Komponen granit telah banyak digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor karena karakteristiknya yang sangat baik seperti lapisan permukaan yang unggul, kekakuan tinggi, dan redaman getaran yang sangat baik. Komponen granit sangat penting untuk peralatan fabrikasi semikonduktor, termasuk mesin litografi, mesin pemolesan, dan sistem metrologi karena mereka memberikan penentuan posisi dan stabilitas presisi selama proses pembuatan. Terlepas dari semua keuntungan menggunakan komponen granit, mereka juga memiliki cacat. Dalam artikel ini, kita akan membahas cacat komponen granit untuk produk proses pembuatan semikonduktor.
Pertama, komponen granit memiliki koefisien ekspansi termal yang tinggi. Ini berarti bahwa mereka berkembang secara signifikan di bawah tekanan termal, yang dapat menyebabkan masalah selama proses pembuatan. Proses manufaktur semikonduktor membutuhkan akurasi presisi dan dimensi yang tinggi yang dapat dikompromikan karena tekanan termal. Misalnya, deformasi wafer silikon karena ekspansi termal dapat menyebabkan masalah penyelarasan selama litografi, yang dapat membahayakan kualitas perangkat semikonduktor.
Kedua, komponen granit memiliki cacat porositas yang dapat menyebabkan kebocoran vakum dalam proses pembuatan semikonduktor. Kehadiran udara atau gas lain dalam sistem dapat menyebabkan kontaminasi pada permukaan wafer, menghasilkan cacat yang dapat mempengaruhi kinerja perangkat semikonduktor. Gas inert seperti argon dan helium dapat meresap ke dalam komponen granit berpori dan membuat gelembung gas yang dapat mengganggu integritas proses vakum.
Ketiga, komponen granit memiliki mikrofraktur yang dapat mengganggu ketepatan proses pembuatan. Granit adalah bahan rapuh yang dapat mengembangkan mikrofraktur dari waktu ke waktu, terutama ketika terpapar siklus tegangan yang konstan. Kehadiran mikrofraktur dapat menyebabkan ketidakstabilan dimensi, menyebabkan masalah yang signifikan selama proses pembuatan, seperti penyelarasan litografi atau pemolesan wafer.
Komponen granit keempat memiliki fleksibilitas terbatas. Proses manufaktur semikonduktor membutuhkan peralatan fleksibel yang dapat mengakomodasi perubahan proses yang berbeda. Namun, komponen granit kaku dan tidak dapat beradaptasi dengan perubahan proses yang berbeda. Oleh karena itu, setiap perubahan dalam proses pembuatan mengharuskan penghapusan atau penggantian komponen granit, yang mengarah ke downtime dan mempengaruhi produktivitas.
Kelima, komponen granit membutuhkan penanganan dan transportasi khusus karena berat dan kerapuhannya. Granit adalah bahan padat dan berat yang membutuhkan peralatan penanganan khusus seperti crane dan pengangkat. Selain itu, komponen granit memerlukan pengemasan dan transportasi yang cermat untuk mencegah kerusakan selama pengiriman, yang menyebabkan biaya dan waktu tambahan.
Sebagai kesimpulan, komponen granit memiliki beberapa kelemahan yang dapat mempengaruhi kualitas dan produktivitas produk proses manufaktur semikonduktor. Cacat ini dapat diminimalkan melalui penanganan dan pemeliharaan komponen granit yang cermat, termasuk inspeksi berkala untuk mikrofraktur dan cacat porositas, pembersihan yang tepat untuk mencegah kontaminasi, dan penanganan yang cermat selama transportasi. Meskipun cacat, komponen granit tetap menjadi bagian penting dari proses pembuatan semikonduktor karena permukaannya yang unggul, kekakuan tinggi, dan redaman getaran yang sangat baik.
Waktu posting: Des-05-2023