Granit telah banyak digunakan dalam pembuatan dan desain peralatan semikonduktor selama bertahun -tahun. Ini karena sifatnya yang sangat baik, yang menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit sangat tahan terhadap keausan, korosi, dan guncangan termal, yang membuatnya cocok untuk digunakan di lingkungan yang keras. Dalam artikel ini, kita akan membahas beberapa aplikasi umum granit dalam peralatan semikonduktor.
1. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai dasar untuk peralatan tersebut karena stabilitas dimensi yang tinggi. Kerataan dan ketepatan permukaan granit memberikan referensi yang ideal untuk pengukuran yang akurat. Selain itu, stabilitas termal granit mengurangi risiko perubahan dimensi karena variasi suhu.
2. Peralatan optik
Granit juga digunakan dalam peralatan optik seperti mesin litografi, yang digunakan dalam pembuatan perangkat semikonduktor. Basis granit menyediakan platform yang stabil untuk optik presisi tinggi yang digunakan dalam mesin ini. Properti peredam getaran granit yang sangat baik juga membantu mengurangi getaran yang dapat mempengaruhi kinerja dan keakuratan optik.
3. Peralatan Pemrosesan Wafer
Pemrosesan wafer semikonduktor melibatkan beberapa langkah, termasuk pembersihan, etsa, dan deposisi. Granit digunakan dalam beberapa komponen peralatan pemrosesan wafer. Misalnya, granit digunakan sebagai substrat untuk peralatan uap kimia (CVD), yang digunakan untuk menyimpan film tipis ke wafer silikon. Granit juga digunakan dalam konstruksi ruang etsa dan kapal proses lainnya, di mana ketahanan kimianya yang sangat baik dan stabilitas dimensi sangat penting.
4. Peralatan uji
Peralatan uji digunakan untuk memverifikasi kinerja dan kualitas perangkat semikonduktor. Granit sering digunakan sebagai dasar untuk peralatan uji karena kekakuan dan stabilitasnya yang tinggi. Granit menyediakan platform non-magnetik dan non-konduktif yang menghilangkan gangguan dengan peralatan pengujian sensitif. Kerataan dan ketepatan permukaan granit memungkinkan hasil tes yang sangat akurat.
Kesimpulan
Sebagai kesimpulan, granit adalah bahan penting dalam desain dan pembuatan peralatan semikonduktor. Sifatnya yang sangat baik, termasuk stabilitas dimensi, stabilitas termal, ketahanan kimia, dan peredam getaran, menjadikannya bahan yang ideal untuk banyak aplikasi. Granit digunakan dalam beberapa komponen penting peralatan semikonduktor, termasuk peralatan metrologi, peralatan optik, peralatan pemrosesan wafer, dan peralatan uji. Karena permintaan akan perangkat semikonduktor yang lebih cepat, lebih kecil, dan lebih kuat terus tumbuh, penggunaan granit dalam peralatan semikonduktor cenderung tetap penting.
Waktu posting: APR-08-2024