Lapisan granit merupakan komponen penting dalam berbagai perangkat semikonduktor.Sebagai material yang sangat stabil dan kaku, granit banyak digunakan sebagai bahan dasar peralatan pemrosesan semikonduktor.Hal ini ditandai dengan koefisien ekspansi termal yang rendah, stabilitas dimensi yang tinggi, dan sifat mekanik yang sangat baik.Karena sifat ini, lapisan granit paling sering digunakan dalam tiga jenis perangkat semikonduktor – peralatan metrologi, peralatan litografi, dan peralatan inspeksi.
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dan mendeteksi dimensi kritis perangkat semikonduktor.Ini memainkan peran penting dalam menjaga kualitas dan konsistensi proses manufaktur semikonduktor.Perlengkapan metrologi meliputi instrumen seperti mikroskop optik, mikroskop elektron, dan mikroskop gaya atom (AFM).Karena kinerja instrumen pengukuran ini bergantung pada stabilitas, presisi, dan ketahanan getarannya, granit adalah pilihan ideal untuk material alasnya.Keseragaman dan stabilitas lapisan granit memberikan platform yang stabil untuk instrumen, yang meningkatkan akurasi dan keandalannya.
Peralatan litografi digunakan untuk membuat pola microchip pada wafer.Proses litografi memerlukan tingkat presisi dan akurasi yang tinggi untuk membuat sirkuit yang kompleks dan meningkatkan kinerja chip.Peralatan litografi mencakup sistem stepper dan pemindai yang menggunakan cahaya untuk mentransfer gambar ke wafer.Karena proses litografi sangat sensitif terhadap getaran dan perubahan termal, lapisan berkualitas tinggi sangat penting untuk menjamin stabilitas dan pengulangan proses litografi.Lapisan granit memberikan stabilitas yang diperlukan dan kinerja peredam getaran yang ketat untuk sistem litografi.Lapisan granit memungkinkan sistem stepper atau pemindai menjaga hubungan spasial yang tepat untuk memastikan akurasi tinggi dan kualitas produk akhir.
Peralatan inspeksi digunakan untuk mendeteksi adanya cacat pada perangkat semikonduktor.Peralatan inspeksi mencakup sistem seperti mikroskop pemindaian laser, mikroskop elektron, dan mikroskop optik.Dengan kebutuhan akan perangkat yang sangat akurat, stabil, dan tahan getaran, lapisan granit adalah bahan yang sempurna.Sifat mekanik granit dan stabilitas dimensi membantu isolasi getaran, yang meningkatkan keakuratan keluaran peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, lapisan granit sangat penting bagi industri semikonduktor dan digunakan secara luas dalam berbagai jenis peralatan.Sifat uniknya seperti stabilitas dimensi, koefisien muai panas yang rendah, dan stabilitas mekanik yang sangat baik menjadikan granit pilihan ideal untuk material alas peralatan semikonduktor.Karena lapisan granit berkualitas tinggi memberikan stabilitas, presisi, dan ketahanan getaran yang diperlukan pada peralatan semikonduktor, hal ini pada akhirnya meningkatkan kualitas produk akhir.Oleh karena itu, penggunaan lapisan granit pada peralatan semikonduktor pasti akan terus berlanjut selama bertahun-tahun yang akan datang.
Waktu posting: 03 April-2024