Di bidang manufaktur kelas atas dan penelitian ilmiah mutakhir, platform gerakan mengambang udara bertekanan statis presisi merupakan peralatan kunci untuk mencapai operasi ultra-presisi. Basis presisi granit merupakan bagian pendukung inti platform, dan kinerjanya berkaitan erat dengan lingkungan kerja. Memahami dan memenuhi persyaratan lingkungan ini tidak hanya dapat memastikan operasi platform dengan presisi tinggi, tetapi juga merupakan bagian penting bagi perusahaan untuk meningkatkan daya saingnya di bidang terkait, yang dijelaskan secara rinci di bawah ini.
1. Suhu: kontrol yang tepat untuk memastikan stabilitas dimensi
Meskipun granit dikenal karena stabilitasnya, koefisien muai termalnya tidaklah nol, dan perubahan suhu kecil pun dapat memengaruhi akurasi dimensinya. Secara umum, koefisien muai termal granit adalah 5-7 × 10⁻⁶/℃. Dalam skenario aplikasi platform pergerakan udara mengambang bertekanan statis presisi, perubahan kecil ini diperkuat oleh platform, yang dapat menyebabkan penyimpangan akurasi pergerakan. Misalnya, dalam proses manufaktur chip semikonduktor, proses litografi untuk persyaratan akurasi posisi tingkat danami, fluktuasi suhu sekitar 1°C, panjang sisi alas granit 1 meter dapat menghasilkan ekspansi atau kontraksi linier 5-7 mikron, yang cukup untuk menyebabkan penyimpangan pola litografi chip dan mengurangi hasil. Oleh karena itu, platform mengambang udara bertekanan statis presisi yang dilengkapi dengan dasar presisi granit, suhu lingkungan kerja yang ideal harus dikontrol secara ketat pada 20 ° C ± 1 ° C, perusahaan dapat memasang sistem pendingin udara suhu konstan presisi tinggi, terus memantau dan menyesuaikan suhu sekitar secara akurat, menjaga ukuran stabilitas dasar granit, untuk memastikan bahwa platform beroperasi dengan presisi tinggi.
2.kelembapan: kontrol yang wajar, melindungi kinerja dasar
Kelembapan juga memiliki pengaruh yang signifikan terhadap alas granit presisi. Dalam lingkungan dengan kelembapan tinggi, granit mudah menyerap uap air, dan dapat terjadi kondensasi di permukaannya. Hal ini tidak hanya akan mengganggu pengoperasian normal sistem flotasi udara, tetapi juga menyebabkan erosi jangka panjang pada permukaan granit, sehingga mengurangi akurasi dan masa pakainya. Sebagai contoh, pada bengkel penggilingan lensa optik, jika kelembapan lebih tinggi dari 60%RH dalam jangka waktu lama, uap air yang terserap pada permukaan alas granit akan merusak keseragaman lapisan flotasi udara, sehingga mengakibatkan penurunan akurasi penggilingan lensa dan cacat permukaan. Oleh karena itu, kelembapan relatif lingkungan kerja perlu dikontrol antara 40%-60%RH. Perusahaan dapat menggunakan dehumidifier, sensor kelembapan, dan peralatan lainnya untuk memantau dan mengontrol kelembapan secara real-time, menciptakan lingkungan kelembapan yang sesuai untuk alas granit presisi, dan memastikan pengoperasian platform penggerak flotasi udara bertekanan statis presisi yang stabil.
3. Kebersihan: kontrol ketat, hilangkan gangguan partikel
Partikel debu merupakan "musuh" platform penggerak apung udara bertekanan statis presisi, dan sangat berbahaya bagi alas presisi granit. Setelah partikel-partikel kecil ini memasuki celah film gas antara slider pelampung gas dan alas granit, partikel tersebut dapat merusak keseragaman film gas, meningkatkan gesekan, dan bahkan menggores permukaan alas, sehingga sangat memengaruhi akurasi pergerakan platform. Di bengkel pemesinan ultra-presisi untuk komponen kedirgantaraan, jika partikel debu di udara jatuh ke alas granit, lintasan gerak alat pemesinan dapat menyimpang, yang memengaruhi akurasi pemesinan komponen. Oleh karena itu, area kerja harus dijaga kebersihannya dengan standar kebersihan 10.000 atau lebih tinggi. Perusahaan dapat menyaring partikel debu di udara dengan memasang filter udara efisiensi tinggi (HEPA), dan mewajibkan staf untuk mengenakan pakaian bebas debu, penutup sepatu, dll., untuk mengurangi debu yang dibawa manusia, serta menjaga lingkungan operasi presisi tinggi alas granit dan platform penggerak apung udara bertekanan statis presisi.
4. Getaran: Isolasi efektif untuk menciptakan ruang yang halus
Getaran eksternal akan sangat mengganggu presisi platform mengambang udara tekanan statis presisi, meskipun alas granit presisi memiliki kapasitas atenuasi getaran tertentu, tetapi getaran kekuatan tinggi masih dapat menembus batas penyangganya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar pabrik dan pengoperasian peralatan mekanis besar ditransmisikan ke alas granit melalui tanah, yang akan mengganggu akurasi pergerakan platform. Pada CMM kelas atas, getaran dapat menyebabkan kontak antara probe pengukur dan benda kerja yang akan diukur menjadi tidak stabil, sehingga mengakibatkan penyimpangan data pengukuran. Untuk mengatasi masalah ini, perlu untuk mengadopsi langkah-langkah isolasi getaran yang efektif, seperti meletakkan bantalan isolasi getaran di area pemasangan peralatan, membangun fondasi isolasi getaran, atau menggunakan sistem isolasi getaran aktif untuk secara aktif mengimbangi getaran eksternal, dan menciptakan lingkungan kerja yang tenang dan stabil untuk alas presisi granit dan platform gerakan mengambang udara tekanan statis presisi.
Memenuhi persyaratan lingkungan di atas, guna memaksimalkan keunggulan alas presisi granit dalam platform gerakan mengambang udara bertekanan statis presisi, memastikan platform tersebut menyediakan layanan kontrol gerak presisi tinggi dan stabilitas tinggi untuk berbagai industri. Jika perusahaan dapat memperhatikan detail ini dalam lingkungan produksi, mereka akan memanfaatkan peluang di bidang manufaktur presisi, penelitian ilmiah, dan bidang lainnya, meningkatkan daya saing, dan mencapai pembangunan berkelanjutan.
Waktu posting: 10-Apr-2025