Pembuatan semikonduktor: Dalam proses pembuatan chip, proses fotolitografi perlu mentransfer pola sirkuit secara tepat ke wafer. Basis granit dari modul gerakan ultra-presisi mengambang udara sumbu tunggal dapat memberikan posisi presisi tinggi dan dukungan stabil untuk meja wafer dalam peralatan litografi. Misalnya, ASML dan produsen mesin litografi terkenal internasional lainnya menggunakan modul gerakan mengambang udara berbasis granit dalam peralatan canggih mereka, yang dapat mengontrol akurasi posisi wafer pada tingkat nanometer untuk memastikan akurasi pola litografi, sehingga meningkatkan integrasi dan kinerja chip.
Bidang pengukuran presisi: CMM adalah peralatan pengukuran presisi yang umum digunakan dalam produksi industri, yang digunakan untuk mengukur ukuran, bentuk, dan akurasi posisi benda kerja. Modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara sumbu tunggal pada alas granit dapat digunakan sebagai platform gerak CMM, yang dapat mewujudkan gerak linier presisi tinggi dan menyediakan lintasan gerak yang stabil untuk probe pengukur. Misalnya, CMM kelas atas Hexagon menggunakan kombinasi ini untuk mengukur komponen yang besar dan rumit dengan akurasi pengukuran hingga tingkat mikron, yang memberikan jaminan yang kuat untuk kontrol kualitas komponen di industri otomotif, kedirgantaraan, dan industri lainnya.
Bidang kedirgantaraan: Dalam pemrosesan dan pengujian komponen kedirgantaraan, diperlukan presisi tinggi. Misalnya, pemesinan bilah mesin pesawat terbang memerlukan kontrol lintasan gerak alat yang presisi untuk memastikan akurasi profil bilah. Basis granit dari modul gerak ultra-presisi pelampung udara sumbu tunggal dapat diaplikasikan ke pusat pemesinan lima sumbu dan peralatan lainnya untuk memberikan kontrol gerak presisi tinggi bagi alat dan memastikan bahwa akurasi pemesinan bilah dapat memenuhi persyaratan desain. Pada saat yang sama, dalam proses perakitan mesin pesawat terbang, juga perlu menggunakan peralatan pengukur presisi tinggi untuk mendeteksi akurasi perakitan komponen. Modul gerak pelampung udara dari basis granit dapat memberikan dukungan yang stabil dan gerakan yang akurat bagi peralatan pengukur untuk memastikan kualitas perakitan.
Bidang inspeksi optik: Dalam proses pembuatan dan pengujian komponen optik, perlu dilakukan pemosisian dan pengukuran komponen optik dengan presisi tinggi. Misalnya, saat membuat komponen optik presisi tinggi seperti cermin dan lensa, perlu menggunakan interferometer dan peralatan lain untuk mendeteksi akurasi bentuk permukaan. Basis granit dari modul gerak presisi ultra mengambang udara sumbu tunggal dapat digunakan sebagai platform gerakan interferometer, yang dapat mewujudkan akurasi pemosisian sub-mikron dan memberikan dukungan data yang akurat untuk mendeteksi komponen optik. Selain itu, dalam peralatan pemrosesan laser, perlu juga menggunakan platform gerakan presisi tinggi untuk mengontrol lintasan pemindaian sinar laser, basis granit dari modul gerak mengambang udara dapat memenuhi persyaratan ini, untuk mencapai pemrosesan laser presisi tinggi.
Waktu posting: 07-Apr-2025