Dalam peralatan produksi semikonduktor dan optoelektronik, granit terutama digunakan dalam komponen utama seperti platform gerak presisi, alas rel pemandu, struktur pendukung isolasi getaran, dan substrat pemasangan komponen optik. Komponen ini memiliki persyaratan presisi, stabilitas, dan toleransi lingkungan yang sangat tinggi. Karakteristik granit dapat secara tepat memenuhi tuntutan ketat industri semikonduktor dan optoelektronik. Berikut ini adalah analisis skenario aplikasi dan keunggulan spesifik:
I. Bagian Aplikasi Utama
Platform gerak presisi (seperti platform wafer untuk mesin fotolitografi dan mesin pengikat)
Digunakan untuk membawa komponen presisi seperti wafer dan lensa optik, mencapai gerakan translasi dan rotasi dengan akurasi skala nano.
Peralatan umum: meja benda kerja mesin fotolitografi, platform pemosisian peralatan pengukuran.
Basis rel pemandu dan struktur rangka
Sebagai basis pemasangan untuk pemandu linier dan pemandu flotasi udara, ia mendukung mekanisme gerak inti peralatan.
Peralatan umum: rangka mekanis peralatan pengemasan semikonduktor dan instrumen inspeksi optik.
Dukungan isolasi getaran dan struktur penstabil
Digunakan untuk mengisolasi getaran eksternal (seperti getaran dari lantai pabrik atau selama pengoperasian peralatan), memastikan stabilitas sistem optik atau mesin presisi.
Skenario umum: Dukungan dasar untuk mikroskop optik dan interferometer laser.
Substrat pemasangan komponen optik
Memperbaiki perangkat optik seperti cermin, prisma, dan laser untuk memastikan stabilitas jangka panjang dari akurasi penyelarasan sistem jalur optik.
Peralatan umum: Peralatan pengemasan optoelektronik, sistem penggandengan serat optik.
Waktu posting: 29-Mei-2025