Granit adalah jenis batu keras yang telah menjadi bahan yang sangat diperlukan di industri manufaktur semikonduktor. Sifatnya memungkinkannya menahan suhu tinggi, yang membuatnya ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses pembuatan perangkat semikonduktor. Akibatnya, perakitan granit telah menemukan area aplikasi yang luas dalam produk perangkat proses manufaktur semikonduktor.
Salah satu aplikasi perakitan granit yang paling banyak digunakan adalah dalam pembangunan struktur alat mesin presisi tinggi. Kekakuan dan stabilitas granit memungkinkan untuk menghasilkan alat yang tepat dan akurat dengan sedikit atau tanpa deformasi. Tingkat presisi ini diperlukan dalam proses pembuatan semikonduktor seperti implantasi ion, di mana balok harus diarahkan secara akurat ke wafer.
Aplikasi lain dari perakitan granit di manufaktur semikonduktor adalah dalam pembangunan peralatan metrologi. Peralatan metrologi sangat penting dalam proses pembuatan semikonduktor karena mengukur dan memverifikasi keakuratan perangkat yang diproduksi. Stabilitas dimensi granit, ekspansi termal rendah, dan sifat redaman getaran yang sangat baik menjadikannya bahan pilihan dalam konstruksi peralatan metrologi. Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam pementasan dan inspeksi wafer.
Tabel optik adalah area lain dari aplikasi ekstensif perakitan granit di industri semikonduktor. Tabel optik digunakan dalam pengujian perangkat optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data. Kerataan granit, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan stabilitas mekanis memungkinkannya untuk memberikan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan penentuan posisi optik. Tabel optik granit dapat memberikan stabilitas dan kekakuan yang diperlukan untuk melakukan pengujian yang akurat dan tepat dari perangkat optik.
Granit juga menemukan aplikasi dalam pembangunan wafer chucks dan tahapan. Selama proses pembuatan semikonduktor, penyelarasan presisi, dan kontrol posisi sangat penting. Wafer Chucks, yang menahan wafer di tempat selama pemrosesan, harus mempertahankan akurasi posisi sambil menahan suhu tinggi dan kondisi vakum. Granit memiliki stabilitas dimensi yang sangat baik selama berbagai suhu dan dapat menahan kondisi vakum, menjadikannya ideal untuk pembangunan wafer chucks. Tahapan yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu posisi ke posisi lain melalui urutan gerakan bersepeda selama proses fabrikasi semikonduktor. Perakitan granit memberikan stabilitas dan daya tahan yang diperlukan untuk menanggung siklus gerakan yang berkelanjutan dan berulang.
Singkatnya, penerapan perakitan granit di industri manufaktur semikonduktor sangat luas. Sifatnya seperti stabilitas dimensi, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan redaman getaran menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses pembuatan perangkat semikonduktor. Dari konstruksi peralatan mesin presisi tinggi dan peralatan metrologi hingga tabel optik dan tahap wafer dan chucks, atribut granit memainkan peran penting dalam memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk mencapai pembuatan perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Waktu posting: Des-06-2023