Granit adalah bahan populer untuk tempat tidur mesin dalam peralatan pemrosesan wafer karena kekakuannya yang luar biasa, bobot tinggi, dan ketahanan yang sangat baik untuk keausan dan korosi. Namun, bahkan dengan sifat -sifat menguntungkan ini, lapisan mesin granit tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat menyebabkan penurunan kinerja, presisi, dan keandalan peralatan. Dalam artikel ini, kami akan meninjau beberapa cacat yang paling umum dari tempat tidur mesin granit untuk peralatan pemrosesan wafer dan menyarankan cara untuk mengatasinya.
1. Warp dan Bow
Granit adalah bahan alami, dan dengan demikian, mungkin mengandung sedikit variasi dalam dimensi dan kerataannya. Variasi ini dapat menyebabkan lapisan mesin granit melengkung atau tunduk dari waktu ke waktu, yang dapat mempengaruhi keakuratan peralatan. Selain itu, getaran berat atau bersepeda termal dapat memperburuk masalah ini. Salah satu cara untuk menyelesaikan masalah ini adalah dengan memilih granit dengan stabilitas dimensi yang lebih baik dan menggunakan fixturing untuk memastikan bahwa tempat tidur mesin tetap rata.
2. Menghancurkan dan retak
Granit adalah bahan yang keras dan rapuh, yang berarti dapat dengan mudah chip atau retak jika mengalami dampak tinggi atau stres. Ketidaksempurnaan ini dapat menyebabkan tempat tidur mesin menjadi tidak rata, mempengaruhi kehalusan pergerakan peralatan pemrosesan wafer. Untuk mencegah chipping dan retak, penting untuk menangani tempat tidur mesin granit dengan hati -hati selama pemasangan dan operasi. Selain itu, adalah ide yang baik untuk melakukan inspeksi reguler untuk mendeteksi tanda -tanda kerusakan sesegera mungkin.
3. Kekasaran permukaan
Permukaan tempat tidur mesin granit harus halus dan rata untuk memastikan bahwa peralatan pemrosesan wafer beroperasi secara akurat dan andal. Namun, proses pemesinan yang digunakan untuk membuat tempat tidur mesin dapat meninggalkan kekasaran permukaan yang dapat mempengaruhi kinerja peralatan. Untuk mengatasi masalah ini, penting untuk melakukan proses pemesinan dengan hati -hati dan menggunakan alat dan teknik yang sesuai untuk mencapai permukaan yang diinginkan.
4. Pewarnaan dan Perubahan warna
Tempat tidur mesin granit dapat menjadi bernoda dan berubah warna dari waktu ke waktu karena paparan bahan kimia, air, dan zat lainnya. Ini dapat mempengaruhi daya tarik estetika peralatan dan menyebabkan degradasi prematur bahan granit. Untuk mencegah pewarnaan dan perubahan warna, penting untuk menggunakan prosedur pembersihan dan pemeliharaan yang tepat, termasuk penghapusan dan pengeringan peralatan secara teratur setelah digunakan.
5. Distribusi berat yang tidak rata
Tempat tidur mesin granit berat, dan jika beratnya tidak didistribusikan secara merata, ia dapat menyebabkan peralatan menjadi tidak stabil dan mempengaruhi ketepatan dan akurasinya. Untuk memastikan bahwa bobot didistribusikan secara merata, penting untuk menggunakan leveler dan dukungan dukungan selama pemasangan. Selain itu, adalah ide yang baik untuk melakukan inspeksi berat badan secara teratur untuk mendeteksi ketidakseimbangan.
Sebagai kesimpulan, tempat tidur mesin granit adalah pilihan populer untuk peralatan pemrosesan wafer karena sifatnya yang sangat baik. Namun, mereka tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat mempengaruhi kinerja, ketepatan, dan keandalannya. Dengan mengikuti praktik terbaik dan merawat peralatan dengan baik, dimungkinkan untuk mengatasi masalah ini dan memastikan bahwa peralatan beroperasi pada tingkat yang optimal untuk tahun -tahun mendatang.
Waktu posting: Des-29-2023