IDalam industri manufaktur semikonduktor, akurasi peralatan inspeksi wafer sangat penting untuk memastikan kualitas sirkuit terpadu. Basis mesin granit presisi tinggi, seperti yang disediakan oleh ZHHIMG®, memainkan peran penting dalam meningkatkan kinerja peralatan tersebut. Berikut bagaimana mereka membuat perbedaan.
Stabilitas Dimensi yang Luar Biasa: Granit memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, sekitar (4–8)×10⁻⁶/℃, jauh lebih rendah daripada kebanyakan logam. Dalam lingkungan pabrik semikonduktor yang dikontrol ketat, di mana fluktuasi suhu sekecil apa pun dapat menyebabkan kesalahan pengukuran, alas mesin granit tetap stabil. Stabilitas ini memastikan keakuratan posisi komponen dalam peralatan inspeksi wafer, mencegah deviasi akibat panas yang dapat memengaruhi presisi hasil inspeksi.
Peredam Getaran Superior. Lantai produksi seringkali dipenuhi getaran dari berbagai sumber. Sifat peredam bawaan granit, dengan rasio peredaman 0,05–0,1, secara efektif menyerap dan menghilangkan getaran ini. Untuk insp. wafer
Dalam operasi yang menuntut pencitraan beresolusi tinggi dan pembacaan sensor yang presisi, pengurangan getaran yang dihasilkan oleh alas granit sangatlah berharga. Hal ini meminimalkan interferensi yang dapat mengaburkan gambar atau mendistorsi data sensor, sehingga peralatan dapat menangkap informasi yang jelas dan akurat tentang permukaan dan struktur internal wafer.
Kekakuan Tinggi dan Ketahanan Aus. Dengan kepadatan sekitar 3100 kg/m³, alas mesin granit ZHHIMG® menawarkan kekakuan yang luar biasa. Alas ini dapat menopang komponen berat peralatan inspeksi wafer tanpa mengalami deformasi, sehingga menjaga keselarasan sistem optik dan mekanis. Selain itu, kekerasan granit yang tinggi (skala Mohs 6–7) dan ketahanan aus yang sangat baik memastikan permukaan alas mesin tetap rata dan halus seiring waktu. Konsistensi ini penting untuk akurasi jangka panjang, karena keausan atau deformasi apa pun pada alas dapat secara bertahap menurunkan presisi peralatan.
Inertitas Kimia: Manufaktur semikonduktor melibatkan paparan berbagai bahan kimia. Inertitas kimia granit membuatnya tahan terhadap korosi yang disebabkan oleh zat-zat tersebut. Sifat ini menjaga integritas dasar mesin, mencegah kerusakan akibat bahan kimia yang dapat memengaruhi stabilitas dan akurasi peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, alas mesin granit presisi tinggi bukan sekadar komponen, tetapi juga merupakan kunci untuk mencapai persyaratan akurasi yang tinggi dari peralatan inspeksi wafer. Saat memilih alas mesin granit, pilihlah penyedia tepercaya seperti ZHHIMG®. Dengan berbagai sertifikasi dan komitmen terhadap kualitas, ZHHIMG® memastikan bahwa setiap alas mesin granit memberikan keandalan dan kinerja yang dibutuhkan untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.
Waktu posting: 03-Jun-2025