Granit adalah batuan alami yang telah lama digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Granit dikenal karena sifat-sifatnya yang sangat baik, yaitu memiliki ekspansi termal yang rendah, kekakuan yang tinggi, dan stabilitas yang baik. Namun, seperti semua material, granit memiliki serangkaian cacat tersendiri yang dapat memengaruhi kualitas peralatan pemrosesan wafer.
Salah satu cacat utama granit adalah kecenderungannya untuk retak atau pecah. Hal ini disebabkan oleh adanya retakan mikro yang dapat terjadi selama pembentukan batu. Jika retakan mikro ini tidak diidentifikasi dan ditangani dengan benar, retakan tersebut dapat menyebar dan menyebabkan kegagalan peralatan. Untuk mencegah hal ini terjadi, produsen peralatan pemrosesan perlu menggunakan granit berkualitas tinggi yang telah ditangani dan diuji untuk memastikannya bebas dari retakan mikro.
Cacat lain dari granit adalah kerentanannya terhadap korosi. Jika peralatan granit bersentuhan dengan lingkungan korosif, lama-kelamaan peralatan tersebut dapat mulai mengalami degradasi. Hal ini dapat menyebabkan peralatan tersebut rusak atau tidak berfungsi dengan baik. Untuk mencegah hal ini, produsen harus memastikan bahwa granit yang digunakan pada peralatan mereka dirawat dan dilapisi dengan benar untuk mencegah terjadinya korosi.
Granit juga rentan melengkung seiring waktu karena sifat termalnya yang melekat. Hal ini karena granit memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, yang berarti granit tidak banyak mengembang atau menyusut saat mengalami perubahan suhu. Namun, sedikit saja ekspansi atau kontraksi dapat menyebabkan lengkungan pada peralatan seiring waktu. Penting bagi produsen peralatan untuk mempertimbangkan sifat termal granit saat merancang peralatan mereka guna mencegah terjadinya cacat ini.
Terakhir, sifat granit yang berpori dapat menyebabkan masalah kontaminasi. Jika granit tidak disegel dengan benar, granit dapat menyerap kontaminan yang dapat memengaruhi kualitas wafer. Hal ini dapat menyebabkan waktu henti yang mahal dan hilangnya produksi. Untuk mencegah hal ini, produsen perlu menyegel granit dengan benar untuk mencegah kontaminan apa pun terserap.
Kesimpulannya, granit merupakan material yang sangat baik untuk digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer. Akan tetapi, penting untuk menyadari cacatnya dan mengambil tindakan pencegahan yang diperlukan untuk mencegahnya terjadi. Dengan perawatan dan pemeliharaan yang tepat, peralatan granit dapat terus berfungsi selama bertahun-tahun, menyediakan wafer berkualitas tinggi untuk industri semikonduktor.
Waktu posting: 27-Des-2023