Rangka mesin granit banyak digunakan dalam produk peralatan pemrosesan wafer karena stabilitas, kekakuan, dan sifat peredaman getarannya yang sangat baik. Perakitan, pengujian, dan kalibrasi rangka mesin granit membutuhkan pendekatan yang tepat dan hati-hati untuk memastikan kinerja yang akurat dan andal. Dalam artikel ini, kami akan memandu Anda melalui proses langkah demi langkah perakitan, pengujian, dan kalibrasi rangka mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer.
Langkah 1: Memeriksa dan Mempersiapkan Pelat Permukaan Granit
Langkah pertama adalah memeriksa permukaan lempengan granit untuk mengetahui adanya cacat atau kerusakan. Periksa lempengan tersebut untuk melihat apakah ada retak, serpihan, atau goresan, dan pastikan lempengan tersebut bersih dan bebas dari kotoran. Jika Anda menemukan kerusakan atau cacat, lempengan tersebut perlu diperbaiki atau diganti.
Setelah memeriksa permukaan pelat, gunakan alat pengukur level untuk memastikan permukaannya benar-benar rata. Jika ditemukan penyimpangan dari kerataan, penyimpangan tersebut harus dikoreksi menggunakan shim atau penyesuaian perataan lainnya.
Langkah 2: Menempatkan Alas Mesin Granit pada Posisinya
Langkah kedua adalah menempatkan alas mesin granit pada posisi akhirnya. Pastikan alas tersebut rata dan stabil, serta sejajarkan dengan peralatan pemrosesan wafer lainnya. Alas mesin granit harus dipasang dengan aman untuk mencegah pergerakan selama penggunaan.
Langkah 3: Memasang Komponen Peralatan Pemrosesan Wafer
Langkah ketiga adalah memasang komponen peralatan pemrosesan wafer ke alas mesin granit. Hal ini harus dilakukan dengan hati-hati, mengikuti petunjuk pabrikan dan memastikan bahwa semua komponen terpasang dengan aman.
Langkah 4: Menguji Stabilitas dan Peredaman Getaran pada Alas Mesin Granit
Setelah semua komponen peralatan pemrosesan wafer terpasang, stabilitas dan sifat peredaman getaran dari alas mesin granit perlu diuji. Untuk melakukan ini, hubungkan peralatan pemrosesan wafer ke penganalisis getaran dan jalankan serangkaian pengujian.
Pengujian ini akan membantu mengidentifikasi sumber getaran dan amplitudo getaran yang dapat diserap oleh alas mesin granit. Setiap masalah yang teridentifikasi selama pengujian ini harus ditangani, dan sistem peredam getaran pada alas mesin granit harus disesuaikan accordingly.
Langkah 5: Kalibrasi Alas Mesin Granit
Setelah stabilitas dan sifat peredaman getaran dari alas mesin granit diuji dan disesuaikan, alas tersebut perlu dikalibrasi agar dapat digunakan dengan presisi yang akurat. Hal ini melibatkan penggunaan sistem pengukuran presisi tinggi untuk menentukan kerataan pelat permukaan dan menyesuaikan ketinggian alas mesin sesuai dengan itu.
Kesimpulan
Perakitan, pengujian, dan kalibrasi alas mesin granit memerlukan pendekatan yang tepat dan hati-hati untuk memastikan kinerja yang akurat dan andal. Dengan mengikuti langkah-langkah ini, Anda dapat memastikan bahwa produk peralatan pemrosesan wafer Anda dibangun di atas fondasi yang stabil dan kokoh, yang sangat penting untuk ketepatan dan kinerja yang andal.
Waktu posting: 29 Desember 2023