Manufaktur semikonduktor: Dalam proses manufaktur chip, proses fotolitografi perlu mentransfer pola sirkuit secara presisi ke wafer. Basis granit dari modul gerak ultra-presisi mengambang udara sumbu tunggal dapat memberikan pemosisian presisi tinggi dan dukungan stabil untuk meja wafer dalam peralatan litografi. Sebagai contoh, ASML dan produsen mesin litografi ternama internasional lainnya menggunakan modul gerak mengambang udara berbasis granit pada peralatan canggih mereka, yang dapat mengontrol akurasi pemosisian wafer pada tingkat nanometer untuk memastikan akurasi pola litografi, sehingga meningkatkan integrasi dan kinerja chip.
Bidang pengukuran presisi: CMM adalah peralatan pengukuran presisi yang umum digunakan dalam produksi industri, yang digunakan untuk mengukur ukuran, bentuk, dan akurasi posisi benda kerja. Modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara sumbu tunggal pada alas granit dapat digunakan sebagai platform gerak CMM, yang dapat mewujudkan gerakan linear presisi tinggi dan memberikan lintasan gerak yang stabil untuk probe pengukur. Misalnya, CMM kelas atas Hexagon menggunakan kombinasi ini untuk mengukur komponen besar dan kompleks dengan akurasi pengukuran hingga tingkat mikron, memberikan jaminan yang kuat untuk kontrol kualitas komponen di industri otomotif, kedirgantaraan, dan industri lainnya.
Bidang kedirgantaraan: Dalam pemrosesan dan pengujian komponen kedirgantaraan, presisi tinggi sangat dibutuhkan. Misalnya, pemesinan bilah mesin pesawat terbang memerlukan kontrol lintasan gerak pahat yang presisi untuk memastikan akurasi profil bilah. Basis granit modul gerak ultra-presisi pelampung udara sumbu tunggal dapat diaplikasikan pada pusat pemesinan lima sumbu dan peralatan lainnya untuk memberikan kontrol gerak presisi tinggi bagi pahat dan memastikan akurasi pemesinan bilah dapat memenuhi persyaratan desain. Pada saat yang sama, dalam proses perakitan mesin pesawat terbang, juga diperlukan penggunaan peralatan pengukur presisi tinggi untuk mendeteksi akurasi perakitan komponen. Modul gerak pelampung udara dari basis granit dapat memberikan dukungan yang stabil dan pergerakan yang akurat bagi peralatan pengukur untuk memastikan kualitas perakitan.
Bidang inspeksi optik: Dalam proses manufaktur dan pengujian komponen optik, pemosisian dan pengukuran komponen optik dengan presisi tinggi diperlukan. Misalnya, dalam manufaktur komponen optik presisi tinggi seperti cermin dan lensa, interferometer dan peralatan lainnya diperlukan untuk mendeteksi akurasi bentuk permukaan. Basis granit modul gerak ultra-presisi mengambang udara sumbu tunggal dapat digunakan sebagai platform pergerakan interferometer, yang dapat mencapai akurasi pemosisian sub-mikron dan memberikan dukungan data yang akurat untuk mendeteksi komponen optik. Selain itu, pada peralatan pemrosesan laser, platform gerak presisi tinggi juga diperlukan untuk mengontrol lintasan pemindaian sinar laser. Basis granit modul gerak mengambang udara dapat memenuhi persyaratan ini untuk mencapai pemrosesan laser presisi tinggi.
Waktu posting: 07-Apr-2025