Dalam dunia manufaktur semikonduktor, peralatan yang presisi dan akurat sangat penting untuk menghasilkan chip berkualitas tinggi. Ada banyak bagian dari fasilitas manufaktur semikonduktor yang harus menggunakan material dengan sifat khusus untuk memastikan operasi yang andal dan presisi tinggi.
Salah satu material yang telah menjadi komponen standar peralatan semikonduktor adalah granit. Dikenal karena kekuatan dan stabilitasnya, granit merupakan material yang sangat baik untuk konstruksi dan fabrikasi komponen yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Berikut adalah beberapa komponen peralatan semikonduktor yang umumnya menggunakan material granit:
1. Pelat dasar
Pelat dasar peralatan semikonduktor harus sangat rata dan stabil untuk meminimalkan getaran dan variasi suhu. Granit adalah salah satu dari sedikit material yang dapat memenuhi persyaratan ini. Granit adalah material yang stabil secara dimensi, tahan terhadap lengkungan dan pemuaian termal, sehingga memastikan pelat dasar tetap rata seiring waktu.
2. Tahapan
Stage merupakan komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan pergerakan presisi untuk proses manufaktur seperti pemosisian wafer, etsa, dan deposisi. Stage granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat redaman yang sangat baik. Dengan stage granit, pergerakannya lebih presisi, dan risiko kegagalan peralatan lebih rendah.
3. Panduan linier
Pemandu linier adalah perangkat mekanis yang menghasilkan gerakan linier di sepanjang dua rel paralel. Pemandu ini harus sangat stabil dan presisi, dan granit adalah material ideal untuk tujuan ini. Kekakuan dan sifat peredaman granit yang tinggi menjadikannya pilihan populer untuk pemandu linier yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas dan presisi dalam proses manufaktur.
4. Chucks
Chuck digunakan untuk menahan dan memposisikan wafer selama berbagai proses manufaktur. Chuck granit populer karena kerataan dan stabilitas termalnya. Karena ekspansi termal granit yang rendah, chuck yang terbuat dari bahan ini tidak melengkung atau berubah dimensi saat terkena perubahan suhu.
5. Pelat inspeksi
Pelat inspeksi digunakan untuk memeriksa kualitas produk yang diproduksi dalam peralatan semikonduktor. Pelat ini harus sangat rata dan stabil, serta mampu memantulkan cahaya secara akurat. Reflektifitas granit yang tinggi, kerataan permukaan, dan stabilitas dimensinya menjadikannya pilihan populer untuk pelat inspeksi dalam peralatan semikonduktor.
Kesimpulannya, elemen granit banyak digunakan untuk komponen presisi pada peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diproyeksikan akan meluas karena sifat-sifatnya yang unggul. Dengan kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat redaman yang sangat baik, elemen granit memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang dibutuhkan untuk melakukan operasi skala nano pada peralatan semikonduktor. Perusahaan yang memproduksi peralatan semikonduktor berkualitas tinggi berinvestasi pada material terbaik untuk memberikan peluang sukses terbaik bagi produk mereka, dan granit terus menjadi material pilihan karena sifat dan keandalannya yang unggul.
Waktu posting: 19-Mar-2024