Bahan granit banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena karakteristiknya yang sangat baik, seperti stabilitas tinggi, ekspansi termal rendah, dan resistensi tinggi terhadap korosi. Properti ini menjadikan granit bahan yang ideal untuk membangun komponen presisi tinggi dalam sistem transfer wafer.
Dalam proses pembuatan semikonduktor, sistem transfer wafer memainkan peran penting dalam mengangkut wafer di berbagai tahap proses pembuatan. Presisi dan akurasi adalah persyaratan penting untuk sistem ini karena bahkan sedikit penyimpangan dapat membahayakan seluruh proses. Oleh karena itu, komponen dalam sistem transfer wafer harus dibuat dari bahan berkualitas tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bagian dari sistem transfer wafer yang terbuat dari bahan granit meliputi:
1. Meja Chuck Vakum
Tabel chuck vakum digunakan untuk menahan wafer selama proses, dan harus memiliki permukaan yang stabil untuk memastikan wafer tidak rusak. Granit adalah bahan yang ideal untuk membuat tabel ini karena memiliki permukaan datar dan tidak berpori yang memberikan stabilitas dan presisi tinggi. Selain itu, granit memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah, membuatnya tahan terhadap perubahan suhu yang dapat menyebabkan perubahan dimensi pada wafer.
2. Tahap penahan udara
Tahap penahan udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui berbagai tahap proses pembuatan. Panggung ini direkayasa untuk memberikan gerakan tanpa gesekan, yang membutuhkan presisi dan stabilitas tinggi. Granit digunakan dalam aplikasi ini karena itu adalah batu yang kaku dan keras, dan tahan deformasi dan keausan seiring waktu.
3. Panduan Gerakan Linear
Panduan gerak linier digunakan untuk memandu tahap bantalan udara, dan mereka harus diposisikan secara akurat untuk meminimalkan kesalahan. Granit digunakan untuk membangun panduan ini karena memiliki stabilitas dan kekuatan mekanis yang sangat baik. Bahannya juga tahan korosi, yang memastikan umur panjang sistem pemandu.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer selama proses pembuatan. Granit adalah bahan yang ideal untuk membangun peralatan ini karena memiliki kekakuan tinggi, ekspansi rendah, dan deformasi minimal di bawah beban. Selain itu, stabilitas termal granit memastikan bahwa peralatan metrologi tetap stabil dan akurat dari waktu ke waktu.
Sebagai kesimpulan, industri semikonduktor bergantung pada presisi dan akurasi, dan bahan granit telah terbukti sangat andal dan stabil dalam proses pembuatan. Dengan banyak komponen penting dalam sistem transfer wafer yang membutuhkan stabilitas tinggi, presisi, dan ekspansi termal yang rendah, insinyur telah beralih ke bahan granit untuk memenuhi persyaratan kritis ini.
Waktu posting: Mar-19-2024