Granit adalah jenis batuan keras yang telah menjadi material yang sangat diperlukan dalam industri manufaktur semikonduktor. Sifat-sifatnya memungkinkannya untuk menahan suhu tinggi, yang membuatnya ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses manufaktur perangkat semikonduktor. Hasilnya, perakitan granit telah menemukan area aplikasi yang luas dalam produk perangkat proses manufaktur semikonduktor.
Salah satu aplikasi perakitan granit yang paling banyak digunakan adalah dalam konstruksi struktur peralatan mesin presisi tinggi. Kekakuan dan stabilitas granit memungkinkan untuk menghasilkan peralatan yang presisi dan akurat dengan sedikit atau tanpa deformasi. Tingkat presisi ini diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor seperti implantasi ion, di mana sinar harus diarahkan secara akurat ke wafer.
Aplikasi lain dari perakitan granit dalam produksi semikonduktor adalah dalam konstruksi peralatan metrologi. Peralatan metrologi sangat penting dalam proses produksi semikonduktor karena mengukur dan memverifikasi keakuratan perangkat yang diproduksi. Stabilitas dimensi granit, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredam getaran yang sangat baik menjadikannya material pilihan dalam konstruksi peralatan metrologi. Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam penataan dan pemeriksaan wafer.
Meja optik merupakan area lain dari aplikasi perakitan granit yang luas dalam industri semikonduktor. Meja optik digunakan dalam pengujian perangkat optik seperti pemandu gelombang untuk komunikasi data. Kerataan granit, ekspansi termal yang rendah, kekakuan yang tinggi, dan stabilitas mekanis memungkinkannya untuk menyediakan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan penempatan optik. Meja optik granit dapat memberikan stabilitas dan kekakuan yang dibutuhkan untuk melakukan pengujian perangkat optik yang akurat dan tepat.
Granit juga dapat diaplikasikan dalam konstruksi wafer chuck dan stage. Selama proses produksi semikonduktor, penyelarasan presisi dan kontrol posisi sangat penting. Wafer chuck, yang menahan wafer di tempatnya selama pemrosesan, harus mempertahankan akurasi posisi sambil menahan suhu tinggi dan kondisi vakum. Granit memiliki stabilitas dimensi yang sangat baik pada berbagai suhu dan dapat menahan kondisi vakum, sehingga ideal untuk konstruksi wafer chuck. Stage yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu posisi ke posisi lain melalui serangkaian gerakan selama proses fabrikasi semikonduktor. Perakitan granit memberikan stabilitas dan daya tahan yang dibutuhkan untuk menahan siklus gerakan yang terus-menerus dan berulang.
Singkatnya, aplikasi perakitan granit dalam industri manufaktur semikonduktor sangat luas. Properti-propertinya seperti stabilitas dimensi, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan peredaman getaran menjadikannya material yang ideal untuk digunakan dalam berbagai tahap proses manufaktur perangkat semikonduktor. Dari konstruksi peralatan mesin presisi tinggi dan peralatan metrologi hingga meja optik dan tahap wafer serta chuck, atribut granit memainkan peran penting dalam memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk mencapai manufaktur perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Waktu posting: 06-Des-2023