Material granit banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena karakteristiknya yang unggul, seperti stabilitas tinggi, ekspansi termal rendah, dan ketahanan korosi yang tinggi. Sifat-sifat ini menjadikan granit sebagai material ideal untuk membangun komponen presisi tinggi dalam sistem transfer wafer.
Dalam proses manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer memainkan peran penting dalam mengangkut wafer melintasi berbagai tahapan proses manufaktur. Presisi dan akurasi merupakan persyaratan penting untuk sistem ini karena penyimpangan sekecil apa pun dapat membahayakan seluruh proses. Oleh karena itu, komponen dalam sistem transfer wafer harus terbuat dari material berkualitas tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bagian dari sistem transfer wafer yang terbuat dari bahan granit meliputi:
1. Meja Chuck Vakum
Meja penjepit vakum digunakan untuk menahan wafer selama proses berlangsung, dan harus memiliki permukaan yang stabil untuk memastikan wafer tidak rusak. Granit adalah material yang ideal untuk membuat meja ini karena memiliki permukaan datar dan tidak berpori yang memberikan stabilitas dan presisi tinggi. Selain itu, granit memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah, sehingga tahan terhadap perubahan suhu yang dapat menyebabkan perubahan dimensi pada wafer.
2. Tahap Bantalan Udara
Platform bantalan udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui berbagai tahapan proses manufaktur. Platform ini dirancang untuk memberikan gerakan tanpa gesekan, yang membutuhkan presisi dan stabilitas tinggi. Granit digunakan dalam aplikasi ini karena merupakan batu yang kaku dan keras, serta tahan terhadap deformasi dan keausan seiring waktu.
3. Panduan Gerak Linier
Pemandu gerak linier digunakan untuk memandu tahap bantalan udara, dan harus diposisikan secara akurat untuk meminimalkan kesalahan. Granit digunakan untuk membangun pemandu ini karena memiliki stabilitas dan kekuatan mekanik yang sangat baik. Material ini juga tahan korosi, yang memastikan umur panjang sistem pemandu.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer selama proses manufaktur. Granit merupakan material ideal untuk membangun peralatan ini karena memiliki kekakuan tinggi, ekspansi rendah, dan deformasi minimal di bawah beban. Selain itu, stabilitas termal granit memastikan bahwa peralatan metrologi tetap stabil dan akurat dari waktu ke waktu.
Kesimpulannya, industri semikonduktor sangat bergantung pada presisi dan akurasi, dan material granit telah terbukti sangat andal dan stabil dalam proses manufaktur. Dengan banyaknya komponen penting dalam sistem transfer wafer yang membutuhkan stabilitas tinggi, presisi, dan ekspansi termal rendah, para insinyur telah beralih ke material granit untuk memenuhi persyaratan penting ini.
Waktu posting: 19 Maret 2024