Di bidang manufaktur semikonduktor, presisi sub-mikron adalah kunci untuk memastikan kinerja chip, dan alas granit (ZHHIMG®), dengan sifat materialnya, pemrosesan yang presisi, dan desain inovatif, telah menjadi jaminan utama untuk mencapai presisi ini.
Dari perspektif sifat material, granit hitam yang dipilih oleh ZHHIMG® memiliki kepadatan sekitar 3100 kg/m³, dengan struktur internal yang padat. Kepadatan yang tinggi ini memberikannya stabilitas dan kekakuan yang luar biasa. Selama pengoperasian peralatan semikonduktor, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis di dalam peralatan akan menghasilkan getaran. Alas granit dapat secara efektif menyerap lebih dari 90% energi getaran, secara signifikan mengurangi dampak getaran pada akurasi peralatan. Sementara itu, koefisien ekspansi termalnya yang sangat rendah memungkinkannya untuk menjaga deformasinya dalam kisaran yang sangat kecil ketika suhu lingkungan berfluktuasi, memberikan fondasi pendukung yang stabil untuk peralatan semikonduktor dan mencegah perpindahan komponen peralatan akibat perubahan suhu, yang dapat memengaruhi akurasi.
Dari segi pemrosesan dan manufaktur, pabrik ZHHIMG® mengadopsi peralatan pemrosesan canggih internasional dan memiliki empat mesin gerinda super besar (masing-masing mesin berharga lebih dari 500.000 USD), yang dapat melakukan penggerindaan presisi tinggi pada granit. Melalui pemesinan CNC lima sumbu dan proses lainnya, kerataan alas mesin dapat mencapai tingkat nanometer, menyediakan permukaan referensi ultra-rata untuk pemasangan peralatan semikonduktor dan memastikan penempatan yang tepat dari setiap komponen peralatan. Selain itu, bengkel dengan suhu dan kelembaban konstan (meliputi area seluas 10.000 meter persegi) menyediakan lingkungan yang stabil untuk pemrosesan. Parit anti-getaran selebar 500 mm dan sedalam 2000 mm di sekitarnya, serta derek yang senyap, secara efektif mengisolasi gangguan getaran eksternal dan memastikan akurasi pemrosesan alas mesin.
Selain itu, ZHHIMG® juga memiliki kemampuan kustomisasi yang kuat. Untuk kebutuhan khusus peralatan semikonduktor, lubang instalasi dan baki kabel yang presisi dapat diprefabrikasi untuk mencapai kompatibilitas sempurna antara peralatan dan alasnya. Pada saat yang sama, dikombinasikan dengan peralatan metrologi dan pengujian kelas dunia seperti pengukur menit Mahr Jerman (dengan akurasi 0,5 µm) dan level elektronik WYLER Swiss, alas mesin diperiksa dan dikalibrasi secara ketat untuk memastikan bahwa setiap alas mesin dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor untuk akurasi tingkat sub-mikron.
Justru kombinasi dari keunggulan-keunggulan inilah yang menjadikan alas granit ZHHIMG® sebagai pilihan yang andal untuk mencapai presisi sub-mikron pada peralatan semikonduktor, membantu manufaktur semikonduktor bergerak menuju bidang presisi yang lebih tinggi.
Waktu posting: 18 Juni 2025