Komponen granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena stabilitas dan daya tahannya yang tinggi. Mereka bertanggung jawab untuk mempertahankan ketepatan dan keakuratan proses manufaktur semikonduktor. Namun, efektivitas dan keandalan komponen granit tergantung pada standar dan spesifikasi yang ditegakkan selama desain, fabrikasi, dan pemasangannya.
Berikut ini adalah beberapa standar dan spesifikasi yang harus dipatuhi saat menggunakan komponen granit dalam peralatan semikonduktor:
1. Bahan Kepadatan: Kepadatan bahan granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit harus sekitar 2,65g/cm3. Ini adalah kepadatan bahan granit alami, dan memastikan konsistensi dan keandalan dalam sifat komponen granit.
2. Kerataan: Kerataan adalah salah satu spesifikasi paling penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Kerataan permukaan granit harus di bawah 0,001 mm/m2. Ini memastikan bahwa permukaan komponen datar dan rata, yang penting untuk proses pembuatan semikonduktor.
3. Finishing Permukaan: Akhiri permukaan komponen granit harus berkualitas tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0,4μm. Ini memastikan bahwa permukaan komponen granit memiliki koefisien gesekan yang rendah, yang sangat penting untuk kelancaran operasi peralatan semikonduktor.
4. Koefisien Ekspansi Termal: Peralatan semikonduktor beroperasi pada suhu yang berbeda, dan komponen granit harus dapat menahan fluktuasi termal tanpa deformasi. Koefisien ekspansi termal granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus di bawah 2 x 10^-6 /° C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi sangat penting untuk kinerja komponen granit. Toleransi dimensi komponen granit harus berada dalam ± 0,1mm untuk semua dimensi kritis.
6. Kekerasan dan ketahanan aus: Kekerasan dan ketahanan aus adalah spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Granit memiliki kekerasan skala Mohs 6-7, menjadikannya bahan yang cocok untuk digunakan dalam aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Kinerja isolasi: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus memiliki kinerja isolasi yang sangat baik untuk mencegah kerusakan pada komponen elektronik yang sensitif. Resistensi listrik harus di atas 10^9 Ω/cm.
8. Resistensi Kimia: Komponen granit harus resisten terhadap bahan kimia umum yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asam dan alkali.
Sebagai kesimpulan, standar dan spesifikasi untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor sangat penting untuk memastikan umur panjang dan keandalan komponen dan peralatan yang mereka gunakan. Pedoman di atas harus dipatuhi dengan ketat selama desain, fabrikasi, dan proses pemasangan untuk memastikan bahwa komponen tersebut memiliki kualitas tinggi. Dengan mengikuti standar dan spesifikasi ini, produsen semikonduktor dapat memastikan bahwa kinerja peralatan mereka tetap optimal, yang mengarah pada peningkatan produktivitas dan profitabilitas.
Waktu posting: Mar-20-2024