Granit telah umum digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan peralatan presisi, termasuk peralatan pemrosesan wafer. Hal ini berkat sifat-sifat unggulnya seperti kekakuan tinggi, ekspansi termal rendah, dan peredaman getaran yang tinggi. Granit menghasilkan permukaan yang stabil dan rata, yang penting dalam produksi sirkuit elektronik kecil pada wafer.
Saat menggunakan granit dalam peralatan pemrosesan wafer, penting untuk mengambil tindakan pencegahan yang tepat guna memastikan efisiensi dan umur pakai yang maksimal. Berikut beberapa tips untuk menggunakan dan merawat granit dengan benar.
1. Penanganan dan pemasangan yang tepat
Granit adalah material yang sangat berat dan rapuh sehingga membutuhkan penanganan dan pemasangan yang tepat. Sangat penting untuk memastikan permukaannya rata sebelum pemasangan. Ketidakrataan apa pun dapat menyebabkan kerusakan pada peralatan, yang dapat memengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan. Granit harus ditangani dengan hati-hati dan harus diangkut serta dipasang dengan bantuan peralatan khusus.
2. Pembersihan rutin
Peralatan pengolahan wafer yang menggunakan granit perlu dibersihkan secara teratur untuk mencegah penumpukan serpihan dan kotoran di permukaan. Penumpukan serpihan dapat menyebabkan goresan atau retakan, yang dapat memengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan. Kain lembut dan larutan sabun ringan mungkin cukup untuk membersihkan permukaan granit. Deterjen dan bahan kimia keras harus dihindari karena dapat merusak permukaan.
3. Pemeliharaan preventif
Perawatan preventif sangat penting untuk memastikan peralatan pemrosesan wafer berfungsi optimal. Peralatan dan permukaan granit harus diperiksa secara berkala, dan tanda-tanda kerusakan harus segera ditangani. Hal ini dapat membantu mendeteksi masalah sejak dini dan mencegahnya berkembang menjadi masalah yang lebih besar yang membutuhkan biaya perbaikan yang lebih mahal.
4. Hindari siklus termal
Granit sensitif terhadap perubahan suhu, dan siklus termal harus dihindari. Perubahan suhu yang cepat dapat menyebabkan granit memuai dan menyusut, yang mengakibatkan retak atau melengkungnya permukaan. Menjaga suhu yang stabil di ruang pemrosesan dapat membantu mencegah hal ini. Selain itu, penting untuk menghindari meletakkan benda panas di atas permukaan granit untuk mencegah kejutan termal.
Kesimpulannya, granit merupakan material yang umum digunakan dalam peralatan pemrosesan wafer karena sifat-sifat unggulnya yang berkontribusi pada produksi wafer berkualitas tinggi. Untuk memastikan efisiensi dan umur pakai yang maksimal, penanganan yang tepat, pembersihan rutin, pemeliharaan preventif, dan menghindari siklus termal sangatlah penting. Praktik-praktik ini dapat membantu menjaga peralatan dalam kondisi prima, menghasilkan produktivitas optimal dan wafer berkualitas tinggi.
Waktu posting: 27-Des-2023