Di dunia manufaktur semikonduktor, peralatan yang tepat dan akurat sangat penting untuk menghasilkan chip berkualitas tinggi. Ada banyak bagian dari fasilitas manufaktur semikonduktor yang harus menggunakan bahan dengan sifat spesifik untuk memastikan operasi presisi yang andal dan tinggi.
Salah satu bahan yang telah menjadi komponen standar peralatan semikonduktor adalah granit. Dikenal karena kekuatan dan stabilitasnya, granit adalah bahan yang sangat baik untuk membangun dan membuat komponen yang digunakan dalam peralatan semikonduktor. Berikut adalah beberapa bagian peralatan semikonduktor yang biasanya menggunakan bahan granit:
1. Pelat dasar
Pelat dasar peralatan semikonduktor harus sangat datar dan stabil untuk meminimalkan getaran dan variasi suhu. Dan granit adalah salah satu dari sedikit bahan yang dapat memenuhi persyaratan ini. Granit adalah bahan yang stabil secara dimensi yang menolak ekspansi warping dan termal, memastikan bahwa pelat dasar mempertahankan kerataannya dari waktu ke waktu.
2. Tahapan
Tahapan adalah komponen penting dalam peralatan semikonduktor yang melakukan pergerakan yang tepat untuk proses pembuatan seperti posisi wafer, etsa, dan deposisi. Tahap granit banyak digunakan dalam peralatan semikonduktor karena kekakuannya yang tinggi, ekspansi termal yang rendah, dan sifat redaman yang sangat baik. Dengan tahap granit, pergerakan lebih tepat, dan peralatan memiliki risiko kegagalan yang lebih rendah.
3. Panduan Linier
Panduan linier adalah perangkat mekanis yang memberikan gerakan linier di sepanjang dua rel paralel. Mereka harus sangat stabil dan tepat, dan granit adalah bahan yang ideal untuk tujuan ini. Sifat-sifat granit yang kokoh dan redaman menjadikannya pilihan populer untuk panduan linier yang digunakan dalam peralatan semikonduktor, memastikan stabilitas, dan ketepatan dalam proses pembuatan.
4. Chucks
Chucks digunakan untuk menahan dan memposisikan wafer selama berbagai proses pembuatan. Granit Chucks populer karena kerataan dan stabilitas termal mereka. Karena ekspansi termal yang rendah granit, chucks yang terbuat dari bahan ini tidak melengkung atau mengubah dimensi ketika terpapar perubahan suhu.
5. Piring Inspeksi
Pelat inspeksi digunakan untuk memeriksa kualitas produk yang diproduksi dalam peralatan semikonduktor. Piring -piring ini harus sangat datar dan stabil, dan mampu memantulkan cahaya secara akurat. Reflektivitas tinggi granit, kerataan permukaan, dan stabilitas dimensi menjadikannya pilihan populer untuk pelat inspeksi dalam peralatan semikonduktor.
Sebagai kesimpulan, elemen granit banyak digunakan untuk bagian presisi dalam peralatan semikonduktor, dan penggunaannya diproyeksikan untuk berkembang karena sifatnya yang sangat baik. Dengan kekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, dan sifat redaman yang sangat baik, elemen granit memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk melakukan operasi skala nano dalam peralatan semikonduktor. Perusahaan yang memproduksi peralatan semikonduktor berkualitas tinggi berinvestasi dalam bahan terbaik untuk memberikan produk mereka peluang terbaik untuk sukses, dan granit terus menjadi bahan yang sangat baik karena sifat dan keandalannya yang sangat baik.
Waktu posting: Mar-19-2024