Granit adalah bahan yang populer di industri pengolahan wafer karena sifat mekanik dan daya tahannya yang luar biasa.Ini adalah batu alam yang ditambang dari tambang di seluruh dunia dan telah digunakan selama berabad-abad untuk berbagai keperluan konstruksi, termasuk pembuatan peralatan semikonduktor.Pada artikel kali ini kita akan membahas sifat-sifat granit dan berbagai penerapannya pada peralatan pengolahan wafer.
Sifat Granit
Granit adalah batuan beku yang tersusun dari mika, feldspar, dan kuarsa.Ia dikenal karena kekuatan, kekerasan, dan daya tahannya yang luar biasa, menjadikannya material yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan presisi dan akurasi tinggi.Granit memiliki koefisien muai panas yang rendah, yang berarti tidak mengembang atau menyusut karena perubahan suhu, sehingga sangat stabil.Selain itu, granit tahan terhadap korosi dan bahan kimia, menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan di lingkungan yang keras.
Penerapan Granit dalam Peralatan Pengolahan Wafer
Granit adalah bahan yang banyak digunakan dalam industri pengolahan wafer karena kombinasi sifatnya yang unik.Berikut ini adalah beberapa penerapan granit pada peralatan pengolahan wafer:
1. Alat Metrologi
Granit umumnya digunakan dalam pembuatan alat metrologi, seperti mesin pengukur koordinat (CMM) dan sistem pengukuran optik.Alat-alat ini memerlukan permukaan stabil yang dapat menahan getaran dan panas.Kekakuan tinggi dan ekspansi termal rendah dari granit menjadikannya bahan yang ideal untuk aplikasi semacam itu.
2. Potongan Wafer
Chuck wafer digunakan untuk menampung wafer selama proses pembuatan.Chuck ini memerlukan permukaan yang rata dan stabil untuk mencegah wafer melengkung atau bengkok.Granit memberikan permukaan datar yang sangat stabil dan tahan terhadap lengkungan, menjadikannya bahan yang sangat baik untuk wafer chuck.
3. Alat Pemoles Mekanis Kimia (CMP).
Alat CMP digunakan untuk memoles wafer selama proses pembuatan.Alat-alat ini memerlukan platform stabil yang dapat menahan getaran dan panas.Kekakuan yang sangat baik dan ekspansi termal yang rendah dari granit menjadikannya bahan yang ideal untuk perkakas CMP.
4. Peralatan Inspeksi Wafer
Peralatan inspeksi wafer digunakan untuk memeriksa wafer dari cacat dan cacat.Alat-alat ini memerlukan permukaan yang stabil dan rata untuk memastikan pengukuran yang akurat.Granit memberikan permukaan yang stabil dan datar serta tahan terhadap lengkungan, menjadikannya bahan yang ideal untuk peralatan inspeksi wafer.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit adalah bahan yang banyak digunakan dalam industri pengolahan wafer karena sifat mekanik dan daya tahannya yang luar biasa.Hal ini biasa digunakan dalam pembuatan alat metrologi, wafer chuck, alat CMP, dan peralatan inspeksi wafer.Kombinasi sifat yang unik menjadikannya material yang ideal untuk aplikasi yang memerlukan presisi dan akurasi tinggi.Dengan banyaknya manfaat yang dimilikinya, granit tetap menjadi pilihan populer untuk peralatan pemrosesan wafer, dan penggunaannya kemungkinan akan terus berkembang di masa depan.
Waktu posting: 27 Des-2023