Granit telah umum digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan peralatan presisi, termasuk peralatan pemrosesan wafer. Hal ini disebabkan oleh sifat-sifat material yang sangat baik seperti kekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, dan peredaman getaran yang tinggi. Material ini menyediakan permukaan yang stabil dan rata, yang penting dalam produksi sirkuit elektronik kecil pada wafer.
Saat menggunakan granit pada peralatan pemrosesan wafer, penting untuk mengambil tindakan pencegahan yang tepat guna memastikan efisiensi dan umur pakai yang maksimal. Berikut beberapa tips untuk menggunakan dan merawat granit dengan benar.
1. Penanganan dan pemasangan yang tepat
Granit adalah material yang sangat berat dan rapuh sehingga memerlukan penanganan dan pemasangan yang tepat. Sangat penting untuk memastikan permukaan diratakan sebelum pemasangan. Ketidakrataan apa pun dapat menyebabkan kerusakan pada peralatan, yang dapat memengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan. Granit harus ditangani dengan hati-hati dan harus diangkut serta dipasang dengan bantuan peralatan khusus.
2. Pembersihan rutin
Peralatan pemrosesan wafer yang menggunakan granit perlu dibersihkan secara teratur untuk mencegah penumpukan kotoran dan debu di permukaannya. Penumpukan kotoran dapat menyebabkan goresan atau terbentuknya retakan, yang dapat memengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan. Kain lembut dan larutan sabun ringan sudah cukup untuk membersihkan permukaan granit. Deterjen dan bahan kimia keras harus dihindari karena dapat merusak permukaan.
3. Perawatan pencegahan
Pemeliharaan preventif sangat penting untuk memastikan peralatan pemrosesan wafer berfungsi secara optimal. Peralatan dan permukaan granit harus diperiksa secara berkala, dan setiap tanda kerusakan harus segera ditangani. Hal ini dapat membantu mendeteksi masalah sejak dini dan mencegahnya berkembang menjadi masalah yang lebih besar dan lebih mahal untuk diperbaiki.
4. Hindari siklus termal
Granit sensitif terhadap perubahan suhu, dan siklus termal harus dihindari. Perubahan suhu yang cepat dapat menyebabkan granit memuai dan menyusut, yang mengakibatkan retak atau melengkungnya permukaan. Mempertahankan suhu yang stabil di ruang pemrosesan dapat membantu mencegah hal ini terjadi. Selain itu, penting untuk menghindari meletakkan benda panas di permukaan granit untuk mencegah guncangan termal.
Kesimpulannya, granit adalah material yang umum digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer karena sifat-sifat unggulnya yang berkontribusi pada produksi wafer berkualitas tinggi. Untuk memastikan efisiensi dan umur pakai maksimal, penanganan yang tepat, pembersihan rutin, perawatan pencegahan, dan menghindari siklus termal sangat penting. Praktik-praktik ini dapat membantu menjaga peralatan dalam kondisi prima, sehingga menghasilkan produktivitas optimal dan wafer berkualitas tinggi.
Waktu posting: 27 Desember 2023