Dalam dunia manufaktur semikonduktor yang presisi, pengujian non-destruktif wafer merupakan kunci utama untuk memastikan kualitas chip. Basis granit yang tampaknya tidak signifikan sebenarnya adalah "pahlawan tanpa tanda jasa" yang menentukan akurasi deteksi. Bagaimana pengaruhnya terhadap hasil pengujian? Artikel ini akan melakukan analisis mendalam dari berbagai dimensi seperti sifat material dan desain struktural.
1. Fondasi Stabil: Keunggulan alami granit memberikan fondasi yang kokoh untuk presisi
1. Kinerja seismik yang sangat baik
Selama pengoperasian peralatan uji non-destruktif wafer, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis akan menghasilkan getaran. Jika getaran ini tidak diredam secara efektif, akan sangat mengganggu akurasi pengujian. Bagian dalam granit terjalin erat dengan kristal mineral seperti kuarsa dan feldspar. Strukturnya yang unik memberikan kemampuan penyerapan getaran alami, yang mampu menyerap lebih dari 90% energi getaran peralatan. Data pengukuran aktual dari produsen semikonduktor tertentu menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, amplitudo getaran peralatan deteksi telah berkurang dari 12μm menjadi 2μm, sehingga secara efektif menghindari deviasi sinyal deteksi akibat getaran.
2. Koefisien ekspansi termal sangat rendah
Selama proses deteksi, faktor-faktor seperti pemanasan peralatan dan perubahan suhu lingkungan akan memengaruhi stabilitas alas mesin. Material biasa memuai secara signifikan saat dipanaskan, tetapi koefisien muai termal granit hanya 1/5 dari baja. Bahkan jika suhu lingkungan berfluktuasi 10℃, deformasinya dapat diabaikan. Hal ini memungkinkan alas granit menyediakan platform referensi yang stabil bagi peralatan inspeksi, memastikan posisi relatif antara probe inspeksi dan wafer tetap akurat setiap saat dan menghindari kesalahan inspeksi akibat deformasi termal.
Kedua, desain yang tepat: Optimalisasi struktural semakin meningkatkan keandalan deteksi
Pemrosesan presisi tinggi dan jaminan kerataan
Basis granit berkualitas tinggi diproses menggunakan teknologi CNC linkage lima sumbu yang canggih, dengan kerataan ±0,5μm/m, memberikan referensi pemasangan yang sangat datar untuk peralatan inspeksi. Dalam inspeksi wafer, vertikalitas dan kerataan probe inspeksi sangat penting untuk hasil inspeksi. Basis granit presisi tinggi dapat memastikan posisi probe yang presisi, sehingga data inspeksi lebih akurat dan andal.
2. Adaptasi struktural yang disesuaikan
Alas mesin granit dapat disesuaikan untuk berbagai peralatan uji non-destruktif wafer dan persyaratan proses. Misalnya, untuk memenuhi persyaratan peralatan inspeksi optik untuk pantulan cahaya, permukaan alas mesin dapat diperlakukan secara khusus; untuk memenuhi persyaratan pemasangan peralatan uji ultrasonik, alas dapat dibuat terlebih dahulu dengan lubang pemasangan dan baki kabel yang presisi, memungkinkan pemasangan peralatan yang cepat dan akurat serta mengurangi deviasi deteksi yang disebabkan oleh kesalahan pemasangan.
III. Stabilitas jangka panjang: Mengurangi kehilangan presisi yang disebabkan oleh pemeliharaan peralatan
Granit memiliki kekerasan tinggi dan ketahanan aus yang kuat, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, yang tiga kali lipat ketahanan aus baja biasa. Selama operasi inspeksi jangka panjang, permukaan alas mesin tidak rentan terhadap keausan dan dapat selalu mempertahankan kondisi presisi yang baik. Sebaliknya, alas yang terbuat dari material lain dapat menyebabkan perubahan referensi pemasangan peralatan akibat keausan, sehingga memengaruhi akurasi deteksi dan memerlukan kalibrasi serta perawatan yang sering. Masa pakai yang panjang dan stabilitas alas granit yang tinggi secara efektif mengurangi frekuensi perawatan peralatan dan menurunkan risiko kehilangan presisi yang mungkin terjadi selama proses perawatan.
Dari ketahanan terhadap guncangan, ketahanan terhadap panas, hingga desain yang presisi, setiap fitur alas granit menjamin akurasi pengujian non-destruktif wafer. Di era manufaktur semikonduktor masa kini yang mengutamakan presisi tertinggi, memilih alas granit berkualitas tinggi ibarat menambahkan lapisan asuransi yang kokoh untuk akurasi dan keandalan hasil pengujian.
Waktu posting: 18-Jun-2025