katup. 95 keramik aluminium terutama digunakan sebagai bagian yang tahan terhadap korosi. 85 Keramik sering dicampur dalam beberapa sifat, sehingga meningkatkan kinerja listrik dan kekuatan mekanik. Ini dapat menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan segel logam lainnya, dan beberapa digunakan sebagai perangkat vakum listrik.
| Item Kualitas (Nilai Representatif) | Nama Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi kimia produk sintering mudah sodium mudah | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Tertawa terbahak-bahak | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| Mgo* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diameter partikel sedang (MT-3300, metode analisis laser) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Ukuran kristal α | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Membentuk kepadatan ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Kepadatan sintering ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Menyusutnya laju garis sintering ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO tidak termasuk dalam perhitungan kemurnian al₂o₃.
* Tidak ada bubuk penskalaan 29.4mpa (300kg/cm²), suhu sintering adalah 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambahkan 0,05 ~ 0,1% MGO, sinterabilitasnya sangat baik, sehingga berlaku untuk keramik aluminium oksida dengan kemurnian lebih dari 99%.
AES-22S: Ditandai dengan kepadatan pembentukan tinggi dan tingkat penyusutan yang rendah dari garis sintering, ini berlaku untuk slip casting bentuk dan produk skala besar lainnya dengan akurasi dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ini memiliki kepadatan pembentukan yang lebih tinggi, thixotropy dan viskositas yang lebih rendah daripada AES-22S. Yang pertama digunakan untuk keramik sementara yang terakhir digunakan sebagai peredam air untuk bahan perapian, mendapatkan popularitas.
♦ Karakteristik silikon karbida (sic)
| Karakteristik umum | Kemurnian komponen utama (wt%) | 97 | |
| Warna | Hitam | ||
| Kepadatan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Penyerapan air (%) | 0 | ||
| Karakteristik mekanis | Kekuatan Lentur (MPA) | 400 | |
| Modulus Muda (IPK) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (IPK) | 20 | ||
| Karakteristik termal | Suhu operasi maksimum (° C) | 1600 | |
| Koefisien Ekspansi Termal | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Konduktivitas termal (W/M x K) | 130 110 | ||
| Resistansi goncangan termal ΔT (° C) | 300 | ||
| Karakteristik Listrik | Resistivitas volume | 25 ° C. | 3 x 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Konstanta dielektrik | 10GHz | - | |
| Kehilangan dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Q Factor (x 104) | - | ||
| Tegangan kerusakan dielektrik (kV/mm) | - | ||
♦ Keramik nitrida silikon
| Bahan | Satuan | Si₃n₄ |
| Metode sintering | - | Tekanan gas disinter |
| Kepadatan | g/cm³ | 3.22 |
| Warna | - | Abu -abu gelap |
| Laju penyerapan air | % | 0 |
| Modulus muda | IPK | 290 |
| Kekerasan Vickers | IPK | 18 - 20 |
| Kekuatan tekan | MPa | 2200 |
| Kekuatan menekuk | MPa | 650 |
| Konduktivitas termal | W/mk | 25 |
| Resistensi goncangan termal | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Suhu operasi maksimum | ° C. | 1200 |
| Resistivitas volume | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
| Konstanta dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuatan dielektrik | kv/mm | 16 |