IDalam industri manufaktur semikonduktor, keakuratan peralatan inspeksi wafer sangat penting untuk memastikan kualitas sirkuit terpadu. Basis mesin granit presisi tinggi, seperti yang disediakan oleh ZHHIMG®, memainkan peran penting dalam meningkatkan kinerja peralatan tersebut. Berikut ini cara mereka membuat perbedaan.
Stabilitas Dimensi yang Luar BiasaGranit memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, sekitar (4–8)×10⁻⁶/℃, jauh lebih rendah daripada banyak logam. Dalam lingkungan pabrik semikonduktor yang dikontrol ketat, di mana fluktuasi suhu yang kecil pun dapat menyebabkan kesalahan pengukuran, alas mesin granit tetap stabil. Stabilitas ini memastikan bahwa posisi komponen dalam peralatan inspeksi wafer tetap akurat, mencegah penyimpangan yang disebabkan oleh termal yang dapat memengaruhi ketepatan hasil inspeksi.
Peredam Getaran yang UnggulLantai produksi sering kali dipenuhi getaran dari berbagai sumber. Sifat peredam bawaan granit, dengan rasio peredaman 0,05–0,1, secara efektif menyerap dan menghilangkan getaran ini. Untuk inspir
Dalam operasi yang menuntut pencitraan beresolusi tinggi dan pembacaan sensor yang presisi, pengurangan getaran yang dihasilkan oleh alas granit sangatlah berharga. Ini meminimalkan gangguan yang dapat mengaburkan gambar atau mendistorsi data sensor, sehingga peralatan dapat menangkap informasi yang jelas dan akurat tentang permukaan wafer dan struktur internalnya.
Kekakuan Tinggi dan Tahan AusDengan kepadatan sekitar 3100 kg/m³, alas mesin granit ZHHIMG® menawarkan kekakuan yang luar biasa. Alas ini dapat menopang komponen berat peralatan inspeksi wafer tanpa mengalami deformasi, sehingga menjaga keselarasan sistem optik dan mekanis. Selain itu, kekerasan granit yang tinggi (skala Mohs 6–7) dan ketahanan aus yang sangat baik memastikan bahwa permukaan alas mesin tetap rata dan halus seiring berjalannya waktu. Konsistensi ini penting untuk akurasi jangka panjang, karena keausan atau deformasi apa pun pada alas dapat secara bertahap menurunkan presisi peralatan.
Sifat Inert Kimia Pembuatan semikonduktor melibatkan paparan berbagai bahan kimia. Sifat inert kimia granit membuatnya tahan terhadap korosi dari zat-zat ini. Sifat ini menjaga integritas dasar mesin, mencegah kerusakan akibat bahan kimia yang dapat memengaruhi stabilitas dan keakuratan peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, alas mesin granit presisi tinggi bukan hanya sekadar komponen, tetapi juga pendorong utama untuk mencapai persyaratan akurasi yang tinggi dari peralatan inspeksi wafer. Saat memilih alas mesin granit, pilih penyedia tepercaya seperti ZHHIMG®. Dengan berbagai sertifikasi dan komitmen terhadap kualitas, ZHHIMG® memastikan bahwa setiap alas mesin granit memberikan keandalan dan kinerja yang dibutuhkan untuk manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.
Waktu posting: 03-Jun-2025