Granit merupakan material yang populer untuk alas mesin pada peralatan pemrosesan wafer karena kekakuannya yang luar biasa, bobot yang berat, dan ketahanannya yang sangat baik terhadap keausan dan korosi. Akan tetapi, bahkan dengan sifat-sifat yang menguntungkan ini, alas mesin granit tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat menyebabkan penurunan kinerja, presisi, dan keandalan peralatan. Dalam artikel ini, kami akan mengulas beberapa cacat paling umum pada alas mesin granit untuk peralatan pemrosesan wafer dan menyarankan cara untuk mengatasinya.
1. Warp dan busur
Granit adalah material alami, dan karenanya, granit mungkin mengandung sedikit variasi dalam dimensi dan kerataannya. Variasi ini dapat menyebabkan alas mesin granit melengkung atau melengkung seiring waktu, yang dapat memengaruhi keakuratan peralatan. Selain itu, getaran berat atau siklus termal dapat memperburuk masalah ini. Salah satu cara untuk mengatasi masalah ini adalah dengan memilih granit dengan stabilitas dimensi yang lebih baik dan menggunakan perlengkapan untuk memastikan alas mesin tetap datar.
2. Terkelupas dan retak
Granit adalah material yang keras dan getas, yang berarti granit dapat dengan mudah terkelupas atau retak jika terkena benturan atau tekanan tinggi. Ketidaksempurnaan ini dapat menyebabkan alas mesin menjadi tidak rata, yang memengaruhi kelancaran pergerakan peralatan pemrosesan wafer. Untuk mencegah terkelupas dan retak, alas mesin granit harus ditangani dengan hati-hati selama pemasangan dan pengoperasian. Selain itu, sebaiknya lakukan pemeriksaan rutin untuk mendeteksi tanda-tanda kerusakan sesegera mungkin.
3. Kekasaran permukaan
Permukaan alas mesin granit harus halus dan rata untuk memastikan bahwa peralatan pemrosesan wafer beroperasi secara akurat dan andal. Namun, proses pemesinan yang digunakan untuk membuat alas mesin dapat meninggalkan kekasaran permukaan yang dapat memengaruhi kinerja peralatan. Untuk mengatasi masalah ini, penting untuk melakukan proses pemesinan dengan hati-hati dan menggunakan alat serta teknik yang tepat untuk mencapai hasil akhir permukaan yang diinginkan.
4. Noda dan perubahan warna
Tempat tidur mesin granit dapat ternoda dan berubah warna seiring waktu karena terpapar bahan kimia, air, dan zat lainnya. Hal ini dapat memengaruhi daya tarik estetika peralatan dan menyebabkan degradasi dini pada material granit. Untuk mencegah noda dan perubahan warna, penting untuk menggunakan prosedur pembersihan dan perawatan yang tepat, termasuk mengelap dan mengeringkan peralatan secara teratur setelah digunakan.
5. Distribusi berat yang tidak merata
Tempat tidur mesin granit berat, dan jika beratnya tidak terdistribusi secara merata, hal itu dapat menyebabkan peralatan menjadi tidak stabil dan memengaruhi presisi serta akurasinya. Untuk memastikan bahwa berat terdistribusi secara merata, penting untuk menggunakan alat penyeimbang dan penyangga selama pemasangan. Selain itu, sebaiknya lakukan pemeriksaan berat secara berkala untuk mendeteksi ketidakseimbangan.
Kesimpulannya, alas mesin granit merupakan pilihan populer untuk peralatan pemrosesan wafer karena sifatnya yang sangat baik. Akan tetapi, alas mesin granit tidak kebal terhadap cacat tertentu yang dapat memengaruhi kinerja, presisi, dan keandalannya. Dengan mengikuti praktik terbaik dan merawat peralatan dengan baik, masalah ini dapat diatasi dan memastikan bahwa peralatan beroperasi pada tingkat optimal selama bertahun-tahun mendatang.
Waktu posting: 29-Des-2023