Rangka mesin granit banyak digunakan dalam produk peralatan pemrosesan wafer karena sifatnya yang unggul seperti kekakuan, stabilitas, dan presisi yang tinggi. Perakitan, pengujian, dan kalibrasi rangka mesin granit merupakan proses penting yang membutuhkan perhatian penuh terhadap detail, presisi, dan akurasi. Dalam artikel ini, kita akan membahas proses langkah demi langkah perakitan, pengujian, dan kalibrasi rangka mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer.
Merakit
Langkah pertama adalah menyiapkan pelat permukaan granit, alas, dan kolom untuk perakitan. Pastikan semua permukaan bersih, kering, dan bebas dari kotoran, debu, atau minyak. Masukkan baut penyeimbang ke dalam alas dan letakkan pelat permukaan di atasnya. Sesuaikan baut penyeimbang agar pelat permukaan horizontal dan rata. Pastikan pelat permukaan sejajar dengan alas dan kolom.
Selanjutnya, pasang kolom pada alas dan kencangkan dengan baut. Gunakan kunci momen untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan. Periksa kerataan kolom dan sesuaikan baut penyeimbang jika perlu.
Terakhir, pasang rakitan spindel di bagian atas kolom. Gunakan kunci momen untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan. Periksa kerataan rakitan spindel dan sesuaikan baut perata jika perlu.
Pengujian
Setelah merakit rangka mesin, langkah selanjutnya adalah menguji fungsionalitas dan akurasinya. Sambungkan catu daya dan hidupkan mesin. Pastikan semua komponen seperti motor, roda gigi, sabuk, dan bantalan berfungsi dengan baik dan tanpa kelainan atau suara yang tidak biasa.
Untuk menguji akurasi mesin, gunakan indikator dial presisi untuk mengukur penyimpangan putaran spindel. Letakkan indikator dial pada pelat permukaan, dan putar spindel. Penyimpangan putaran maksimum yang diperbolehkan harus kurang dari 0,002 mm. Jika penyimpangan putaran lebih besar dari batas yang diperbolehkan, sesuaikan baut penyeimbang dan periksa kembali.
Kalibrasi
Kalibrasi adalah langkah penting dalam memastikan keakuratan dan presisi basis mesin. Proses kalibrasi melibatkan pengujian dan penyesuaian parameter mesin, seperti kecepatan, posisi, dan akurasi, untuk memastikan bahwa mesin memenuhi spesifikasi pabrikan.
Untuk mengkalibrasi mesin, Anda memerlukan alat kalibrasi, yang meliputi interferometer laser, pelacak laser, atau ballbar. Alat-alat ini mengukur gerakan, posisi, dan penyelarasan mesin dengan akurasi tinggi.
Mulailah dengan mengukur sumbu linier dan sudut mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk mengukur gerakan dan posisi mesin pada jarak atau sudut tertentu. Bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pabrikan. Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin, seperti motor, roda gigi, dan penggerak, untuk membawa nilai yang diukur ke dalam batas yang diizinkan.
Selanjutnya, uji fungsi interpolasi melingkar mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk membuat jalur melingkar dan ukur pergerakan serta posisi mesin. Sekali lagi, bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pabrikan dan sesuaikan parameter jika perlu.
Terakhir, uji kemampuan pengulangan mesin. Ukur posisi mesin di berbagai titik selama periode waktu tertentu. Bandingkan nilai yang diukur dan periksa apakah ada penyimpangan. Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin dan ulangi pengujian.
Kesimpulan
Merakit, menguji, dan mengkalibrasi alas mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer adalah proses penting yang membutuhkan kesabaran, perhatian terhadap detail, dan ketelitian. Dengan mengikuti langkah-langkah ini, Anda dapat memastikan bahwa mesin tersebut memenuhi spesifikasi pabrikan dan berfungsi dengan akurat, stabil, dan presisi.
Waktu posting: 28 Desember 2023