♦Alumina (Al2O3)
Komponen keramik presisi yang diproduksi oleh ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) dapat dibuat dari bahan baku keramik dengan kemurnian tinggi, yaitu 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, dan proses pengepresan isostatik dingin CIP. Sintering suhu tinggi dan pemesinan presisi menghasilkan akurasi dimensi ±0,001 mm, kehalusan hingga Ra0,1, dan suhu penggunaan hingga 1600 derajat. Berbagai warna keramik dapat dibuat sesuai kebutuhan pelanggan, seperti: hitam, putih, krem, merah tua, dll. Komponen keramik presisi yang diproduksi oleh perusahaan kami tahan terhadap suhu tinggi, korosi, keausan, dan isolasi, serta dapat digunakan dalam jangka panjang di lingkungan bersuhu tinggi, vakum, dan gas korosif.
Banyak digunakan dalam berbagai peralatan produksi semikonduktor: Rangka (braket keramik), Substrat (dasar), Lengan/Jembatan (manipulator), Komponen Mekanik dan Bantalan Udara Keramik.
| Nama Produk | Tabung / Pipa / Batang Keramik Alumina 99 Kemurnian Tinggi | |||||
| Indeks | Satuan | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
| Kepadatan | gram/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan Air | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Suhu Sinter | ℃ | tahun 1620 | tahun 1650 | tahun 1800 | tahun 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuatan Tekuk (20℃) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuatan Tekan | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu Kerja Lama | ℃ | tahun 1350 | tahun 1400 | tahun 1600 | tahun 1650 | |
| Suhu Kerja Maks. | ℃ | tahun 1450 | tahun 1600 | tahun 1800 | tahun 1800 | |
| Resistivitas Volume | 20℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | tahun 1012-1013 | tahun 1012-1013 | tahun 1012-1013 | tahun 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Aplikasi keramik alumina kemurnian tinggi:
1. Diterapkan pada peralatan semikonduktor: chuck vakum keramik, cakram pemotong, cakram pembersih, CHUCK keramik.
2. Bagian pemindahan wafer: chuck penanganan wafer, cakram pemotong wafer, cakram pembersih wafer, cangkir hisap pemeriksaan optik wafer.
3. Industri layar panel datar LED/LCD: nosel keramik, cakram penggiling keramik, LIFT PIN, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri surya: tabung keramik, batang keramik, sablon papan sirkuit, pengikis keramik.
5. Bagian yang tahan panas dan bersifat isolasi listrik: bantalan keramik.
Saat ini, keramik aluminium oksida dapat dibagi menjadi keramik kemurnian tinggi dan keramik umum. Seri keramik aluminium oksida kemurnian tinggi mengacu pada bahan keramik yang mengandung lebih dari 99,9% Al₂O₃. Karena suhu sinteringnya hingga 1650 - 1990°C dan panjang gelombang transmisinya 1 ~ 6μm, biasanya diproses menjadi kaca lebur alih-alih wadah platinum: yang dapat digunakan sebagai tabung natrium karena transmisi cahaya dan ketahanan korosi terhadap logam alkali. Dalam industri elektronik, dapat digunakan sebagai bahan isolasi frekuensi tinggi untuk substrat IC. Menurut konten aluminium oksida yang berbeda, seri keramik aluminium oksida umum dapat dibagi menjadi 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik dan 85 keramik. Kadang-kadang, keramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga diklasifikasikan sebagai seri keramik aluminium oksida umum. Di antaranya, material keramik aluminium oksida 99% digunakan untuk memproduksi krus suhu tinggi, tabung tungku tahan api, dan material tahan aus khusus, seperti bantalan keramik, segel keramik, dan pelat katup. Keramik aluminium oksida 95% terutama digunakan sebagai komponen tahan aus dan tahan korosi. Keramik 85% sering dicampur dengan beberapa material lain, sehingga meningkatkan kinerja listrik dan kekuatan mekanis. Keramik ini dapat digunakan untuk menyegel logam seperti molibdenum, niobium, tantalum, dan lainnya, dan beberapa di antaranya digunakan sebagai perangkat vakum listrik.
| Barang Berkualitas (Nilai Representatif) | Nama Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi Kimia Produk Sintering Mudah Rendah Natrium | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Tertawa terbahak-bahak | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Diameter Partikel Sedang (MT-3300, metode analisis laser) | mikrometer | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Ukuran Kristal α | mikrometer | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Kepadatan Pembentukan** | gram/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Kepadatan Sintering** | gram/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tingkat Penyusutan Garis Sintering** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO tidak termasuk dalam perhitungan kemurnian Al₂O₃.
* Bubuk tanpa kerak 29,4MPa (300kg/cm²), suhu sintering 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambahkan 0,05 ~ 0,1% MgO, sinterabilitasnya sangat baik, sehingga dapat diterapkan pada keramik aluminium oksida dengan kemurnian lebih dari 99%.
AES-22S: Ditandai dengan kepadatan pembentukan yang tinggi dan laju penyusutan yang rendah pada garis sintering, produk ini dapat diaplikasikan pada pengecoran bentuk slip dan produk skala besar lainnya dengan akurasi dimensi yang dibutuhkan.
AES-23 / AES-31-03: Memiliki densitas pembentukan yang lebih tinggi, tiksotropi, dan viskositas yang lebih rendah daripada AES-22S. Yang pertama digunakan untuk keramik sedangkan yang terakhir digunakan sebagai pereduksi air untuk bahan tahan api, sehingga semakin populer.
♦Karakteristik Silikon Karbida (SiC)
| Karakteristik Umum | Kemurnian komponen utama (wt%) | 97 | |
| Warna | Hitam | ||
| Kepadatan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Penyerapan air (%) | 0 | ||
| Karakteristik Mekanik | Kekuatan lentur (MPa) | 400 | |
| Modulus Young (GPa) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (GPa) | 20 | ||
| Karakteristik Termal | Suhu operasi maksimum (°C) | tahun 1600 | |
| Koefisien ekspansi termal | Suhu ruangan sekitar 500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | Suhu ruangan sekitar 800°C | 4.3 | |
| Konduktivitas termal (W/m x K) | 130 110 | ||
| Tahanan guncangan termal ΔT (°C) | 300 | ||
| Karakteristik Listrik | Resistivitas volume | 25 derajat celcius | 3x106 |
| 300 derajat celcius | - | ||
| 500 derajat celcius | - | ||
| 800 derajat celcius | - | ||
| Konstanta dielektrik | 10GHz | - | |
| Rugi dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Faktor Q (x 104) | - | ||
| Tegangan tembus dielektrik (KV/mm) | - | ||
♦Keramik Silikon Nitrida
| Bahan | Satuan | Si₃N₄ |
| Metode Sintering | - | Sinter Tekanan Gas |
| Kepadatan | gram/cm³ | 3.22 |
| Warna | - | Abu-abu Tua |
| Tingkat Penyerapan Air | % | 0 |
| Modulus Muda | IPK | 290 |
| Kekerasan Vickers | IPK | 18 - 20 |
| Kekuatan Tekan | Mpa | tahun 2200 |
| Kekuatan Tekuk | Mpa | 650 |
| Konduktivitas Termal | W/mK | 25 |
| Ketahanan terhadap Guncangan Termal | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Suhu Operasional Maksimum | °C | 1200 |
| Resistivitas Volume | Ω·cm | > 10^14 |
| Konstanta Dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuatan Dielektrik | kV/mm | 16 |