Granit adalah jenis batuan keras yang telah menjadi material penting dalam industri manufaktur semikonduktor. Sifat-sifatnya memungkinkan granit untuk menahan suhu tinggi, sehingga ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses manufaktur perangkat semikonduktor. Oleh karena itu, perakitan granit telah menemukan area aplikasi yang luas dalam produk perangkat proses manufaktur semikonduktor.
Salah satu aplikasi perakitan granit yang paling banyak digunakan adalah dalam konstruksi struktur perkakas mesin presisi tinggi. Kekakuan dan stabilitas granit memungkinkan produksi perkakas yang presisi dan akurat dengan sedikit atau tanpa deformasi. Tingkat presisi ini diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor seperti implantasi ion, di mana sinar harus diarahkan secara akurat ke wafer.
Aplikasi lain dari perakitan granit dalam manufaktur semikonduktor adalah dalam konstruksi peralatan metrologi. Peralatan metrologi sangat penting dalam proses manufaktur semikonduktor karena mengukur dan memverifikasi akurasi perangkat yang diproduksi. Stabilitas dimensi granit, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredam getaran yang sangat baik menjadikannya material pilihan dalam konstruksi peralatan metrologi. Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam staging dan inspeksi wafer.
Meja optik merupakan salah satu area aplikasi perakitan granit yang luas dalam industri semikonduktor. Meja optik digunakan dalam pengujian perangkat optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data. Kerataan granit, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan stabilitas mekanisnya memungkinkannya menyediakan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan pemosisian optik. Meja Optik Granit dapat memberikan stabilitas dan kekakuan yang dibutuhkan untuk melakukan pengujian perangkat optik yang akurat dan presisi.
Granit juga dapat diaplikasikan dalam konstruksi chuck dan stage wafer. Selama proses manufaktur semikonduktor, penyelarasan presisi dan kontrol posisi sangat penting. Chuck wafer, yang menahan wafer pada tempatnya selama pemrosesan, harus mempertahankan akurasi posisi sekaligus menahan suhu tinggi dan kondisi vakum. Granit memiliki stabilitas dimensi yang sangat baik pada rentang suhu yang luas dan dapat menahan kondisi vakum, sehingga ideal untuk konstruksi chuck wafer. Stage yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu posisi ke posisi lain melalui serangkaian gerakan berulang selama proses fabrikasi semikonduktor. Perakitan granit memberikan stabilitas dan daya tahan yang dibutuhkan untuk menahan siklus pergerakan yang berkelanjutan dan berulang.
Singkatnya, aplikasi perakitan granit dalam industri manufaktur semikonduktor sangat luas. Sifat-sifatnya seperti stabilitas dimensi, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan peredam getaran menjadikannya material yang ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses manufaktur perangkat semikonduktor. Dari konstruksi peralatan mesin presisi tinggi dan peralatan metrologi hingga meja optik, tahapan wafer, dan chuck, atribut granit memainkan peran penting dalam memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk mencapai manufaktur perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Waktu posting: 06-Des-2023