Granit telah banyak digunakan dalam pembuatan dan perancangan peralatan semikonduktor selama bertahun-tahun. Hal ini dikarenakan sifatnya yang sangat baik, yang menjadikannya material yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit sangat tahan terhadap keausan, korosi, dan guncangan termal, yang membuatnya cocok untuk digunakan di lingkungan yang keras. Dalam artikel ini, kita akan membahas beberapa aplikasi umum granit dalam peralatan semikonduktor.
1. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai dasar untuk peralatan tersebut karena stabilitas dimensinya yang tinggi. Kerataan dan ketepatan permukaan granit memberikan referensi ideal untuk pengukuran yang akurat. Selain itu, stabilitas termal granit mengurangi risiko perubahan dimensi karena variasi suhu.
2. Peralatan Optik
Granit juga digunakan dalam peralatan optik seperti mesin litografi, yang digunakan dalam fabrikasi perangkat semikonduktor. Basis granit menyediakan platform yang stabil untuk optik presisi tinggi yang digunakan dalam mesin ini. Sifat peredam getaran granit yang sangat baik juga membantu mengurangi getaran yang dapat memengaruhi kinerja dan akurasi optik.
3. Peralatan Pengolahan Wafer
Pemrosesan wafer semikonduktor melibatkan beberapa langkah, termasuk pembersihan, pengetsaan, dan pengendapan. Granit digunakan dalam beberapa komponen peralatan pemrosesan wafer. Misalnya, granit digunakan sebagai substrat untuk peralatan pengendapan uap kimia (CVD), yang digunakan untuk mengendapkan lapisan tipis pada wafer silikon. Granit juga digunakan dalam konstruksi ruang pengetsaan dan bejana proses lainnya, di mana ketahanan kimianya yang sangat baik dan stabilitas dimensinya sangat penting.
4. Peralatan Uji
Peralatan uji digunakan untuk memverifikasi kinerja dan kualitas perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai alas peralatan uji karena kekakuan dan stabilitasnya yang tinggi. Granit menyediakan platform non-magnetik dan non-konduktif yang menghilangkan gangguan pada peralatan pengujian yang sensitif. Kerataan dan presisi permukaan granit memungkinkan hasil pengujian yang sangat akurat.
Kesimpulan
Kesimpulannya, granit merupakan material penting dalam desain dan pembuatan peralatan semikonduktor. Properti-propertinya yang luar biasa, termasuk stabilitas dimensi, stabilitas termal, ketahanan kimia, dan peredaman getaran, menjadikannya material yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit digunakan dalam beberapa komponen penting peralatan semikonduktor, termasuk peralatan metrologi, peralatan optik, peralatan pemrosesan wafer, dan peralatan uji. Karena permintaan akan perangkat semikonduktor yang lebih cepat, lebih kecil, dan lebih kuat terus meningkat, penggunaan granit dalam peralatan semikonduktor kemungkinan akan tetap penting.
Waktu posting: 08-Apr-2024