Dalam dunia manufaktur semikonduktor, peralatan yang presisi dan akurat sangat penting untuk menghasilkan chip berkualitas tinggi. Ada banyak bagian dari fasilitas manufaktur semikonduktor yang harus menggunakan material dengan sifat khusus untuk memastikan operasi yang andal dan presisi tinggi.
Salah satu material yang menjadi komponen standar peralatan semikonduktor adalah granit. Terkenal akan kekuatan dan kestabilannya, granit merupakan material yang sangat baik untuk konstruksi dan fabrikasi komponen yang digunakan pada peralatan semikonduktor. Berikut ini adalah beberapa bagian peralatan semikonduktor yang umumnya menggunakan material granit:
1. Pelat dasar
Pelat dasar peralatan semikonduktor harus sangat datar dan stabil untuk meminimalkan getaran dan variasi suhu. Dan granit adalah salah satu dari sedikit material yang dapat memenuhi persyaratan ini. Granit adalah material yang stabil secara dimensi yang tahan terhadap lengkungan dan pemuaian termal, memastikan bahwa pelat dasar mempertahankan kerataannya dari waktu ke waktu.
2. Tahapan
Tahapan merupakan komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan gerakan presisi untuk proses produksi seperti penempatan wafer, pengetsaan, dan pengendapan. Tahapan granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredaman yang sangat baik. Dengan tahapan granit, gerakannya lebih presisi, dan peralatan memiliki risiko kegagalan yang lebih rendah.
3. Panduan linier
Pemandu linier adalah perangkat mekanis yang menghasilkan gerakan linier di sepanjang dua rel paralel. Pemandu ini harus sangat stabil dan presisi, dan granit adalah material yang ideal untuk tujuan ini. Kekakuan dan sifat peredaman granit yang tinggi menjadikannya pilihan populer untuk pemandu linier yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas dan presisi dalam proses produksi.
4. Sepatu Chucks
Chuck digunakan untuk menahan dan memposisikan wafer selama berbagai proses produksi. Chuck granit populer karena kerataan dan stabilitas termalnya. Karena ekspansi termal granit yang rendah, chuck yang terbuat dari bahan ini tidak melengkung atau berubah dimensi saat terkena perubahan suhu.
5. Pelat inspeksi
Pelat inspeksi digunakan untuk memeriksa kualitas produk yang diproduksi dalam peralatan semikonduktor. Pelat ini harus sangat datar dan stabil, serta mampu memantulkan cahaya secara akurat. Reflektivitas granit yang tinggi, kerataan permukaan, dan stabilitas dimensi membuatnya menjadi pilihan populer untuk pelat inspeksi dalam peralatan semikonduktor.
Sebagai kesimpulan, elemen granit banyak digunakan untuk komponen presisi dalam peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diproyeksikan akan meluas karena sifatnya yang sangat baik. Dengan kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredaman yang sangat baik, elemen granit memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang dibutuhkan untuk melakukan operasi skala nano dalam peralatan semikonduktor. Perusahaan yang memproduksi peralatan semikonduktor berkualitas tinggi berinvestasi pada material terbaik untuk memberikan peluang terbaik bagi keberhasilan produk mereka, dan granit terus menjadi material pilihan karena sifat dan keandalannya yang sangat baik.
Waktu posting: 19-Mar-2024