Granit adalah material keras dan tahan lama yang sering digunakan dalam industri konstruksi. Namun, granit juga memiliki sifat-sifat yang membuatnya bermanfaat dalam manufaktur semikonduktor, terutama dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terpadu. Komponen granit, seperti meja granit dan blok granit, banyak digunakan karena stabilitas, kerataan, dan koefisien muai termalnya yang rendah.
Salah satu penggunaan utama komponen granit dalam manufaktur semikonduktor adalah dalam proses fabrikasi. Wafer silikon, blok penyusun dasar sirkuit terpadu, perlu difabrikasi dengan presisi dan akurasi tinggi. Distorsi atau pergerakan apa pun selama proses fabrikasi dapat menyebabkan cacat yang dapat memengaruhi kualitas dan fungsionalitas sirkuit terpadu. Meja granit, dengan stabilitas dan kerataannya yang tinggi, menyediakan platform yang baik untuk peralatan pemrosesan wafer. Meja granit juga tahan terhadap ekspansi dan kontraksi termal yang disebabkan oleh pemanasan dan pendinginan yang diperlukan dalam proses fabrikasi.
Blok granit juga digunakan dalam pemrosesan semikonduktor karena stabilitas termalnya. Selama proses etsa atau deposisi, gas panas atau plasma digunakan untuk memodifikasi permukaan wafer silikon. Suhu wafer perlu dikontrol agar proses berlangsung secara efisien dan akurat. Blok granit, dengan koefisien ekspansi termalnya yang rendah, membantu menstabilkan suhu wafer, mengurangi risiko fluktuasi suhu yang dapat memengaruhi kualitas material yang diproses.
Selain proses fabrikasi dan pemrosesan, komponen granit juga digunakan dalam tahap metrologi dan inspeksi manufaktur semikonduktor. Pengukuran metrologi dilakukan untuk memastikan ukuran, bentuk, dan posisi struktur pada wafer berada dalam spesifikasi yang dipersyaratkan. Blok granit digunakan sebagai standar acuan dalam pengukuran ini karena stabilitas dimensi dan akurasinya. Blok granit juga digunakan dalam tahap inspeksi, di mana kualitas sirkuit terpadu diperiksa dengan pembesaran tinggi.
Secara keseluruhan, penggunaan komponen granit dalam manufaktur semikonduktor telah meningkat dalam beberapa tahun terakhir. Kebutuhan akan presisi, akurasi, dan stabilitas tinggi dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terpadu telah mendorong adopsi material ini oleh produsen semikonduktor. Sifat unik granit, seperti kekerasan, stabilitas, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk digunakan dalam proses ini. Dengan terus berkembang dan ditingkatkannya teknologi semikonduktor, penggunaan komponen granit diperkirakan akan semakin meningkat di masa mendatang.
Waktu posting: 05-Des-2023