Basis mesin granit banyak digunakan dalam produk peralatan pemrosesan wafer karena sifat-sifatnya yang unggul seperti kekakuan, stabilitas, dan presisi yang tinggi. Perakitan, pengujian, dan kalibrasi basis mesin granit merupakan proses krusial yang menuntut perhatian penuh terhadap detail, presisi, dan akurasi. Dalam artikel ini, kami akan membahas proses perakitan, pengujian, dan kalibrasi basis mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer langkah demi langkah.
Merakit
Langkah pertama adalah menyiapkan pelat permukaan granit, alas, dan kolom untuk perakitan. Pastikan semua permukaan bersih, kering, dan bebas dari kotoran, debu, atau minyak. Masukkan baut perata ke dalam alas dan letakkan pelat permukaan di atasnya. Sesuaikan baut perata agar pelat permukaan horizontal dan rata. Pastikan pelat permukaan rata dengan alas dan kolom.
Selanjutnya, pasang kolom pada alasnya dan kencangkan dengan baut. Gunakan kunci torsi untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan. Periksa ketinggian kolom dan sesuaikan baut penyeimbang jika perlu.
Terakhir, pasang rakitan spindel di atas kolom. Gunakan kunci torsi untuk mengencangkan baut sesuai nilai torsi yang direkomendasikan pabrikan. Periksa kerataan rakitan spindel dan sesuaikan baut penyeimbang jika perlu.
Pengujian
Setelah merakit dasar mesin, langkah selanjutnya adalah menguji fungsionalitas dan akurasinya. Hubungkan catu daya dan nyalakan mesin. Pastikan semua komponen seperti motor, roda gigi, sabuk, dan bantalan berfungsi dengan baik dan tanpa kelainan atau suara yang tidak biasa.
Untuk menguji akurasi mesin, gunakan indikator dial presisi untuk mengukur runout spindel. Pasang indikator dial pada pelat permukaan, lalu putar spindel. Runout maksimum yang diizinkan harus kurang dari 0,002 mm. Jika runout lebih besar dari batas yang diizinkan, sesuaikan stud penyeimbang dan periksa kembali.
Kalibrasi
Kalibrasi merupakan langkah krusial untuk memastikan akurasi dan presisi dasar mesin. Proses kalibrasi melibatkan pengujian dan penyesuaian parameter mesin, seperti kecepatan, posisi, dan akurasi, untuk memastikan mesin memenuhi spesifikasi pabrikan.
Untuk mengkalibrasi mesin, Anda memerlukan alat kalibrasi, yang meliputi interferometer laser, pelacak laser, atau ballbar. Alat-alat ini mengukur gerakan, posisi, dan kesejajaran mesin dengan akurasi tinggi.
Mulailah dengan mengukur sumbu linier dan sudut mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk mengukur gerakan dan posisi mesin pada jarak atau sudut tertentu. Bandingkan nilai yang terukur dengan spesifikasi pabrikan. Jika terdapat penyimpangan, sesuaikan parameter mesin, seperti motor, roda gigi, dan penggerak, agar nilai terukur berada dalam batas yang diizinkan.
Selanjutnya, uji fungsi interpolasi melingkar mesin. Gunakan alat kalibrasi untuk membuat jalur melingkar dan mengukur gerakan serta posisi mesin. Sekali lagi, bandingkan nilai terukur dengan spesifikasi pabrikan dan sesuaikan parameter jika perlu.
Terakhir, uji pengulangan mesin. Ukur posisi mesin pada berbagai titik selama periode tertentu. Bandingkan nilai yang terukur dan periksa adanya deviasi. Jika terdapat deviasi, sesuaikan parameter mesin dan ulangi pengujian.
Kesimpulan
Merakit, menguji, dan mengkalibrasi alas mesin granit untuk produk peralatan pemrosesan wafer merupakan proses krusial yang membutuhkan kesabaran, perhatian terhadap detail, dan presisi. Dengan mengikuti langkah-langkah ini, Anda dapat memastikan bahwa mesin tersebut memenuhi spesifikasi produsen dan berfungsi dengan akurat, stabil, dan presisi.
Waktu posting: 28-Des-2023