Granit adalah batuan alami yang telah lama digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Batuan ini dikenal karena sifat-sifatnya yang unggul, seperti ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan stabilitas yang baik. Namun, seperti semua material, granit memiliki serangkaian cacat tersendiri yang dapat memengaruhi kualitas peralatan pemrosesan wafer.
Salah satu kekurangan utama granit adalah kecenderungannya untuk retak atau pecah. Hal ini disebabkan oleh adanya retakan mikro yang dapat terjadi selama pembentukan batuan. Jika retakan mikro ini tidak diidentifikasi dan ditangani dengan benar, retakan tersebut dapat menyebar dan menyebabkan kerusakan peralatan. Untuk mencegah hal ini terjadi, produsen peralatan pengolahan perlu menggunakan granit berkualitas tinggi yang telah diolah dan diuji untuk memastikan bahwa granit tersebut bebas dari retakan mikro.
Kelemahan lain dari granit adalah kerentanannya terhadap korosi. Jika peralatan granit bersentuhan dengan lingkungan korosif, peralatan tersebut dapat mulai mengalami degradasi seiring waktu. Hal ini dapat menyebabkan peralatan tersebut rusak atau tidak berfungsi dengan baik. Untuk mencegah hal ini, produsen harus memastikan bahwa granit yang digunakan dalam peralatan mereka telah diolah dan dilapisi dengan benar untuk mencegah terjadinya korosi.
Granit juga rentan terhadap perubahan bentuk seiring waktu karena sifat termalnya yang melekat. Hal ini karena granit memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, artinya granit tidak banyak memuai atau menyusut ketika mengalami perubahan suhu. Namun, bahkan sedikit pemuaian atau penyusutan dapat menyebabkan perubahan bentuk pada peralatan seiring waktu. Penting bagi produsen peralatan untuk mempertimbangkan sifat termal granit saat merancang peralatan mereka untuk mencegah terjadinya cacat ini.
Terakhir, sifat berpori granit dapat menyebabkan masalah kontaminasi. Jika granit tidak disegel dengan benar, ia dapat menyerap kontaminan yang dapat memengaruhi kualitas wafer. Hal ini dapat menyebabkan waktu henti yang mahal dan kehilangan produksi. Untuk mencegah hal ini, produsen perlu menyegel granit dengan benar untuk mencegah kontaminan terserap.
Kesimpulannya, granit adalah material yang sangat baik untuk digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Namun, penting untuk menyadari kekurangannya dan mengambil tindakan pencegahan yang diperlukan untuk mencegah terjadinya kekurangan tersebut. Dengan perawatan dan pemeliharaan yang tepat, peralatan granit dapat terus berfungsi selama bertahun-tahun, menyediakan wafer berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor.
Waktu posting: 27 Desember 2023