Basis mesin granit banyak digunakan dalam produk peralatan pemrosesan wafer karena sifat unggulnya seperti kekakuan tinggi, stabilitas, dan presisi.Merakit, menguji, dan mengkalibrasi dasar mesin granit adalah proses penting yang menuntut perhatian penuh terhadap detail, presisi, dan akurasi.Pada artikel kali ini kita akan membahas langkah demi langkah proses perakitan, pengujian, dan kalibrasi basis mesin granit untuk produk peralatan pengolah wafer.
Perakitan
Langkah pertama adalah menyiapkan pelat permukaan granit, alas, dan kolom untuk perakitan.Pastikan semua permukaan bersih, kering, dan bebas dari kotoran, debu, atau minyak.Masukkan tiang perata ke alasnya dan letakkan pelat permukaan di atasnya.Sesuaikan tiang perata sehingga pelat permukaan horizontal dan rata.Pastikan pelat permukaan rata dengan alas dan kolom.
Selanjutnya, pasang kolom di alasnya dan kencangkan dengan baut.Gunakan kunci torsi untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan.Periksa ketinggian kolom dan sesuaikan tiang perata jika perlu.
Terakhir, pasang rakitan spindel di bagian atas kolom.Gunakan kunci torsi untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan.Periksa ketinggian rakitan spindel dan sesuaikan stud perata jika perlu.
Pengujian
Setelah merakit basis mesin, langkah selanjutnya adalah menguji fungsionalitas dan keakuratannya.Hubungkan catu daya dan hidupkan mesin.Pastikan semua komponen seperti motor, roda gigi, ikat pinggang, dan bantalan berfungsi dengan baik dan tidak ada kelainan atau suara bising yang tidak biasa.
Untuk menguji keakuratan mesin, gunakan indikator dial presisi untuk mengukur runout spindel.Atur indikator dial pada pelat permukaan, dan putar spindel.Runout maksimum yang diperbolehkan harus kurang dari 0,002 mm.Jika runout lebih besar dari batas yang diijinkan, sesuaikan tiang perata dan periksa kembali.
Kalibrasi
Kalibrasi adalah langkah penting dalam memastikan keakuratan dan presisi dasar mesin.Proses kalibrasi melibatkan pengujian dan penyesuaian parameter mesin, seperti kecepatan, posisi, dan akurasi, untuk memastikan bahwa mesin memenuhi spesifikasi pabrikan.
Untuk mengkalibrasi mesin, Anda memerlukan alat kalibrasi, yang mencakup interferometer laser, pelacak laser, atau ballbar.Alat-alat ini mengukur gerakan, posisi, dan kesejajaran alat berat dengan akurasi tinggi.
Mulailah dengan mengukur sumbu linier dan sudut mesin.Gunakan alat kalibrasi untuk mengukur gerakan dan posisi mesin pada jarak atau sudut tertentu.Bandingkan nilai terukur dengan spesifikasi pabrikan.Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin, seperti motor, roda gigi, dan penggerak, agar nilai terukur berada dalam batas yang diizinkan.
Selanjutnya, uji fungsi interpolasi melingkar mesin.Gunakan alat kalibrasi untuk membuat jalur melingkar dan mengukur gerakan dan posisi mesin.Sekali lagi, bandingkan nilai terukur dengan spesifikasi pabrikan dan sesuaikan parameternya jika perlu.
Terakhir, uji kemampuan pengulangan mesin.Ukur posisi mesin pada titik yang berbeda selama periode tertentu.Bandingkan nilai yang diukur dan periksa apakah ada penyimpangan.Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin dan ulangi pengujian.
Kesimpulan
Merakit, menguji, dan mengkalibrasi dasar mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer merupakan proses penting yang membutuhkan kesabaran, perhatian terhadap detail, dan ketelitian.Dengan mengikuti langkah-langkah berikut, Anda dapat memastikan bahwa alat berat memenuhi spesifikasi dan fungsi pabrikan dengan akurasi, stabilitas, dan presisi.
Waktu posting: 28 Des-2023