Di bidang manufaktur semikonduktor, peralatan inspeksi optik otomatis (AOI) memainkan peran krusial dalam memastikan kualitas chip. Peningkatan kecil saja dalam akurasi deteksinya dapat membawa transformasi besar bagi seluruh industri. Basis peralatan, sebagai komponen kunci, memiliki dampak yang signifikan terhadap akurasi deteksi. Dalam beberapa tahun terakhir, revolusi material dasar telah melanda industri. Granit, dengan kinerja peredam getarannya yang luar biasa, secara bertahap telah menggantikan material besi cor tradisional dan menjadi favorit baru peralatan inspeksi AOI. Efisiensi peredam getarannya telah meningkat sebesar 92% dibandingkan dengan besi cor. Terobosan teknologi dan perubahan industri apa yang mendasari data ini?
Persyaratan ketat untuk getaran pada peralatan inspeksi AOI semikonduktor
Proses manufaktur chip semikonduktor telah memasuki era nanoskala. Selama proses inspeksi AOI, getaran yang sangat kecil sekalipun dapat menyebabkan penyimpangan pada hasil inspeksi. Goresan halus, rongga, dan cacat lainnya pada permukaan chip seringkali berada pada tingkat mikrometer atau bahkan nanometer. Lensa optik peralatan deteksi perlu menangkap detail ini dengan presisi yang sangat tinggi. Getaran apa pun yang ditransmisikan oleh alas akan menyebabkan lensa bergeser atau bergetar, mengakibatkan akuisisi gambar yang kabur dan dengan demikian memengaruhi akurasi pengenalan cacat.
Material besi cor dulunya banyak digunakan sebagai dasar peralatan inspeksi AOI karena memiliki kekuatan dan kinerja pemrosesan tertentu, serta biaya yang relatif rendah. Namun, dalam hal peredaman getaran, besi cor memiliki kekurangan yang nyata. Struktur internal besi cor mengandung banyak lembaran grafit, yang setara dengan rongga kecil di dalamnya dan mengganggu kontinuitas material. Ketika peralatan beroperasi dan menghasilkan getaran, atau terganggu oleh getaran lingkungan eksternal, energi getaran tidak dapat dilemahkan secara efektif di dalam besi cor tetapi terus-menerus dipantulkan dan ditumpangkan di antara lembaran grafit dan matriks, sehingga mengakibatkan perambatan getaran yang berkelanjutan. Eksperimen terkait menunjukkan bahwa setelah dasar besi cor tereksitasi oleh getaran eksternal, waktu redaman getaran dapat berlangsung selama beberapa detik, yang akan berdampak serius pada akurasi deteksi selama periode ini. Selain itu, modulus elastisitas besi cor relatif rendah. Di bawah aksi gravitasi peralatan dan tekanan getaran jangka panjang, besi cor rentan terhadap deformasi, yang selanjutnya mengintensifkan transmisi getaran.
Rahasia di balik peningkatan 92% dalam efisiensi penekanan getaran pada alas granit
Granit, sebagai salah satu jenis batu alam, telah membentuk struktur internal yang sangat padat dan seragam melalui proses geologis selama ratusan juta tahun. Granit terutama terdiri dari kristal mineral seperti kuarsa dan feldspar yang berikatan erat, dengan ikatan kimia antar kristal yang kuat dan stabil. Struktur ini memberikan granit kemampuan peredaman getaran yang luar biasa. Ketika getaran ditransmisikan ke dasar granit, kristal mineral di dalamnya dapat dengan cepat mengubah energi getaran menjadi energi panas dan menghilangkannya. Studi menunjukkan bahwa redaman granit beberapa kali lebih tinggi daripada besi cor, yang berarti granit dapat menyerap energi getaran lebih efisien, mengurangi amplitudo dan durasi getaran. Setelah pengujian profesional, dalam kondisi eksitasi getaran yang sama, waktu redaman getaran dasar granit hanya 8% dari besi cor, dan efisiensi peredaman getaran telah meningkat sebesar 92%.
Kekerasan dan modulus elastisitas granit yang tinggi juga berkontribusi signifikan. Kekerasan yang tinggi memastikan alas lebih kecil kemungkinannya mengalami deformasi saat menahan beban peralatan dan benturan gaya eksternal, serta selalu mempertahankan kondisi penyangga yang stabil. Modulus elastisitas yang tinggi memastikan alas dapat dengan cepat kembali ke bentuk semula saat terkena getaran, sehingga mengurangi akumulasi getaran. Selain itu, granit memiliki stabilitas termal yang sangat baik dan hampir tidak terpengaruh oleh perubahan suhu lingkungan, sehingga mencegah deformasi ekspansi dan kontraksi termal akibat fluktuasi suhu, sehingga semakin menjamin stabilitas kinerja peredaman getaran.
Transformasi dan Prospek Industri yang Dihasilkan oleh Basis Granit
Peralatan inspeksi AOI dengan alas granit telah meningkatkan akurasi deteksinya secara signifikan. Peralatan ini dapat mengidentifikasi cacat pada chip berukuran lebih kecil dengan andal, mengurangi tingkat kesalahan penilaian hingga 1% dan meningkatkan tingkat hasil produksi chip secara signifikan. Stabilitas peralatan juga telah ditingkatkan, mengurangi jumlah penghentian perawatan akibat masalah getaran, memperpanjang masa pakai peralatan, dan menurunkan biaya operasional secara keseluruhan.
Waktu posting: 14 Mei 2025