Bahan granit banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena karakteristiknya yang sangat baik, seperti stabilitas tinggi, ekspansi termal rendah, dan ketahanan korosi yang tinggi.Sifat-sifat ini menjadikan granit bahan yang ideal untuk membuat komponen presisi tinggi dalam sistem transfer wafer.
Dalam proses manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer memainkan peran penting dalam mengangkut wafer ke berbagai tahap proses manufaktur.Presisi dan akurasi merupakan persyaratan penting untuk sistem ini karena penyimpangan sekecil apa pun dapat membahayakan keseluruhan proses.Oleh karena itu, komponen dalam sistem transfer wafer harus terbuat dari bahan berkualitas tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bagian dari sistem transfer wafer yang terbuat dari bahan granit antara lain:
1. Meja Chuck Vakum
Meja pencekam vakum digunakan untuk menampung wafer selama proses, dan harus memiliki permukaan yang stabil untuk memastikan wafer tidak rusak.Granit merupakan bahan yang ideal untuk membuat meja ini karena memiliki permukaan datar dan tidak berpori sehingga memberikan stabilitas dan presisi tinggi.Selain itu, granit memiliki koefisien muai panas yang rendah, sehingga tahan terhadap perubahan suhu yang dapat menyebabkan perubahan dimensi pada wafer.
2. Tahap Bantalan Udara
Tahap bantalan udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui berbagai tahap proses pembuatan.Panggung dirancang untuk memberikan gerakan tanpa gesekan, yang memerlukan presisi dan stabilitas tinggi.Granit digunakan dalam aplikasi ini karena merupakan batu yang kaku dan keras, serta tahan terhadap deformasi dan keausan seiring waktu.
3. Panduan Gerak Linier
Panduan gerak linier digunakan untuk memandu tahap bantalan udara, dan harus diposisikan secara akurat untuk meminimalkan kesalahan.Granit digunakan untuk membuat panduan ini karena memiliki stabilitas dan kekuatan mekanik yang sangat baik.Bahannya juga tahan korosi, yang menjamin umur panjang sistem pemandu.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer selama proses pembuatan.Granit merupakan material yang ideal untuk membuat peralatan ini karena memiliki kekakuan yang tinggi, muai yang rendah, dan deformasi yang minimal akibat beban.Selain itu, stabilitas termal granit memastikan peralatan metrologi tetap stabil dan akurat dari waktu ke waktu.
Kesimpulannya, industri semikonduktor mengandalkan presisi dan akurasi, dan material granit telah terbukti sangat andal dan stabil dalam proses pembuatannya.Dengan banyaknya komponen penting dalam sistem transfer wafer yang memerlukan stabilitas tinggi, presisi, dan ekspansi termal rendah, para insinyur telah beralih ke material granit untuk memenuhi persyaratan penting ini.
Waktu posting: 19 Maret 2024