Lapisan granit merupakan komponen penting dalam berbagai perangkat semikonduktor. Sebagai material yang sangat stabil dan kaku, granit banyak digunakan sebagai dasar peralatan pemrosesan semikonduktor. Granit dicirikan oleh koefisien ekspansi termal yang rendah, stabilitas dimensi yang tinggi, dan sifat mekanik yang sangat baik. Berkat sifat-sifat ini, lapisan granit paling umum digunakan dalam tiga jenis perangkat semikonduktor: peralatan metrologi, peralatan litografi, dan peralatan inspeksi.
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dan mendeteksi dimensi kritis perangkat semikonduktor. Peralatan ini berperan penting dalam menjaga kualitas dan konsistensi proses manufaktur semikonduktor. Peralatan metrologi mencakup instrumen seperti mikroskop optik, mikroskop elektron, dan mikroskop gaya atom (AFM). Karena kinerja instrumen pengukuran ini bergantung pada stabilitas, presisi, dan ketahanan getarannya, granit merupakan pilihan ideal untuk material alasnya. Keseragaman dan stabilitas alas granit menyediakan platform yang stabil bagi instrumen, yang meningkatkan akurasi dan keandalannya.
Peralatan litografi digunakan untuk membuat pola mikrochip pada wafer. Proses litografi membutuhkan tingkat presisi dan akurasi yang tinggi untuk menciptakan sirkuit yang kompleks dan meningkatkan kinerja chip. Peralatan litografi mencakup sistem stepper dan pemindai yang menggunakan cahaya untuk mentransfer gambar ke wafer. Karena proses litografi sangat sensitif terhadap getaran dan perubahan termal, alas berkualitas tinggi sangat penting untuk memastikan stabilitas dan pengulangan proses litografi. Alas granit memberikan stabilitas yang dibutuhkan dan kinerja peredaman getaran yang ketat untuk sistem litografi. Alas granit memungkinkan sistem stepper atau pemindai untuk mempertahankan hubungan spasial yang presisi sehingga memastikan akurasi tinggi dan kualitas produk akhir.
Peralatan inspeksi digunakan untuk mendeteksi cacat pada perangkat semikonduktor. Peralatan inspeksi mencakup sistem seperti mikroskop pemindai laser, mikroskop elektron, dan mikroskop optik. Dengan kebutuhan akan perangkat-perangkat ini yang sangat akurat, stabil, dan tahan getaran, lapisan granit adalah material yang tepat. Sifat mekanis dan stabilitas dimensi granit membantu dalam isolasi getaran, yang meningkatkan akurasi hasil peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, lapisan granit sangat penting bagi industri semikonduktor dan banyak digunakan dalam berbagai jenis peralatan. Sifat-sifatnya yang unik seperti stabilitas dimensi, koefisien ekspansi termal yang rendah, dan stabilitas mekanis yang sangat baik menjadikan granit pilihan ideal untuk material lapisan peralatan semikonduktor. Karena lapisan granit berkualitas tinggi memberikan stabilitas, presisi, dan ketahanan getaran yang dibutuhkan peralatan semikonduktor, pada akhirnya hal ini meningkatkan kualitas produk akhir. Oleh karena itu, penggunaan lapisan granit dalam peralatan semikonduktor dipastikan akan terus berlanjut di tahun-tahun mendatang.
Waktu posting: 03-Apr-2024