Granit adalah batuan alami yang telah lama digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Granit dikenal karena sifat-sifatnya yang unggul, yaitu ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan stabilitas yang baik. Namun, seperti semua material, granit memiliki serangkaian cacat tersendiri yang dapat memengaruhi kualitas peralatan pemrosesan wafer.
Salah satu cacat utama granit adalah kecenderungannya untuk retak atau pecah. Hal ini disebabkan oleh adanya retakan mikro yang dapat terjadi selama pembentukan batuan. Jika retakan mikro ini tidak diidentifikasi dan ditangani dengan benar, retakan tersebut dapat menyebar dan menyebabkan kegagalan peralatan. Untuk mencegah hal ini terjadi, produsen peralatan pengolahan perlu menggunakan granit berkualitas tinggi yang telah diolah dan diuji untuk memastikannya bebas dari retakan mikro.
Kelemahan lain dari granit adalah kerentanannya terhadap korosi. Jika peralatan granit bersentuhan dengan lingkungan korosif, kerusakannya dapat terjadi seiring waktu. Hal ini dapat menyebabkan peralatan rusak atau tidak berfungsi dengan baik. Untuk mencegah hal ini, produsen harus memastikan bahwa granit yang digunakan pada peralatan mereka dirawat dan dilapisi dengan benar untuk mencegah terjadinya korosi.
Granit juga rentan melengkung seiring waktu karena sifat termalnya. Hal ini disebabkan oleh koefisien muai panas granit yang sangat rendah, yang berarti granit tidak banyak memuai atau menyusut ketika mengalami perubahan suhu. Namun, sedikit saja pemuaian atau penyusutan dapat menyebabkan lengkungan pada peralatan seiring waktu. Penting bagi produsen peralatan untuk mempertimbangkan sifat termal granit saat merancang peralatan mereka guna mencegah terjadinya cacat ini.
Terakhir, sifat granit yang berpori dapat menyebabkan masalah kontaminasi. Jika granit tidak disegel dengan benar, ia dapat menyerap kontaminan yang dapat memengaruhi kualitas wafer. Hal ini dapat mengakibatkan waktu henti yang mahal dan hilangnya produksi. Untuk mencegah hal ini, produsen perlu menyegel granit dengan benar agar kontaminan tidak terserap.
Kesimpulannya, granit merupakan material yang sangat baik untuk digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Namun, penting untuk mewaspadai cacatnya dan mengambil tindakan pencegahan yang diperlukan untuk mencegahnya. Dengan perawatan dan pemeliharaan yang tepat, peralatan granit dapat terus berfungsi selama bertahun-tahun, menghasilkan wafer berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor.
Waktu posting: 27-Des-2023