Dalam dunia manufaktur semikonduktor, peralatan yang tepat dan akurat sangat penting untuk menghasilkan chip berkualitas tinggi.Ada banyak bagian dari fasilitas manufaktur semikonduktor yang harus menggunakan bahan dengan sifat khusus untuk memastikan pengoperasian yang andal dan presisi tinggi.
Salah satu material yang menjadi komponen standar peralatan semikonduktor adalah granit.Dikenal karena kekuatan dan stabilitasnya, granit adalah bahan yang sangat baik untuk membuat dan membuat komponen yang digunakan dalam peralatan semikonduktor.Berikut beberapa bagian peralatan semikonduktor yang biasa menggunakan material granit:
1. Pelat dasar
Pelat dasar peralatan semikonduktor harus sangat rata dan stabil untuk meminimalkan getaran dan variasi suhu.Dan granit adalah salah satu dari sedikit bahan yang dapat memenuhi persyaratan tersebut.Granit adalah material yang secara dimensi stabil dan tahan terhadap lengkungan dan pemuaian panas, sehingga memastikan pelat dasar tetap rata seiring waktu.
2. Tahapan
Tahapan adalah komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan pergerakan presisi untuk proses manufaktur seperti penentuan posisi wafer, etsa, dan deposisi.Tahapan granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat redaman yang sangat baik.Dengan tahapan granit, pergerakannya lebih presisi, dan risiko kegagalan peralatan lebih rendah.
3. Panduan linier
Pemandu linier adalah perangkat mekanis yang memberikan gerakan linier sepanjang dua rel paralel.Mereka harus sangat stabil dan presisi, dan granit adalah bahan yang ideal untuk tujuan ini.Sifat granit yang memiliki kekakuan dan redaman yang tinggi menjadikannya pilihan populer untuk pemandu linier yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas, dan presisi dalam proses pembuatan.
4. Chuck
Chuck digunakan untuk menahan dan memposisikan wafer selama berbagai proses manufaktur.Chuck granit sangat populer karena kerataan dan stabilitas termalnya.Karena ekspansi termal granit yang rendah, chuck yang terbuat dari bahan ini tidak melengkung atau berubah dimensi bila terkena perubahan suhu.
5. Pelat inspeksi
Pelat inspeksi digunakan untuk memeriksa kualitas produk yang diproduksi pada peralatan semikonduktor.Pelat ini harus sangat rata dan stabil, serta mampu memantulkan cahaya secara akurat.Reflektivitas tinggi, kerataan permukaan, dan stabilitas dimensi granit menjadikannya pilihan populer untuk pelat inspeksi pada peralatan semikonduktor.
Kesimpulannya, elemen granit banyak digunakan untuk komponen presisi pada peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diperkirakan akan meluas karena sifatnya yang sangat baik.Dengan kekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, dan sifat redaman yang sangat baik, elemen granit memberikan stabilitas, akurasi, dan kemampuan pengulangan yang diperlukan untuk melakukan operasi skala nano pada peralatan semikonduktor.Perusahaan yang memproduksi peralatan semikonduktor berkualitas tinggi berinvestasi pada material terbaik untuk memberikan peluang kesuksesan terbaik pada produk mereka, dan granit terus menjadi material pilihan karena sifat dan keandalannya yang sangat baik.
Waktu posting: 19 Maret 2024