Granit merupakan material yang populer untuk alas mesin pada peralatan pemrosesan wafer karena kekakuannya yang luar biasa, bobot yang ringan, serta ketahanannya yang sangat baik terhadap keausan dan korosi. Namun, meskipun memiliki keunggulan tersebut, alas mesin granit tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat menyebabkan penurunan kinerja, presisi, dan keandalan peralatan. Dalam artikel ini, kami akan mengulas beberapa cacat paling umum pada alas mesin granit untuk peralatan pemrosesan wafer dan menyarankan cara untuk mengatasinya.
1. Lengkung dan busur
Granit adalah material alami, sehingga mungkin terdapat sedikit variasi dalam dimensi dan kerataannya. Variasi ini dapat menyebabkan alas mesin granit melengkung atau melengkung seiring waktu, yang dapat memengaruhi akurasi peralatan. Selain itu, getaran berat atau siklus termal dapat memperparah masalah ini. Salah satu cara untuk mengatasi masalah ini adalah dengan memilih granit dengan stabilitas dimensi yang lebih baik dan menggunakan perlengkapan untuk memastikan alas mesin tetap rata.
2. Terkelupas dan retak
Granit adalah material yang keras dan getas, sehingga mudah terkelupas atau retak jika terkena benturan atau tekanan tinggi. Ketidaksempurnaan ini dapat menyebabkan alas mesin menjadi tidak rata, sehingga memengaruhi kelancaran pergerakan peralatan pemrosesan wafer. Untuk mencegah terkelupas dan retak, penting untuk menangani alas mesin granit dengan hati-hati selama pemasangan dan pengoperasian. Selain itu, sebaiknya lakukan inspeksi rutin untuk mendeteksi tanda-tanda kerusakan sesegera mungkin.
3. Kekasaran permukaan
Permukaan alas mesin granit harus halus dan rata agar peralatan pemrosesan wafer beroperasi secara akurat dan andal. Namun, proses pemesinan yang digunakan untuk membuat alas mesin dapat meninggalkan kekasaran permukaan yang dapat memengaruhi kinerja peralatan. Untuk mengatasi masalah ini, penting untuk melakukan proses pemesinan dengan hati-hati dan menggunakan alat serta teknik yang tepat untuk mencapai hasil akhir permukaan yang diinginkan.
4. Noda dan perubahan warna
Alas mesin granit dapat ternoda dan berubah warna seiring waktu akibat paparan bahan kimia, air, dan zat lainnya. Hal ini dapat memengaruhi daya tarik estetika peralatan dan menyebabkan degradasi dini pada material granit. Untuk mencegah noda dan perubahan warna, penting untuk menerapkan prosedur pembersihan dan perawatan yang tepat, termasuk mengelap dan mengeringkan peralatan secara teratur setelah digunakan.
5. Distribusi berat yang tidak merata
Alas mesin granit berat, dan jika bebannya tidak terdistribusi secara merata, dapat menyebabkan peralatan menjadi tidak stabil dan memengaruhi presisi serta akurasinya. Untuk memastikan beban terdistribusi secara merata, penting untuk menggunakan alat perata dan penyangga selama pemasangan. Selain itu, sebaiknya lakukan pemeriksaan beban secara berkala untuk mendeteksi ketidakseimbangan.
Kesimpulannya, alas mesin granit merupakan pilihan populer untuk peralatan pemrosesan wafer karena sifatnya yang unggul. Namun, alas mesin granit juga rentan terhadap cacat tertentu yang dapat memengaruhi kinerja, presisi, dan keandalannya. Dengan mengikuti praktik terbaik dan merawat peralatan dengan baik, masalah ini dapat diatasi dan memastikan peralatan beroperasi secara optimal selama bertahun-tahun mendatang.
Waktu posting: 29-Des-2023