Granit telah umum digunakan dalam industri semikonduktor untuk pembuatan peralatan presisi, termasuk peralatan pemrosesan wafer.Hal ini disebabkan oleh sifat material yang sangat baik seperti kekakuan tinggi, muai panas rendah, dan peredam getaran tinggi.Ini memberikan permukaan yang stabil dan datar, yang penting dalam produksi sirkuit elektronik kecil pada wafer.
Saat menggunakan granit dalam peralatan pemrosesan wafer, penting untuk mengambil tindakan pencegahan yang tepat untuk memastikan efisiensi maksimum dan umur panjang.Berikut beberapa tips menggunakan dan merawat granit dengan baik.
1. Penanganan dan pemasangan yang benar
Granit adalah material yang sangat berat dan rapuh sehingga memerlukan penanganan dan pemasangan yang tepat.Penting untuk memastikan permukaan rata sebelum pemasangan.Ketidakrataan apa pun dapat menyebabkan kerusakan pada peralatan, yang dapat mempengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan.Granit harus ditangani dengan hati-hati dan harus diangkut serta dipasang dengan bantuan peralatan khusus.
2. Pembersihan rutin
Peralatan pengolahan wafer yang menggunakan bahan granit perlu dibersihkan secara berkala untuk mencegah penumpukan serpihan dan kotoran di permukaan.Penumpukan kotoran dapat menimbulkan goresan atau berujung pada terbentuknya retakan sehingga dapat mempengaruhi kualitas wafer yang dihasilkan.Kain lembut dan larutan sabun lembut sudah cukup untuk membersihkan permukaan granit.Deterjen dan bahan kimia yang keras harus dihindari karena dapat merusak permukaan.
3. Pemeliharaan preventif
Pemeliharaan preventif sangat penting untuk memastikan peralatan pengolahan wafer berfungsi secara optimal.Peralatan dan permukaan granit harus diperiksa secara teratur, dan segala tanda kerusakan harus segera diatasi.Hal ini dapat membantu mendeteksi masalah sejak dini dan mencegahnya berkembang menjadi masalah yang lebih besar dan membutuhkan biaya perbaikan yang lebih besar.
4. Hindari siklus termal
Granit sensitif terhadap perubahan suhu, dan siklus termal harus dihindari.Perubahan suhu yang cepat dapat menyebabkan granit mengembang dan menyusut, sehingga menyebabkan permukaan retak atau melengkung.Mempertahankan suhu yang stabil di ruang pemrosesan dapat membantu mencegah hal ini terjadi.Selain itu, penting untuk menghindari meletakkan benda panas di atas permukaan granit untuk mencegah guncangan termal.
Kesimpulannya, granit merupakan bahan yang umum digunakan dalam peralatan pengolahan wafer karena sifat unggulnya yang berkontribusi pada produksi wafer berkualitas tinggi.Untuk memastikan efisiensi maksimum dan umur panjang, penanganan yang tepat, pembersihan rutin, pemeliharaan preventif, dan menghindari siklus termal sangatlah penting.Praktik-praktik ini dapat membantu menjaga peralatan dalam kondisi prima, sehingga menghasilkan produktivitas optimal dan wafer berkualitas tinggi.
Waktu posting: 27 Des-2023