Komponen granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena stabilitas dan daya tahannya yang tinggi. Komponen ini bertanggung jawab untuk menjaga presisi dan akurasi proses manufaktur semikonduktor. Namun, efektivitas dan keandalan komponen granit bergantung pada standar dan spesifikasi yang dijunjung tinggi selama perancangan, fabrikasi, dan pemasangannya.
Berikut adalah beberapa standar dan spesifikasi yang harus dipatuhi saat menggunakan komponen granit dalam peralatan semikonduktor:
1. Kepadatan Material: Kepadatan material granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit harus sekitar 2,65 g/cm³. Ini adalah kepadatan material granit alami, dan hal ini memastikan konsistensi dan keandalan sifat-sifat komponen granit.
2. Kerataan: Kerataan adalah salah satu spesifikasi terpenting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Kerataan permukaan granit harus di bawah 0,001 mm/m2. Hal ini memastikan bahwa permukaan komponen rata dan sejajar, yang sangat penting untuk proses manufaktur semikonduktor.
3. Penyelesaian Permukaan: Penyelesaian permukaan komponen granit harus berkualitas tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0,4µm. Hal ini memastikan bahwa permukaan komponen granit memiliki koefisien gesekan yang rendah, yang sangat penting untuk kelancaran operasi peralatan semikonduktor.
4. Koefisien Ekspansi Termal: Peralatan semikonduktor beroperasi pada suhu yang berbeda, dan komponen granit harus mampu menahan fluktuasi termal tanpa deformasi. Koefisien ekspansi termal granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus di bawah 2 x 10^-6 /°C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi sangat penting untuk kinerja komponen granit. Toleransi dimensi komponen granit harus berada dalam kisaran ±0,1 mm untuk semua dimensi kritis.
6. Kekerasan dan Ketahanan Aus: Kekerasan dan ketahanan aus merupakan spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Granit memiliki kekerasan pada Skala Mohs 6-7, menjadikannya material yang cocok untuk digunakan dalam aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Kinerja Isolasi: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus memiliki kinerja isolasi yang sangat baik untuk mencegah kerusakan pada komponen elektronik yang sensitif. Resistansi listrik harus di atas 10^9 Ω/cm.
8. Ketahanan Kimia: Komponen granit harus tahan terhadap bahan kimia umum yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asam dan basa.
Kesimpulannya, standar dan spesifikasi untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor sangat penting untuk memastikan umur panjang dan keandalan baik komponen maupun peralatan tempat komponen tersebut digunakan. Pedoman di atas harus dipatuhi secara ketat selama proses desain, fabrikasi, dan instalasi untuk memastikan bahwa komponen tersebut berkualitas tinggi. Dengan mengikuti standar dan spesifikasi ini, produsen semikonduktor dapat memastikan bahwa kinerja peralatan mereka tetap optimal, yang mengarah pada peningkatan produktivitas dan profitabilitas.
Waktu posting: 20 Maret 2024