♦Alumina(Al2O3)
Komponen keramik presisi yang diproduksi oleh ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) dapat dibuat dari bahan baku keramik dengan kemurnian tinggi, 92~97% alumina, 99,5% alumina, >99,9% alumina, dan pengepresan isostatik dingin CIP.Sintering suhu tinggi dan pemesinan presisi, akurasi dimensi ± 0,001 mm, kehalusan hingga Ra0,1, gunakan suhu hingga 1600 derajat.Berbagai warna keramik dapat dibuat sesuai dengan kebutuhan pelanggan, seperti: hitam, putih, krem, merah tua, dll. Bagian keramik presisi yang diproduksi oleh perusahaan kami tahan terhadap suhu tinggi, korosi, keausan dan isolasi, dan dapat digunakan untuk waktu yang lama di lingkungan suhu tinggi, vakum dan gas korosif.
Banyak digunakan dalam berbagai peralatan produksi semikonduktor: Rangka (braket keramik), Substrat (alas), Lengan/Jembatan (manipulator), Komponen Mekanik dan Bantalan Udara Keramik.
| Nama Produk | Tabung / Pipa / Batang Persegi Keramik Alumina 99 Kemurnian Tinggi | |||||
| Indeks | Satuan | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Kepadatan | gram/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Penyerapan air | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Suhu Sinter | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Kekerasan | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Kekuatan Lentur (20℃)) | Ayah | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kekuatan Tekan | Kgf/cm2 | 10.000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Suhu Kerja Lama | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks.Suhu Kerja | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Resistivitas Volume | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Penerapan keramik alumina dengan kemurnian tinggi:
1. Diterapkan pada peralatan semikonduktor: chuck vakum keramik, cakram pemotong, cakram pembersih, CHUCK keramik.
2. Bagian transfer wafer: chuck penanganan wafer, cakram pemotong wafer, cakram pembersih wafer, cangkir hisap inspeksi optik wafer.
3. Industri tampilan panel datar LED / LCD: nosel keramik, cakram gerinda keramik, PIN LIFT, rel PIN.
4. Komunikasi optik, industri surya: tabung keramik, batang keramik, papan sirkuit sablon pencakar keramik.
5. Bagian tahan panas dan isolasi listrik: bantalan keramik.
Saat ini, keramik aluminium oksida dapat dibagi menjadi keramik dengan kemurnian tinggi dan keramik biasa.Seri keramik aluminium oksida dengan kemurnian tinggi mengacu pada bahan keramik yang mengandung lebih dari 99,9% Al₂O₃.Karena suhu sinteringnya hingga 1650 - 1990°C dan panjang gelombang transmisi 1 ~ 6μm, biasanya diolah menjadi kaca leburan alih-alih wadah platinum: yang dapat digunakan sebagai tabung natrium karena transmisi cahaya dan ketahanan korosi terhadap logam alkali.Dalam industri elektronik, bahan ini dapat digunakan sebagai bahan isolasi frekuensi tinggi untuk substrat IC.Menurut kandungan aluminium oksida yang berbeda, seri keramik aluminium oksida yang umum dapat dibagi menjadi 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik, dan 85 keramik.Terkadang, keramik dengan 80% atau 75% aluminium oksida juga diklasifikasikan sebagai seri keramik aluminium oksida umum.Diantaranya, 99 bahan keramik aluminium oksida digunakan untuk memproduksi wadah suhu tinggi, tabung tungku tahan api dan bahan tahan aus khusus, seperti bantalan keramik, segel keramik, dan pelat katup.Keramik aluminium 95 terutama digunakan sebagai bagian tahan aus yang tahan korosi.Keramik 85 sering dicampur dalam beberapa sifat, sehingga meningkatkan kinerja listrik dan kekuatan mekanik.Dapat menggunakan molibdenum, niobium, tantalum dan segel logam lainnya, dan ada pula yang digunakan sebagai perangkat vakum listrik.
| Barang Berkualitas (Nilai Perwakilan) | Nama Produk | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Komposisi Kimia Produk Sintering Mudah Rendah Natrium | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| Tertawa terbahak-bahak | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Diameter Partikel Sedang (MT-3300, metode analisis laser) | m | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Ukuran Kristal | m | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Membentuk Kepadatan** | gram/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Kepadatan Sintering** | gram/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Tingkat Penyusutan Garis Sintering** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
*MgO tidak termasuk dalam perhitungan kemurnian Al₂O₃.
* Tanpa bubuk kerak 29,4MPa (300kg/cm²), suhu sintering 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tambahkan 0,05 ~ 0,1% MgO, kemampuan sinterabilitasnya sangat baik, sehingga dapat diterapkan pada keramik aluminium oksida dengan kemurnian lebih dari 99%.
AES-22S: Ditandai dengan kepadatan pembentukan yang tinggi dan laju penyusutan garis sintering yang rendah, ini berlaku untuk pengecoran bentuk slip dan produk skala besar lainnya dengan akurasi dimensi yang diperlukan.
AES-23 / AES-31-03: Ia memiliki kepadatan pembentukan yang lebih tinggi, tiksotropi dan viskositas yang lebih rendah dibandingkan AES-22S.yang pertama digunakan untuk keramik sedangkan yang kedua digunakan sebagai peredam air untuk bahan tahan api, sehingga semakin populer.
♦Karakteristik Silikon Karbida (SiC).
| Karakteristik umum | Kemurnian komponen utama (%) | 97 | |
| Warna | Hitam | ||
| Kepadatan (g/cm³) | 3.1 | ||
| Penyerapan air (%) | 0 | ||
| Karakteristik Mekanik | Kekuatan lentur (MPa) | 400 | |
| Modulus muda (IPK) | 400 | ||
| Kekerasan Vickers (GPa) | 20 | ||
| Karakteristik Termal | Suhu pengoperasian maksimum (°C) | 1600 | |
| Koefisien ekspansi termal | RT~500°C | 3.9 | |
| (1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
| Konduktivitas termal (W/m x K) | 130 110 | ||
| Ketahanan guncangan termal ΔT (°C) | 300 | ||
| Karakteristik listrik | Resistivitas volume | 25°C | 3x106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| Konstanta dielektrik | 10GHz | - | |
| Kerugian dielektrik (x 10-4) | - | ||
| Faktor Q (x 104) | - | ||
| Tegangan tembus dielektrik (KV/mm) | - | ||
♦Keramik Silikon Nitrida
| Bahan | Satuan | Si₃N₄ |
| Metode Sintering | - | Tekanan Gas Disinter |
| Kepadatan | gram/cm³ | 3.22 |
| Warna | - | Abu-abu gelap |
| Tingkat Penyerapan Air | % | 0 |
| Modulus Muda | IPK | 290 |
| Kekerasan Vickers | IPK | 18 - 20 |
| Kekuatan Tekan | Ayah | 2200 |
| Kekuatan Lentur | Ayah | 650 |
| Konduktivitas termal | W/mK | 25 |
| Ketahanan Guncangan Termal | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Suhu Operasional Maksimum | °C | 1200 |
| Resistivitas Volume | Ω·cm | > 10^14 |
| Konstanta Dielektrik | - | 8.2 |
| Kekuatan Dielektrik | kV/mm | 16 |