Granit telah banyak digunakan dalam pembuatan dan desain peralatan semikonduktor selama bertahun-tahun. Hal ini disebabkan oleh sifat-sifatnya yang sangat baik, yang menjadikannya material ideal untuk banyak aplikasi. Granit sangat tahan terhadap keausan, korosi, dan guncangan termal, sehingga cocok untuk digunakan di lingkungan yang keras. Dalam artikel ini, kita akan membahas beberapa aplikasi umum granit dalam peralatan semikonduktor.
1. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai alas untuk peralatan tersebut karena stabilitas dimensinya yang tinggi. Kerataan dan presisi permukaan granit memberikan referensi ideal untuk pengukuran yang akurat. Selain itu, stabilitas termal granit mengurangi risiko perubahan dimensi akibat variasi suhu.
2. Peralatan Optik
Granit juga digunakan dalam peralatan optik seperti mesin litografi, yang digunakan dalam pembuatan perangkat semikonduktor. Alas granit menyediakan platform yang stabil untuk optik presisi tinggi yang digunakan dalam mesin-mesin ini. Sifat peredaman getaran granit yang sangat baik juga membantu mengurangi getaran yang dapat memengaruhi kinerja dan akurasi optik.
3. Peralatan Pemrosesan Wafer
Pemrosesan wafer semikonduktor melibatkan beberapa langkah, termasuk pembersihan, etsa, dan deposisi. Granit digunakan dalam beberapa komponen peralatan pemrosesan wafer. Misalnya, granit digunakan sebagai substrat untuk peralatan deposisi uap kimia (CVD), yang digunakan untuk mendepositkan lapisan tipis ke wafer silikon. Granit juga digunakan dalam konstruksi ruang etsa dan bejana proses lainnya, di mana ketahanan kimia dan stabilitas dimensinya yang sangat baik sangat penting.
4. Peralatan Uji
Peralatan uji digunakan untuk memverifikasi kinerja dan kualitas perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai alas untuk peralatan uji karena kekakuan dan stabilitasnya yang tinggi. Granit menyediakan platform non-magnetik dan non-konduktif yang menghilangkan gangguan pada peralatan pengujian yang sensitif. Kerataan dan presisi permukaan granit memungkinkan hasil pengujian yang sangat akurat.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit merupakan material penting dalam desain dan pembuatan peralatan semikonduktor. Sifat-sifatnya yang unggul, termasuk stabilitas dimensi, stabilitas termal, ketahanan kimia, dan peredaman getaran, menjadikannya material ideal untuk banyak aplikasi. Granit digunakan dalam beberapa komponen penting peralatan semikonduktor, termasuk peralatan metrologi, peralatan optik, peralatan pengolahan wafer, dan peralatan pengujian. Seiring dengan terus meningkatnya permintaan akan perangkat semikonduktor yang lebih cepat, lebih kecil, dan lebih bertenaga, penggunaan granit dalam peralatan semikonduktor kemungkinan akan tetap penting.
Waktu posting: 08-Apr-2024