Di "pabrik super" manufaktur chip, setiap wafer seukuran kuku jari memiliki sirkuit presisi, dan kunci untuk menentukan apakah sirkuit ini dapat dibentuk secara presisi sebenarnya tersembunyi di dalam batu yang biasa saja—yaitu granit. Hari ini, mari kita bahas "senjata rahasia" granit—kapasitas redamannya—dan bagaimana ia menjadi "malaikat pelindung" peralatan pemindaian wafer.
Apa itu peredam? Bisakah batu juga "menyerap getaran"?
Peredam terdengar sangat profesional, tetapi sebenarnya prinsipnya sangat sederhana. Bayangkan Anda tiba-tiba berhenti saat berlari. Jika tidak ada bantalan, tubuh Anda akan terdorong ke depan karena inersia. Dan peredaman ibarat tangan tak terlihat, membantu Anda "mengerem" dengan cepat. Struktur internal granit terdiri dari kristal mineral yang terjalin seperti kuarsa dan feldspar, dan terdapat banyak celah kecil serta titik gesekan di antara kristal-kristal ini. Ketika getaran eksternal ditransmisikan ke granit, celah dan titik gesekan ini mulai "bekerja", mengubah energi getaran menjadi energi panas dan secara bertahap menghilangkannya, sehingga getaran berhenti dengan cepat. Ini seperti memasang "peredam kejut super" pada perangkat, sehingga tidak lagi "berjabat tangan".
Pemindaian wafer: Kesalahan kecil dapat menyebabkan kesalahan besar
Perangkat pemindai wafer seperti kamera presisi yang "memotret" wafer, mendeteksi dan menggambar pola sirkuit pada skala nano. Namun, selama pengoperasian peralatan, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis akan menghasilkan getaran frekuensi tinggi. Jika getaran ini tidak dikendalikan, lensa pemindai akan "kabur" seperti kamera yang tidak stabil, sehingga menghasilkan data deteksi yang tidak akurat dan bahkan merusak seluruh wafer.
Ketika sebuah alas logam biasa terkena getaran, seringkali ia "berbenturan keras", dengan getaran yang dipantulkan bolak-balik di dalam logam, sehingga getarannya semakin kuat. Granit, dengan kapasitas redamannya yang luar biasa, dapat menyerap lebih dari 80% energi getaran. Sebuah kasus nyata dari sebuah pabrik semikonduktor menunjukkan bahwa sebelum alas granit diganti, tepi gambar wafer yang diambil oleh peralatan pemindai menjadi buram, dengan deviasi setinggi ±3μm. Setelah beralih ke alas granit, kejernihan gambar meningkat secara signifikan, deviasi berkurang menjadi ±0,5μm, dan tingkat hasil melonjak dari 82% menjadi 96%!
Krisis Resonansi: Bagaimana Granit "Meredakan Bahaya"?
Selain getaran peralatan itu sendiri, getaran kecil dari lingkungan eksternal (seperti pengoperasian mesin di sebelah atau langkah kaki pekerja yang berjalan) juga dapat menyebabkan masalah besar. Ketika frekuensi getaran eksternal sesuai dengan frekuensi peralatan itu sendiri, resonansi akan terjadi, seperti mengocok jeli; semakin besar amplitudonya, semakin kuat goyangannya. Karakteristik peredam granit seperti memasang "penyumbat telinga kedap suara" pada peralatan, memperluas jangkauan frekuensi resonansi peralatan dan membuatnya lebih kecil kemungkinannya untuk sinkron dengan dunia luar. Data menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, risiko resonansi peralatan berkurang hingga 95%, dan stabilitasnya meningkat tiga kali lipat!
Pencerahan “redaman” dalam kehidupan
Faktanya, prinsip peredaman juga sangat umum dalam kehidupan sehari-hari. Peredam kejut mobil memungkinkan kita berkendara dengan mulus di jalan bergelombang, dan fungsi peredam bising pada headphone dapat memblokir kebisingan eksternal. Semua ini mencapai stabilitas dengan "menyerap energi". Granit telah memaksimalkan kemampuan ini dan telah menjadi material kunci yang sangat diperlukan dalam bidang manufaktur chip.
Lain kali Anda melihat granit, jangan anggap itu batu biasa! Dalam dunia manufaktur semikonduktor yang canggih, justru material yang tampak biasa inilah yang, dengan "kekuatan super"-nya yang unik, terus-menerus mendorong kemajuan teknologi.
Waktu posting: 17-Jun-2025