Bahasa Indonesia:
Bahasa Indonesia:
Dalam dunia manufaktur semikonduktor, pengujian wafer non-destruktif merupakan mata rantai utama untuk memastikan kualitas chip. Basis granit yang tampaknya tidak penting sebenarnya adalah "pahlawan tanpa tanda jasa" yang menentukan akurasi deteksi. Bagaimana pengaruhnya terhadap hasil pengujian? Artikel ini akan melakukan analisis mendalam dari dimensi seperti sifat material dan desain struktural.
1. Fondasi yang Stabil: Keunggulan alami granit memberikan fondasi yang kokoh untuk presisi
1. Kinerja seismik yang sangat baik
Selama pengoperasian peralatan pengujian non-destruktif wafer, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis semuanya akan menghasilkan getaran. Jika getaran ini tidak ditekan secara efektif, getaran tersebut akan sangat mengganggu akurasi pengujian. Bagian dalam granit terjalin erat dengan kristal mineral seperti kuarsa dan feldspar. Strukturnya yang unik memberinya kapasitas penyerapan getaran alami, yang mampu menyerap lebih dari 90% energi getaran peralatan. Data pengukuran aktual dari produsen semikonduktor tertentu menunjukkan bahwa setelah menggunakan dasar granit, amplitudo getaran peralatan deteksi telah berkurang dari 12μm menjadi 2μm, yang secara efektif menghindari penyimpangan sinyal deteksi yang disebabkan oleh getaran.
2. Koefisien ekspansi termal sangat rendah
Selama proses deteksi, faktor-faktor seperti pemanasan peralatan dan perubahan suhu lingkungan akan memengaruhi stabilitas alas mesin. Material biasa memuai secara signifikan saat dipanaskan, tetapi koefisien ekspansi termal granit hanya 1/5 dari baja. Bahkan jika suhu sekitar berfluktuasi hingga 10℃, deformasinya dapat diabaikan. Hal ini memungkinkan alas granit menyediakan platform referensi yang stabil untuk peralatan inspeksi, memastikan bahwa posisi relatif antara probe inspeksi dan wafer tetap akurat setiap saat dan menghindari kesalahan inspeksi yang disebabkan oleh deformasi termal.
Kedua, desain yang tepat: Optimalisasi struktural semakin meningkatkan keandalan deteksi
Pemrosesan presisi tinggi dan jaminan kerataan
Basis granit berkualitas tinggi diproses oleh teknologi CNC penghubung lima sumbu yang canggih, dengan kerataan ±0,5μm/m, yang menyediakan referensi pemasangan yang sangat datar untuk peralatan inspeksi. Dalam inspeksi wafer, vertikalitas dan kerataan probe inspeksi sangat penting untuk hasil inspeksi. Basis granit presisi tinggi dapat memastikan posisi probe yang tepat, sehingga data inspeksi menjadi lebih akurat dan andal.
2. Adaptasi struktural yang disesuaikan
Basis mesin granit dapat disesuaikan untuk berbagai peralatan pengujian non-destruktif wafer dan persyaratan proses. Misalnya, untuk memenuhi persyaratan peralatan inspeksi optik untuk pantulan cahaya, permukaan basis mesin dapat diperlakukan secara khusus; Untuk memenuhi persyaratan pemasangan peralatan pengujian ultrasonik, basis dapat dibuat terlebih dahulu dengan lubang pemasangan dan baki kabel yang presisi, yang memungkinkan pemasangan peralatan yang cepat dan akurat serta mengurangi penyimpangan deteksi yang disebabkan oleh kesalahan pemasangan.
Iii. Stabilitas jangka panjang: Mengurangi kehilangan presisi yang disebabkan oleh pemeliharaan peralatan
Granit memiliki kekerasan tinggi dan ketahanan aus yang kuat, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, yang tiga kali lipat ketahanan aus baja biasa. Selama operasi pemeriksaan jangka panjang, permukaan alas mesin tidak mudah aus dan selalu dapat mempertahankan kondisi presisi yang baik. Sebaliknya, alas yang terbuat dari bahan lain dapat menyebabkan perubahan pada referensi pemasangan peralatan karena keausan, sehingga memengaruhi akurasi deteksi dan memerlukan kalibrasi serta perawatan yang sering. Masa pakai yang lama dan stabilitas alas granit yang tinggi secara efektif mengurangi frekuensi perawatan peralatan dan menurunkan risiko kehilangan presisi yang mungkin terjadi selama proses perawatan.
Dari ketahanan terhadap guncangan, ketahanan terhadap panas hingga desain yang presisi, setiap fitur dari alas granit menjaga keakuratan pengujian wafer yang tidak merusak. Di era manufaktur semikonduktor saat ini yang mengejar presisi tertinggi, memilih alas granit berkualitas tinggi seperti menambahkan lapisan asuransi yang kuat untuk keakuratan dan keandalan hasil pengujian.
Waktu posting: 18-Jun-2025