Material granit banyak digunakan dalam industri semikonduktor karena karakteristiknya yang sangat baik, seperti stabilitas tinggi, ekspansi termal rendah, dan ketahanan tinggi terhadap korosi. Properti ini menjadikan granit sebagai material yang ideal untuk membangun komponen presisi tinggi dalam sistem transfer wafer.
Dalam proses produksi semikonduktor, sistem pemindahan wafer berperan penting dalam mengangkut wafer melewati berbagai tahap proses produksi. Ketepatan dan akurasi merupakan persyaratan penting untuk sistem ini karena penyimpangan sekecil apa pun dapat membahayakan keseluruhan proses. Oleh karena itu, komponen dalam sistem pemindahan wafer harus dibuat dari bahan berkualitas tinggi, dan granit memenuhi kriteria tersebut.
Beberapa bagian dari sistem transfer wafer yang terbuat dari bahan granit meliputi:
1. Meja Chuck Vakum
Meja chuck vakum digunakan untuk menahan wafer selama proses berlangsung, dan harus memiliki permukaan yang stabil untuk memastikan wafer tidak rusak. Granit merupakan material yang ideal untuk membuat meja ini karena memiliki permukaan yang datar dan tidak berpori yang memberikan stabilitas dan presisi yang tinggi. Selain itu, granit memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah, sehingga tahan terhadap perubahan suhu yang dapat menyebabkan perubahan dimensi pada wafer.
2. Tahap Bantalan Udara
Tahap bantalan udara digunakan untuk mengangkut wafer melalui berbagai tahap proses produksi. Tahap ini dirancang untuk menghasilkan gerakan tanpa gesekan, yang membutuhkan presisi dan stabilitas tinggi. Granit digunakan dalam aplikasi ini karena merupakan batu yang kaku dan keras, serta tahan terhadap deformasi dan keausan seiring waktu.
3. Panduan Gerak Linier
Panduan gerakan linier digunakan untuk memandu tahap bantalan udara, dan harus diposisikan secara akurat untuk meminimalkan kesalahan. Granit digunakan untuk membuat panduan ini karena memiliki stabilitas dan kekuatan mekanis yang sangat baik. Bahannya juga tahan korosi, yang memastikan keawetan sistem panduan.
4. Peralatan Metrologi
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dimensi dan sifat wafer selama proses produksi. Granit merupakan material yang ideal untuk membangun peralatan ini karena memiliki kekakuan tinggi, ekspansi rendah, dan deformasi minimal di bawah beban. Selain itu, stabilitas termal granit memastikan bahwa peralatan metrologi tetap stabil dan akurat dari waktu ke waktu.
Kesimpulannya, industri semikonduktor bergantung pada presisi dan akurasi, dan material granit telah terbukti sangat andal dan stabil dalam proses produksi. Dengan banyaknya komponen penting dalam sistem transfer wafer yang memerlukan stabilitas tinggi, presisi, dan ekspansi termal rendah, para insinyur telah beralih ke material granit untuk memenuhi persyaratan penting ini.
Waktu posting: 19-Mar-2024