Cara merakit, menguji, dan mengkalibrasi basis mesin granit untuk produk pemrosesan wafer

Basis mesin granit banyak digunakan dalam industri manufaktur, terutama dalam industri pemrosesan wafer. Basis ini merupakan bagian penting dari mesin untuk pemrosesan wafer yang efisien dan akurat. Perakitan, pengujian, dan kalibrasi basis mesin granit memerlukan perhatian terhadap detail dan keahlian. Dalam artikel ini, kami akan menjelaskan panduan langkah demi langkah untuk merakit, menguji, dan mengkalibrasi basis mesin granit untuk produk pemrosesan wafer.

1. Merakit Basis Mesin Granit

Langkah pertama untuk merakit alas mesin granit adalah menyiapkan semua komponen yang diperlukan dan memastikan kualitasnya. Komponen untuk alas mesin granit dapat meliputi lempengan granit, rangka aluminium, bantalan perata, dan baut. Berikut adalah langkah-langkah untuk merakit alas mesin granit:

Langkah 1 - Letakkan lempengan granit pada permukaan yang datar dan bersih.

Langkah 2 - Pasangkan rangka aluminium di sekeliling lempengan granit menggunakan baut dan pastikan rangka sejajar dengan tepian granit.

Langkah 3 - Pasang bantalan leveling pada sisi bawah rangka aluminium untuk memastikan alas mesin rata.

Langkah 4 - Kencangkan semua baut dan pastikan alas mesin granit kokoh dan stabil.

2. Menguji Basis Mesin Granit

Setelah merakit alas mesin granit, alas tersebut perlu diuji untuk memastikannya berfungsi dengan benar. Pengujian alas mesin granit meliputi pengecekan kerataan, kerataan, dan stabilitasnya. Berikut ini langkah-langkah untuk menguji alas mesin granit:

Langkah 1 - Gunakan level presisi untuk memeriksa kerataan alas mesin dengan meletakkannya di berbagai titik lempeng granit.

Langkah 2 - Gunakan penggaris atau pelat permukaan untuk memeriksa kerataan alas mesin dengan meletakkannya di berbagai titik lempengan granit. Toleransi kerataan harus kurang dari 0,025 mm.

Langkah 3 - Berikan beban pada alas mesin untuk memeriksa kestabilannya. Beban tidak boleh menyebabkan deformasi atau pergerakan pada alas mesin.

3. Mengkalibrasi Basis Mesin Granit

Mengkalibrasi alas mesin granit melibatkan penyesuaian akurasi posisi mesin dan penyelarasannya dengan komponen mesin lainnya untuk memastikan kinerja terbaik. Berikut adalah langkah-langkah untuk mengkalibrasi alas mesin granit:

Langkah 1 - Pasang instrumen pengukuran seperti platform optik atau sistem interferometer laser pada dasar mesin granit.

Langkah 2 - Lakukan serangkaian pengujian dan pengukuran untuk menentukan kesalahan dan penyimpangan posisi mesin.

Langkah 3 - Sesuaikan parameter posisi mesin untuk meminimalkan kesalahan dan penyimpangan.

Langkah 4 - Lakukan pemeriksaan akhir untuk memastikan dasar mesin dikalibrasi dengan benar, dan tidak ada kesalahan atau penyimpangan dalam pengukuran.

Kesimpulan

Kesimpulannya, perakitan, pengujian, dan kalibrasi alas mesin granit untuk produk pemrosesan wafer sangat penting untuk mencapai presisi dan akurasi tinggi dalam proses produksi. Dengan komponen, peralatan, dan keahlian yang diperlukan, mengikuti langkah-langkah yang dijelaskan di atas akan memastikan bahwa alas mesin granit dirakit, diuji, dan dikalibrasi dengan benar. Alas mesin granit yang dibangun dan dikalibrasi dengan baik akan memberikan hasil yang efisien dan akurat dalam produk pemrosesan wafer.

 


Waktu posting: 07-Nov-2023