Bagaimana cara memperbaiki tampilan alas mesin granit yang rusak untuk pemrosesan wafer dan mengkalibrasi ulang akurasinya?

Dudukan mesin granit merupakan komponen penting dalam mesin pengolahan wafer. Dudukan ini menyediakan platform yang stabil dan akurat agar mesin dapat beroperasi dengan lancar dan presisi. Namun, karena sering digunakan, dudukan ini dapat rusak dan aus, sehingga memengaruhi penampilan dan akurasinya. Dalam artikel ini, kita akan membahas cara memperbaiki penampilan dudukan mesin granit yang rusak dan mengkalibrasi ulang akurasinya.

Memperbaiki tampilan alas mesin granit yang rusak:

Langkah 1: Bersihkan permukaan - Sebelum Anda mulai memperbaiki alas mesin granit, pastikan permukaannya bersih dan bebas dari kotoran atau debu. Lap dengan kain lembap dan biarkan kering.

Langkah 2: Isi retakan atau kerusakan - Jika ada retakan atau kerusakan pada permukaan, isi dengan epoksi atau pasta perbaikan granit. Pastikan untuk menggunakan warna yang sesuai dengan warna granit, dan oleskan secara merata.

Langkah 3: Amplas permukaan - Setelah epoksi atau pasta mengering, amplas permukaan alas mesin granit menggunakan amplas berbutir halus. Ini akan membantu menghaluskan permukaan dan menghilangkan sisa-sisa yang berlebihan.

Langkah 4: Poles permukaan - Gunakan pasta poles granit untuk memoles permukaan alas mesin granit. Oleskan pasta poles ke kain lembut dan gosok permukaan dengan gerakan melingkar. Ulangi hingga permukaan halus dan mengkilap.

Kalibrasi ulang akurasi alas mesin granit yang rusak:

Langkah 1: Ukur akurasi - Sebelum Anda mulai mengkalibrasi ulang akurasi, ukur akurasi dasar mesin granit saat ini menggunakan interferometer laser atau alat ukur lainnya.

Langkah 2: Periksa kerataan - Pastikan alas mesin granit dalam keadaan rata. Gunakan waterpas untuk memeriksa kerataan dan sesuaikan kaki penyeimbang jika perlu.

Langkah 3: Periksa kerataan - Periksa apakah ada lengkungan atau pembengkokan pada alas mesin granit. Gunakan alat pengukur kerataan presisi untuk mengukur kerataan dan mengidentifikasi area mana yang perlu disesuaikan.

Langkah 4: Mengikis - Setelah Anda mengidentifikasi area yang perlu disesuaikan, gunakan alat pengikis tangan untuk mengikis permukaan alas mesin granit. Ini akan membantu menghilangkan bagian yang menonjol di permukaan dan memastikan permukaan yang halus dan rata.

Langkah 5: Ukur ulang akurasi - Setelah pengikisan selesai, ukur ulang akurasi alas mesin granit menggunakan interferometer laser atau alat ukur. Jika perlu, ulangi proses pengikisan hingga akurasi memenuhi spesifikasi yang dibutuhkan.

Kesimpulannya, alas mesin granit merupakan bagian integral dari mesin pengolahan wafer dan memerlukan perawatan rutin untuk memastikan penampilan dan akurasinya. Jika alas mesin granit Anda rusak, ikuti langkah-langkah ini untuk memperbaiki penampilannya dan mengkalibrasi ulang akurasinya. Dengan langkah-langkah sederhana ini, Anda dapat mengembalikan alas mesin granit Anda ke kondisi semula dan memastikan kinerja optimal.

13


Waktu posting: 07-Nov-2023