Granit adalah material keras dan tahan lama yang sering digunakan dalam industri konstruksi. Namun, granit juga memiliki sifat yang membuatnya berguna dalam manufaktur semikonduktor, khususnya dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terpadu. Komponen granit, seperti meja granit dan blok granit, banyak digunakan karena stabilitas, kerataan, dan koefisien ekspansi termal yang rendah.
Salah satu penggunaan utama komponen granit dalam manufaktur semikonduktor adalah dalam proses fabrikasi. Wafer silikon, blok bangunan dasar sirkuit terpadu, perlu difabrikasi dengan presisi dan akurasi tinggi. Setiap distorsi atau pergerakan selama proses dapat menyebabkan cacat yang dapat memengaruhi kualitas dan fungsionalitas sirkuit terpadu. Meja granit, dengan stabilitas dan kerataannya yang tinggi, menyediakan platform yang baik untuk peralatan pemrosesan wafer. Meja granit juga tahan terhadap pemuaian dan penyusutan termal yang disebabkan oleh pemanasan dan pendinginan yang dibutuhkan dalam proses tersebut.
Blok granit juga digunakan dalam pemrosesan semikonduktor karena stabilitas termalnya. Selama proses etsa atau deposisi, gas panas atau plasma digunakan untuk memodifikasi permukaan wafer silikon. Suhu wafer perlu dikontrol untuk memastikan proses berjalan efisien dan akurat. Blok granit, dengan koefisien ekspansi termal yang rendah, membantu menstabilkan suhu wafer, mengurangi risiko fluktuasi suhu yang dapat memengaruhi kualitas material yang diproses.
Selain proses fabrikasi dan pengolahan, komponen granit juga digunakan dalam tahap metrologi dan inspeksi pembuatan semikonduktor. Pengukuran metrologi dilakukan untuk memastikan bahwa ukuran, bentuk, dan posisi struktur pada wafer berada dalam spesifikasi yang dibutuhkan. Blok granit digunakan sebagai standar referensi dalam pengukuran ini karena stabilitas dan akurasi dimensinya. Granit juga digunakan dalam tahap inspeksi, di mana kualitas sirkuit terpadu diperiksa di bawah pembesaran tinggi.
Secara keseluruhan, penggunaan komponen granit dalam manufaktur semikonduktor telah meningkat dalam beberapa tahun terakhir. Kebutuhan akan presisi, akurasi, dan stabilitas tinggi dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terpadu telah mendorong adopsi material ini oleh produsen semikonduktor. Sifat unik granit, seperti kekerasan, stabilitas, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk digunakan dalam proses ini. Dengan terus berkembang dan meningkatnya teknologi semikonduktor, penggunaan komponen granit diperkirakan akan terus meningkat di masa mendatang.
Waktu posting: 05-Des-2023