Granit merupakan material populer untuk alas mesin pada peralatan pemrosesan wafer karena kekakuannya yang luar biasa, bobot yang tinggi, dan ketahanan yang sangat baik terhadap keausan dan korosi. Namun, meskipun memiliki sifat-sifat yang menguntungkan ini, alas mesin granit tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat menyebabkan penurunan kinerja, presisi, dan keandalan peralatan. Dalam artikel ini, kita akan meninjau beberapa cacat paling umum pada alas mesin granit untuk peralatan pemrosesan wafer dan menyarankan cara untuk mengatasinya.
1. Lilitan dan busur
Granit adalah material alami, dan karenanya, mungkin terdapat sedikit variasi dalam dimensi dan kerataannya. Variasi ini dapat menyebabkan alas mesin granit melengkung atau membengkok seiring waktu, yang dapat memengaruhi akurasi peralatan. Selain itu, getaran hebat atau siklus termal dapat memperburuk masalah ini. Salah satu cara untuk mengatasi masalah ini adalah dengan memilih granit dengan stabilitas dimensi yang lebih baik dan menggunakan perlengkapan untuk memastikan alas mesin tetap rata.
2. Pengelupasan dan keretakan
Granit adalah material yang keras dan rapuh, yang berarti mudah terkelupas atau retak jika terkena benturan atau tekanan tinggi. Ketidaksempurnaan ini dapat menyebabkan alas mesin menjadi tidak rata, sehingga memengaruhi kelancaran pergerakan peralatan pemrosesan wafer. Untuk mencegah pengelupasan dan keretakan, penting untuk menangani alas mesin granit dengan hati-hati selama pemasangan dan pengoperasian. Selain itu, sebaiknya dilakukan inspeksi rutin untuk mendeteksi tanda-tanda kerusakan sesegera mungkin.
3. Kekasaran permukaan
Permukaan alas mesin dari granit harus halus dan rata untuk memastikan peralatan pemrosesan wafer beroperasi secara akurat dan andal. Namun, proses pemesinan yang digunakan untuk membuat alas mesin dapat meninggalkan kekasaran permukaan yang dapat memengaruhi kinerja peralatan. Untuk mengatasi masalah ini, penting untuk melakukan proses pemesinan dengan hati-hati dan menggunakan alat serta teknik yang tepat untuk mencapai hasil akhir permukaan yang diinginkan.
4. Noda dan perubahan warna
Rangka mesin berbahan granit dapat ternoda dan berubah warna seiring waktu karena paparan bahan kimia, air, dan zat lainnya. Hal ini dapat memengaruhi daya tarik estetika peralatan dan menyebabkan degradasi dini material granit. Untuk mencegah noda dan perubahan warna, penting untuk menggunakan prosedur pembersihan dan perawatan yang tepat, termasuk penyeka dan pengeringan peralatan secara teratur setelah digunakan.
5. Distribusi berat yang tidak merata
Rangka mesin granit berat, dan jika beratnya tidak terdistribusi secara merata, hal itu dapat menyebabkan peralatan menjadi tidak stabil dan memengaruhi presisi serta akurasinya. Untuk memastikan berat terdistribusi secara merata, penting untuk menggunakan alat perata dan penyangga selama pemasangan. Selain itu, sebaiknya dilakukan pemeriksaan berat secara berkala untuk mendeteksi ketidakseimbangan apa pun.
Kesimpulannya, alas mesin granit merupakan pilihan populer untuk peralatan pemrosesan wafer karena sifatnya yang sangat baik. Namun, alas ini tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat memengaruhi kinerja, presisi, dan keandalannya. Dengan mengikuti praktik terbaik dan merawat peralatan dengan baik, masalah-masalah ini dapat diatasi dan peralatan dapat beroperasi pada tingkat optimal selama bertahun-tahun yang akan datang.
Waktu posting: 29 Desember 2023