Granit adalah bahan yang keras dan tahan lama yang sering digunakan dalam industri konstruksi. Namun, ia juga memiliki sifat yang membuatnya berguna dalam manufaktur semikonduktor, terutama dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terintegrasi. Komponen granit, seperti meja granit dan blok granit, banyak digunakan untuk stabilitas, kerataan, dan koefisien ekspansi termal rendah.
Salah satu penggunaan utama komponen granit dalam manufaktur semikonduktor adalah dalam proses fabrikasi. Wafer silikon, blok bangunan dasar sirkuit terintegrasi, perlu dibuat dengan presisi dan akurasi tinggi. Setiap distorsi atau gerakan selama proses dapat menyebabkan cacat yang dapat mempengaruhi kualitas dan fungsionalitas sirkuit terintegrasi. Tabel granit, dengan stabilitas dan kerataannya yang tinggi, menyediakan platform yang baik untuk peralatan pemrosesan wafer. Mereka juga tahan terhadap ekspansi termal dan kontraksi yang disebabkan oleh pemanasan dan pendinginan yang diperlukan dalam proses.
Blok granit juga digunakan dalam pemrosesan semikonduktor untuk stabilitas termal mereka. Selama proses etsa atau pengendapan, gas panas atau plasma digunakan untuk memodifikasi permukaan wafer silikon. Suhu wafer perlu dikontrol untuk memastikan bahwa proses dilakukan secara efisien dan akurat. Blok granit, dengan koefisien ekspansi termal yang rendah, membantu menstabilkan suhu wafer, mengurangi risiko fluktuasi suhu yang dapat mempengaruhi kualitas bahan yang diproses.
Selain dari proses fabrikasi dan pemrosesan, komponen granit juga digunakan dalam tahap metrologi dan inspeksi manufaktur semikonduktor. Pengukuran metrologi dilakukan untuk memastikan bahwa ukuran, bentuk, dan posisi struktur pada wafer berada dalam spesifikasi yang diperlukan. Blok granit digunakan sebagai standar referensi dalam pengukuran ini karena stabilitas dan akurasinya dimensi. Mereka juga digunakan pada tahap inspeksi, di mana kualitas sirkuit terintegrasi diperiksa di bawah perbesaran tinggi.
Secara keseluruhan, penggunaan komponen granit dalam manufaktur semikonduktor telah meningkat dalam beberapa tahun terakhir. Kebutuhan akan presisi tinggi, akurasi, dan stabilitas dalam fabrikasi dan pemrosesan sirkuit terintegrasi telah mendorong adopsi bahan -bahan ini oleh produsen semikonduktor. Sifat unik granit, seperti kekerasan, stabilitas, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, menjadikannya pilihan yang sangat baik untuk digunakan dalam proses ini. Dengan pengembangan yang berkelanjutan dan peningkatan teknologi semikonduktor, penggunaan komponen granit diperkirakan akan tumbuh lebih jauh di masa depan.
Waktu posting: Des-05-2023