Di bidang manufaktur semikonduktor, peralatan inspeksi optik otomatis (AOI) memainkan peran penting dalam memastikan kualitas chip. Bahkan sedikit peningkatan akurasi deteksinya dapat membawa transformasi besar bagi seluruh industri. Basis peralatan, sebagai komponen kunci, memiliki dampak yang mendalam pada akurasi deteksi. Dalam beberapa tahun terakhir, revolusi dalam material dasar telah melanda industri. Granit, dengan kinerja peredaman getaran yang luar biasa, secara bertahap menggantikan material besi cor tradisional dan menjadi favorit baru peralatan inspeksi AOI. Efisiensi peredaman getarannya telah meningkat sebesar 92% dibandingkan dengan besi cor. Terobosan teknologi dan perubahan industri apa yang ada di balik data ini?
Persyaratan ketat untuk getaran pada peralatan inspeksi AOI semikonduktor
Proses manufaktur chip semikonduktor telah memasuki era nanoskala. Selama proses inspeksi AOI, bahkan getaran yang sangat kecil pun dapat menyebabkan penyimpangan pada hasil inspeksi. Goresan halus, rongga, dan cacat lainnya pada permukaan chip seringkali berada pada tingkat mikrometer atau bahkan nanometer. Lensa optik peralatan deteksi perlu menangkap detail ini dengan presisi yang sangat tinggi. Getaran apa pun yang ditransmisikan oleh alas akan menyebabkan lensa bergeser atau bergetar, sehingga menghasilkan akuisisi gambar yang kabur dan dengan demikian memengaruhi akurasi pengenalan cacat.
Material besi cor dulunya banyak digunakan pada alas peralatan inspeksi AOI karena memiliki kekuatan dan kinerja pemrosesan tertentu, serta biaya yang relatif rendah. Namun, dalam hal peredaman getaran, besi cor memiliki kekurangan yang jelas. Struktur internal besi cor mengandung sejumlah besar lembaran grafit, yang setara dengan rongga kecil di dalamnya dan mengganggu kontinuitas material. Ketika peralatan beroperasi dan menghasilkan getaran, atau terganggu oleh getaran lingkungan eksternal, energi getaran tidak dapat diredam secara efektif di dalam besi cor tetapi terus-menerus dipantulkan dan ditumpangkan antara lembaran grafit dan matriks, sehingga mengakibatkan perambatan getaran yang berkelanjutan. Percobaan terkait menunjukkan bahwa setelah alas besi cor digerakkan oleh getaran eksternal, waktu peredaman getaran dapat berlangsung selama beberapa detik, yang akan berdampak serius pada akurasi deteksi selama periode ini. Selain itu, modulus elastisitas besi cor relatif rendah. Di bawah pengaruh gravitasi peralatan dan tegangan getaran jangka panjang, besi cor rentan terhadap deformasi, yang selanjutnya memperkuat transmisi getaran.
Rahasia di balik peningkatan efisiensi peredaman getaran sebesar 92% pada alas granit.
Granit, sebagai jenis batu alam, telah membentuk struktur internal yang sangat padat dan seragam melalui proses geologi selama ratusan juta tahun. Struktur utamanya terdiri dari kristal mineral seperti kuarsa dan feldspar yang terikat erat, dan ikatan kimia antar kristal kuat dan stabil. Struktur ini memberikan granit kemampuan peredaman getaran yang luar biasa. Ketika getaran ditransmisikan ke dasar granit, kristal mineral di dalamnya dapat dengan cepat mengubah energi getaran menjadi energi panas dan menghilangkannya. Studi menunjukkan bahwa peredaman granit beberapa kali lebih tinggi daripada besi cor, yang berarti granit dapat menyerap energi getaran lebih efisien, mengurangi amplitudo dan durasi getaran. Setelah pengujian profesional, di bawah kondisi eksitasi getaran yang sama, waktu peredaman getaran dasar granit hanya 8% dari besi cor, dan efisiensi peredaman getarannya meningkat sebesar 92%.
Kekerasan dan modulus elastisitas granit yang tinggi juga memberikan kontribusi signifikan. Kekerasan yang tinggi memastikan bahwa alas lebih kecil kemungkinannya untuk berubah bentuk saat menahan beban peralatan dan benturan gaya eksternal, dan selalu mempertahankan kondisi penopang yang stabil. Modulus elastisitas yang tinggi memastikan bahwa alas dapat dengan cepat kembali ke bentuk aslinya saat terkena getaran, mengurangi akumulasi getaran. Selain itu, granit memiliki stabilitas termal yang sangat baik dan hampir tidak terpengaruh oleh perubahan suhu lingkungan, menghindari deformasi ekspansi dan kontraksi termal yang disebabkan oleh fluktuasi suhu, sehingga semakin memastikan stabilitas kinerja peredaman getaran.
Transformasi Industri dan Prospek yang Dibawa oleh Pondasi Granit
Peralatan inspeksi AOI dengan alas granit telah secara signifikan meningkatkan akurasi deteksinya. Peralatan ini dapat secara andal mengidentifikasi cacat pada serpihan berukuran kecil, mengurangi tingkat kesalahan penilaian hingga di bawah 1%, dan sangat meningkatkan tingkat hasil produksi serpihan. Sementara itu, stabilitas peralatan telah ditingkatkan, mengurangi jumlah penghentian operasional untuk perawatan yang disebabkan oleh masalah getaran, memperpanjang masa pakai peralatan, dan menurunkan biaya operasional secara keseluruhan.
Waktu posting: 14 Mei 2025