Dalam dunia manufaktur semikonduktor, peralatan yang presisi dan akurat sangat penting untuk menghasilkan chip berkualitas tinggi. Terdapat banyak bagian dari fasilitas manufaktur semikonduktor yang harus menggunakan material dengan sifat spesifik untuk memastikan pengoperasian yang andal dan berpresisi tinggi.
Salah satu material yang telah menjadi komponen standar peralatan semikonduktor adalah granit. Dikenal karena kekuatan dan stabilitasnya, granit merupakan material yang sangat baik untuk membangun dan membuat komponen yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Berikut adalah beberapa bagian peralatan semikonduktor yang umumnya menggunakan material granit:
1. Pelat dasar
Pelat dasar peralatan semikonduktor harus sangat rata dan stabil untuk meminimalkan getaran dan variasi suhu. Dan granit adalah salah satu dari sedikit material yang dapat memenuhi persyaratan ini. Granit adalah material yang stabil secara dimensi yang tahan terhadap perubahan bentuk dan pemuaian termal, memastikan bahwa pelat dasar mempertahankan kerataannya dari waktu ke waktu.
2. Tahapan
Stage merupakan komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan pergerakan presisi untuk proses manufaktur seperti penempatan wafer, etsa, dan deposisi. Stage berbahan granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredaman yang sangat baik. Dengan stage berbahan granit, pergerakan menjadi lebih presisi, dan peralatan memiliki risiko kegagalan yang lebih rendah.
3. Panduan linier
Pemandu linier adalah perangkat mekanis yang menyediakan gerakan linier di sepanjang dua rel paralel. Perangkat ini harus sangat stabil dan presisi, dan granit adalah material yang ideal untuk tujuan ini. Sifat kekakuan dan peredaman yang tinggi dari granit menjadikannya pilihan populer untuk pemandu linier yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas dan presisi dalam proses manufaktur.
4. Chucks
Chuck digunakan untuk menahan dan memposisikan wafer selama berbagai proses manufaktur. Chuck berbahan granit populer karena kerataannya dan stabilitas termalnya. Karena ekspansi termal granit yang rendah, chuck yang terbuat dari bahan ini tidak melengkung atau berubah dimensi saat terkena perubahan suhu.
5. Pelat inspeksi
Pelat inspeksi digunakan untuk memeriksa kualitas produk yang diproduksi di peralatan semikonduktor. Pelat ini harus sangat rata dan stabil, serta mampu memantulkan cahaya dengan akurat. Reflektivitas tinggi, kerataan permukaan, dan stabilitas dimensi granit menjadikannya pilihan populer untuk pelat inspeksi di peralatan semikonduktor.
Kesimpulannya, elemen granit banyak digunakan untuk komponen presisi pada peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diproyeksikan akan meluas karena sifat-sifatnya yang sangat baik. Dengan kekakuan yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredaman yang sangat baik, elemen granit memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang dibutuhkan untuk melakukan operasi skala nano pada peralatan semikonduktor. Perusahaan yang memproduksi peralatan semikonduktor berkualitas tinggi berinvestasi pada material terbaik untuk memberikan produk mereka peluang terbaik untuk sukses, dan granit terus menjadi material andalan karena sifat dan keandalannya yang sangat baik.
Waktu posting: 19 Maret 2024