Granit merupakan salah satu jenis batuan keras yang telah menjadi material yang sangat diperlukan dalam industri manufaktur semikonduktor.Sifatnya memungkinkannya menahan suhu tinggi, sehingga ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses pembuatan perangkat semikonduktor.Hasilnya, perakitan granit telah menemukan area aplikasi yang luas dalam produk perangkat proses manufaktur semikonduktor.
Salah satu aplikasi perakitan granit yang paling banyak digunakan adalah dalam konstruksi struktur peralatan mesin presisi tinggi.Kekakuan dan stabilitas granit memungkinkan pembuatan perkakas yang presisi dan akurat dengan sedikit atau tanpa deformasi.Tingkat presisi ini diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor seperti implantasi ion, dimana sinar harus diarahkan secara akurat ke wafer.
Penerapan lain perakitan granit dalam pembuatan semikonduktor adalah dalam konstruksi peralatan metrologi.Peralatan metrologi sangat penting dalam proses manufaktur semikonduktor karena mengukur dan memverifikasi keakuratan perangkat yang diproduksi.Stabilitas dimensi granit, muai panas yang rendah, dan sifat peredam getaran yang sangat baik menjadikannya bahan pilihan dalam konstruksi peralatan metrologi.Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam pementasan dan inspeksi wafer.
Meja optik adalah area penerapan ekstensif perakitan granit di industri semikonduktor.Tabel optik digunakan dalam pengujian perangkat optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data.Kerataan granit, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan stabilitas mekanis memungkinkannya memberikan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan pemosisian optik.Meja Optik Granit dapat memberikan stabilitas dan kekakuan yang diperlukan untuk melakukan pengujian perangkat optik yang akurat dan tepat.
Granit juga dapat diterapkan dalam konstruksi chuck dan tahapan wafer.Selama proses pembuatan semikonduktor, penyelarasan presisi, dan kontrol posisi sangat penting.Chuck wafer, yang menahan wafer pada tempatnya selama pemrosesan, harus menjaga keakuratan posisinya sekaligus tahan terhadap suhu tinggi dan kondisi vakum.Granit memiliki stabilitas dimensi yang sangat baik pada rentang suhu yang luas dan dapat menahan kondisi vakum, sehingga ideal untuk konstruksi wafer chuck.Tahapan yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu posisi ke posisi lain melalui rangkaian gerakan bersepeda selama proses fabrikasi semikonduktor.Perakitan granit memberikan stabilitas dan daya tahan yang diperlukan untuk menanggung siklus pergerakan yang terus menerus dan berulang.
Singkatnya, penerapan perakitan granit dalam industri manufaktur semikonduktor sangat luas.Sifatnya seperti stabilitas dimensi, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan peredam getaran menjadikannya bahan yang ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses pembuatan perangkat semikonduktor.Dari konstruksi peralatan mesin presisi tinggi dan peralatan metrologi hingga meja optik dan tahapan wafer serta chuck, atribut granit memainkan peran penting dalam memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk mencapai manufaktur perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Waktu posting: 06 Des-2023