Di laboratorium presisi untuk pembuatan chip, ada "pahlawan di balik layar" yang tampaknya biasa-biasa saja - alas mesin granit. Jangan remehkan batu ini. Batu ini adalah kunci untuk memastikan keakuratan pengujian wafer yang tidak merusak! Hari ini, mari kita lihat bagaimana batu ini menjaga peralatan deteksi selalu "horizontal dan vertikal".
1. Terlahir dengan “gen stabil”
Granit bukanlah batu biasa. Struktur internalnya seperti "teka-teki mineral" yang saling bertautan erat. Kuarsa, feldspar, dan kristal lainnya tersusun rapat, dengan kepadatan yang sangat tinggi dan hampir tidak ada rongga. Ini seperti membangun rumah dengan beton bertulang, yang kokoh dan stabil. Ketika peralatan inspeksi "berada" di atasnya, meskipun beratnya beberapa ton, deformasi dasar granit dapat diabaikan, hanya sepersepuluh dari baja!
Yang lebih mengesankan adalah granit hampir tidak takut dengan perubahan suhu. Material logam biasa cenderung "memuai dan bertambah berat" saat dipanaskan dan "menyusut dan menjadi lebih tipis" saat didinginkan. Namun, granit tampaknya memiliki "keajaiban suhu konstan". Saat suhu berfluktuasi sebesar 1℃, pemuaian dan penyusutannya hanya seperseribu dari rambut manusia. Perlu dicatat bahwa meskipun ada sedikit perubahan pada suhu laboratorium pengujian, dasar granit dapat dengan kuat menopang peralatan dan mencegah kerataan dari "penyimpangan".
Kedua, teknik pemrosesan “detail jahat”
Untuk membuat dasar granit lebih akurat, para insinyur menggunakan "teknologi hitam" untuk pemrosesan. Bayangkan memoles batu dengan "amplas super" yang terbuat dari berlian - beginilah cara kerja mesin penggiling lima sumbu. Mesin ini akan menggiling permukaan granit menjadi lebih datar daripada cermin dalam tiga langkah:
Penggilingan kasar: Pertama, hilangkan cacat permukaan batu dan atur kerataannya hingga seperdua puluh rambut manusia.
Penggilingan semi-halus: Penyempurnaan lebih lanjut, dengan kerataan ditingkatkan hingga seperlima puluh rambut manusia.
Penggilingan halus: Terakhir, dipoles dengan bubuk penggilingan sangat halus, mencapai kerataan seperseribu rambut manusia! Pada titik ini, permukaan dasar granit seperti "panggung horizontal" yang dibuat khusus untuk peralatan inspeksi.
Beberapa dudukan kelas atas juga memiliki "otak pintar" - level presisi tinggi bawaan seperti "penjaga kecil" yang bertugas 24 jam sehari. Setelah mendeteksi bahwa peralatan dimiringkan 0,01 derajat (Sudut lebih kecil dari ujung pena), perangkat hidrolik akan segera aktif dan "meluruskan" peralatan dalam waktu 30 detik.
Ketiga, desain yang cerdik semakin meningkatkan stabilitas
Para teknisi juga memeras otak mereka untuk merancang struktur dasar mesin. Bagian bawahnya dibuat berbentuk sarang lebah heksagonal, seperti sarang lebah, yang tidak hanya mengurangi berat tetapi juga mendistribusikan tekanan secara merata. Saat probe deteksi bergerak pada wafer, deformasi di setiap titik dasar hampir sama persis, memastikan bahwa referensi horizontal tetap stabil sepanjang waktu.
Yang lebih menakjubkan lagi adalah bahwa "peredam kejut tak terlihat" - peredam kejut keramik piezoelektrik - dipasang di antara alas dan tanah. Peredam kejut ini dapat menangkap berbagai getaran mulai dari 1 hingga 1000 Hz seperti radar dan segera memancarkan gelombang balik untuk "menangkal" gangguan tersebut. Misalnya, getaran yang dihasilkan oleh pengoperasian mesin di sebelahnya atau guncangan kendaraan yang lewat di luar semuanya "tidak berguna" di depannya.
Data berbicara sendiri: Seberapa Kuat Efeknya?
Dalam aplikasi praktis, kinerja dasar granit benar-benar menakjubkan:
Inspeksi optik: Keakuratan identifikasi cacat permukaan pada wafer telah ditingkatkan dari 3 mikron menjadi 1 mikron (1 mikron = seperenam puluh rambut manusia).
Pengujian ultrasonik: Kesalahan dalam pengukuran ketebalan wafer telah berkurang tiga perempat.
Pemakaian jangka panjang: Setelah beroperasi terus-menerus selama setahun, perubahan kerataan hampir tidak terlihat, sedangkan alas mesin biasa sudah lama menjadi "membungkuk".
Dari keunggulan bahan alami hingga pemrosesan yang presisi dan desain yang inovatif, alas granit telah membuktikan dengan "kekuatannya" bahwa jika Anda ingin mendeteksi serpihan secara akurat, batu ini benar-benar tak tergantikan!
Waktu posting: 18-Jun-2025