Komponen granit banyak digunakan pada peralatan semikonduktor karena stabilitas dan daya tahannya yang tinggi.Mereka bertanggung jawab untuk menjaga presisi dan keakuratan proses pembuatan semikonduktor.Namun, efektivitas dan keandalan komponen granit bergantung pada standar dan spesifikasi yang ditegakkan selama desain, fabrikasi, dan pemasangannya.
Berikut ini adalah beberapa standar dan spesifikasi yang harus dipatuhi saat menggunakan komponen granit pada peralatan semikonduktor:
1. Kepadatan Bahan: Kepadatan bahan granit yang digunakan dalam pembuatan komponen granit harus sekitar 2,65g/cm3.Ini adalah kepadatan bahan granit alami, dan ini memastikan konsistensi dan keandalan sifat komponen granit.
2. Kerataan: Kerataan adalah salah satu spesifikasi paling penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor.Kerataan permukaan granit harus di bawah 0,001 mm/m2.Hal ini memastikan permukaan komponen rata dan rata, yang penting untuk proses pembuatan semikonduktor.
3. Permukaan Akhir: Permukaan akhir komponen granit harus berkualitas tinggi, dengan kekasaran permukaan di bawah 0,4µm.Hal ini memastikan bahwa permukaan komponen granit memiliki koefisien gesekan yang rendah, yang sangat penting untuk kelancaran pengoperasian peralatan semikonduktor.
4. Koefisien Ekspansi Termal: Peralatan semikonduktor beroperasi pada temperatur yang berbeda, dan komponen granit harus mampu menahan fluktuasi termal tanpa deformasi.Koefisien muai panas granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus di bawah 2 x 10^-6 /°C.
5. Toleransi Dimensi: Toleransi dimensi sangat penting untuk kinerja komponen granit.Toleransi dimensi komponen granit harus berada dalam ±0,1 mm untuk semua dimensi kritis.
6. Kekerasan dan Ketahanan Aus: Kekerasan dan ketahanan aus merupakan spesifikasi penting untuk komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor.Granit memiliki kekerasan Skala Mohs 6-7 sehingga cocok digunakan pada aplikasi peralatan semikonduktor.
7. Kinerja Isolasi: Komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor harus memiliki kinerja insulasi yang sangat baik untuk mencegah kerusakan pada komponen elektronik yang sensitif.Hambatan listrik harus di atas 10^9 Ω/cm.
8. Ketahanan Kimia: Komponen granit harus tahan terhadap bahan kimia yang umum digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor, seperti asam dan basa.
Kesimpulannya, standar dan spesifikasi komponen granit yang digunakan dalam peralatan semikonduktor sangat penting untuk memastikan umur panjang dan keandalan komponen dan peralatan yang digunakan. Pedoman di atas harus dipatuhi secara ketat selama desain, fabrikasi, dan pemasangan. proses untuk memastikan bahwa komponen memiliki kualitas terbaik.Dengan mengikuti standar dan spesifikasi ini, produsen semikonduktor dapat memastikan kinerja peralatan mereka tetap optimal, sehingga meningkatkan produktivitas dan profitabilitas.
Waktu posting: 20 Maret 2024