Komponen granit telah banyak digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor karena karakteristiknya yang sangat baik seperti permukaan akhir yang unggul, kekakuan yang tinggi, dan peredam getaran yang sangat baik.Komponen granit sangat penting untuk peralatan fabrikasi semikonduktor, termasuk mesin litografi, mesin pemoles, dan sistem metrologi karena memberikan penentuan posisi dan stabilitas yang presisi selama proses produksi.Terlepas dari semua kelebihan menggunakan komponen granit, komponen tersebut juga memiliki kekurangan.Pada artikel kali ini kita akan membahas tentang cacat komponen granit pada produk proses pembuatan semikonduktor.
Pertama, komponen granit memiliki koefisien muai panas yang tinggi.Artinya, bahan tersebut mengembang secara signifikan di bawah tekanan termal, yang dapat menyebabkan masalah selama proses produksi.Proses pembuatan semikonduktor memerlukan presisi tinggi dan akurasi dimensi yang dapat terganggu karena tekanan termal.Misalnya, deformasi wafer silikon akibat ekspansi termal dapat menyebabkan masalah penyelarasan selama litografi, yang dapat menurunkan kualitas perangkat semikonduktor.
Kedua, komponen granit memiliki cacat porositas yang dapat menyebabkan kebocoran vakum pada proses pembuatan semikonduktor.Kehadiran udara atau gas lain dalam sistem dapat menyebabkan kontaminasi pada permukaan wafer, sehingga mengakibatkan cacat yang dapat mempengaruhi kinerja perangkat semikonduktor.Gas inert seperti argon dan helium dapat meresap ke dalam komponen granit berpori dan menciptakan gelembung gas yang dapat mengganggu integritas proses vakum.
Ketiga, komponen granit memiliki retakan mikro yang dapat mengganggu ketepatan proses pembuatannya.Granit adalah material rapuh yang dapat menimbulkan retakan mikro seiring berjalannya waktu, terutama bila terkena siklus tekanan yang konstan.Kehadiran retakan mikro dapat menyebabkan ketidakstabilan dimensi, sehingga menyebabkan masalah signifikan selama proses produksi, seperti penyelarasan litografi atau pemolesan wafer.
Keempat, komponen granit memiliki fleksibilitas yang terbatas.Proses manufaktur semikonduktor memerlukan peralatan fleksibel yang dapat mengakomodasi perubahan proses yang berbeda.Namun, komponen granit bersifat kaku dan tidak dapat beradaptasi dengan perubahan proses yang berbeda.Oleh karena itu, setiap perubahan dalam proses produksi memerlukan pelepasan atau penggantian komponen granit, yang menyebabkan waktu henti dan mempengaruhi produktivitas.
Kelima, komponen granit memerlukan penanganan dan pengangkutan khusus karena berat dan kerapuhannya.Granit merupakan material padat dan berat yang memerlukan peralatan penanganan khusus seperti crane dan pengangkat.Selain itu, komponen granit memerlukan pengemasan dan pengangkutan yang hati-hati untuk mencegah kerusakan selama pengiriman, sehingga menimbulkan biaya dan waktu tambahan.
Kesimpulannya, komponen granit memiliki beberapa kelemahan yang dapat mempengaruhi kualitas dan produktivitas produk proses pembuatan semikonduktor.Cacat ini dapat diminimalkan melalui penanganan dan pemeliharaan komponen granit secara hati-hati, termasuk pemeriksaan berkala terhadap cacat mikrofraktur dan porositas, pembersihan yang benar untuk mencegah kontaminasi, dan penanganan yang hati-hati selama pengangkutan.Meskipun terdapat cacat, komponen granit tetap menjadi bagian penting dari proses manufaktur semikonduktor karena permukaan akhir yang unggul, kekakuan tinggi, dan peredam getaran yang sangat baik.
Waktu posting: 05-Des-2023