Komponen granit telah banyak digunakan dalam proses manufaktur semikonduktor karena karakteristiknya yang unggul seperti permukaan akhir yang superior, kekakuan yang tinggi, dan peredaman getaran yang sangat baik. Komponen granit sangat penting untuk peralatan fabrikasi semikonduktor, termasuk mesin litografi, mesin pemoles, dan sistem metrologi karena memberikan posisi presisi dan stabilitas selama proses manufaktur. Terlepas dari semua keuntungan penggunaan komponen granit, komponen ini juga memiliki kekurangan. Dalam artikel ini, kami akan membahas kekurangan komponen granit untuk produk proses manufaktur semikonduktor.
Pertama, komponen granit memiliki koefisien ekspansi termal yang tinggi. Artinya, komponen tersebut mengembang secara signifikan di bawah tekanan termal, yang dapat menyebabkan masalah selama proses manufaktur. Proses manufaktur semikonduktor membutuhkan presisi dan akurasi dimensi yang tinggi, yang dapat terganggu akibat tekanan termal. Misalnya, deformasi wafer silikon akibat ekspansi termal dapat menyebabkan masalah penyelarasan selama litografi, yang dapat menurunkan kualitas perangkat semikonduktor.
Kedua, komponen granit memiliki cacat porositas yang dapat menyebabkan kebocoran vakum dalam proses manufaktur semikonduktor. Keberadaan udara atau gas lain dalam sistem dapat menyebabkan kontaminasi pada permukaan wafer, sehingga mengakibatkan cacat yang dapat memengaruhi kinerja perangkat semikonduktor. Gas inert seperti argon dan helium dapat meresap ke dalam komponen granit berpori dan menciptakan gelembung gas yang dapat mengganggu integritas proses vakum.
Ketiga, komponen granit memiliki retakan mikro yang dapat mengganggu presisi proses manufaktur. Granit merupakan material rapuh yang dapat mengalami retakan mikro seiring waktu, terutama ketika terpapar siklus tegangan yang konstan. Keberadaan retakan mikro dapat menyebabkan ketidakstabilan dimensi, yang dapat menimbulkan masalah signifikan selama proses manufaktur, seperti penyelarasan litografi atau pemolesan wafer.
Keempat, komponen granit memiliki fleksibilitas yang terbatas. Proses manufaktur semikonduktor membutuhkan peralatan fleksibel yang dapat mengakomodasi berbagai perubahan proses. Namun, komponen granit bersifat kaku dan tidak dapat beradaptasi dengan berbagai perubahan proses. Oleh karena itu, setiap perubahan dalam proses manufaktur mengharuskan pelepasan atau penggantian komponen granit, yang mengakibatkan waktu henti dan memengaruhi produktivitas.
Kelima, komponen granit memerlukan penanganan dan pengangkutan khusus karena berat dan kerapuhannya. Granit merupakan material yang padat dan berat sehingga membutuhkan peralatan penanganan khusus seperti derek dan lift. Selain itu, komponen granit memerlukan pengemasan dan pengangkutan yang cermat untuk mencegah kerusakan selama pengiriman, yang dapat mengakibatkan biaya dan waktu tambahan.
Kesimpulannya, komponen granit memiliki beberapa kekurangan yang dapat memengaruhi kualitas dan produktivitas produk proses manufaktur semikonduktor. Cacat ini dapat diminimalkan melalui penanganan dan perawatan komponen granit yang cermat, termasuk pemeriksaan berkala untuk retakan mikro dan cacat porositas, pembersihan yang tepat untuk mencegah kontaminasi, dan penanganan yang cermat selama transportasi. Meskipun memiliki cacat, komponen granit tetap menjadi bagian penting dari proses manufaktur semikonduktor karena permukaannya yang unggul, kekakuan yang tinggi, dan peredaman getaran yang sangat baik.
Waktu posting: 05-Des-2023