Basis mesin granit sangat banyak digunakan dalam produk peralatan pemrosesan wafer karena sifat superiornya seperti kekakuan, stabilitas, dan presisi yang tinggi. Merakit, menguji, dan mengkalibrasi basis mesin granit adalah proses kritis yang menuntut perhatian terhadap detail, presisi, dan akurasi. Dalam artikel ini, kita akan membahas proses perakitan, pengujian, dan mengkalibrasi basis mesin granit untuk produk-produk peralatan pemrosesan wafer.
Perakitan
Langkah pertama adalah menyiapkan pelat permukaan granit, dasar, dan kolom untuk perakitan. Pastikan semua permukaan bersih, kering, dan bebas dari puing -puing, debu, atau minyak. Masukkan stud leveling ke dalam dasar dan letakkan pelat permukaan di atasnya. Sesuaikan stud leveling sehingga pelat permukaan horizontal dan level. Pastikan pelat permukaan rata dengan alas dan kolom.
Selanjutnya, pasang kolom di pangkalan dan kencangkan dengan baut. Gunakan kunci pas torsi untuk mengencangkan baut ke nilai torsi yang disarankan pabrikan. Periksa level kolom dan sesuaikan stud leveling jika perlu.
Akhirnya, pasang unit spindel di bagian atas kolom. Gunakan kunci pas torsi untuk mengencangkan baut ke nilai torsi yang disarankan pabrikan. Periksa level perakitan spindel dan sesuaikan stud leveling jika perlu.
Pengujian
Setelah merakit basis mesin, langkah selanjutnya adalah menguji fungsionalitas dan akurasinya. Hubungkan catu daya dan nyalakan mesin. Pastikan bahwa semua komponen seperti motor, roda gigi, ikat pinggang, dan bantalan berfungsi dengan baik dan tanpa kelainan atau suara yang tidak biasa.
Untuk menguji keakuratan mesin, gunakan indikator tombol presisi untuk mengukur runout spindle. Atur indikator tombol pada pelat permukaan, dan putar spindel. Runout maksimum yang diizinkan harus kurang dari 0,002 mm. Jika runout lebih besar dari batas yang diizinkan, sesuaikan stud leveling dan periksa lagi.
Kalibrasi
Kalibrasi adalah langkah penting dalam memastikan keakuratan dan ketepatan basis mesin. Proses kalibrasi melibatkan pengujian dan penyesuaian parameter mesin, seperti kecepatan, penentuan posisi, dan akurasi, untuk memastikan bahwa mesin memenuhi spesifikasi pabrikan.
Untuk mengkalibrasi mesin, Anda akan memerlukan alat kalibrasi, yang mencakup interferometer laser, pelacak laser, atau ballbar. Alat -alat ini mengukur gerakan, posisi, dan penyelarasan mesin dengan akurasi tinggi.
Mulailah dengan mengukur sumbu linier dan sudut mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk mengukur gerakan dan posisi mesin pada jarak atau sudut yang ditentukan. Bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pabrikan. Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin, seperti motor, roda gigi, dan drive, untuk membawa nilai yang diukur dalam batas yang diizinkan.
Selanjutnya, uji fungsi interpolasi melingkar mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk membuat jalur melingkar dan mengukur gerakan dan posisi mesin. Sekali lagi, bandingkan nilai yang diukur dengan spesifikasi pabrikan dan sesuaikan parameter jika perlu.
Akhirnya, uji pengulangan mesin. Ukur posisi mesin pada titik yang berbeda selama periode tertentu. Bandingkan nilai yang diukur dan periksa penyimpangan apa pun. Jika ada penyimpangan, sesuaikan parameter mesin dan ulangi tes.
Kesimpulan
Merakit, menguji, dan mengkalibrasi basis mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer adalah proses kritis yang membutuhkan kesabaran, perhatian terhadap detail, dan presisi. Dengan mengikuti langkah -langkah ini, Anda dapat memastikan bahwa mesin memenuhi spesifikasi dan fungsi pabrikan dengan akurasi, stabilitas, dan presisi.
Waktu posting: Des-28-2023