Di laboratorium presisi untuk pembuatan chip, terdapat "pahlawan di balik layar" yang tampaknya biasa saja - alas mesin granit. Jangan remehkan batu ini. Batu ini adalah kunci untuk memastikan akurasi pengujian non-destruktif wafer! Hari ini, mari kita lihat bagaimana batu ini menjaga peralatan deteksi selalu "horizontal dan vertikal".
1. Terlahir dengan "gen stabil"
Granit bukanlah batu biasa. Struktur internalnya seperti "puzzle mineral" yang saling bertautan erat. Kuarsa, feldspar, dan kristal lainnya tersusun rapat, dengan kepadatan yang sangat tinggi dan hampir tanpa rongga. Ini seperti membangun rumah dengan beton bertulang, yang kokoh dan stabil. Ketika peralatan inspeksi "ditempatkan" di atasnya, meskipun beratnya beberapa ton, deformasi dasar granit dapat diabaikan, hanya sepersepuluh dari deformasi baja!
Yang lebih mengesankan adalah granit hampir tidak takut terhadap perubahan suhu. Material logam biasa cenderung "memuai dan bertambah berat" saat dipanaskan dan "menyusut dan menipis" saat didinginkan. Namun, granit tampaknya memiliki "keajaiban suhu konstan". Ketika suhu berfluktuasi 1℃, pemuaian dan penyusutannya hanya seperseribu dari rambut manusia. Perlu dicatat bahwa meskipun ada sedikit perubahan suhu di laboratorium pengujian, alas granit dapat menopang peralatan dengan kokoh dan mencegah "penyimpangan" pada permukaannya.
Kedua, teknik pemrosesan “detail jahat”
Agar dasar granit lebih presisi, para insinyur menggunakan "teknologi hitam" untuk pemrosesannya. Bayangkan memoles batu dengan "amplas super" yang terbuat dari berlian - beginilah cara kerja mesin gerinda lima sumbu. Mesin ini akan menggiling permukaan granit hingga lebih rata daripada cermin dalam tiga langkah:
Penggilingan kasar: Pertama, hilangkan cacat permukaan batu dan atur kerataannya hingga seperdua puluh rambut manusia.
Penggilingan semi-halus: Penghalusan lebih lanjut, dengan kerataan ditingkatkan hingga seperlima puluh rambut manusia.
Penggilingan halus: Terakhir, granit dipoles dengan bubuk penggiling ultra-halus, mencapai kerataan seperseribu rambut manusia! Pada tahap ini, permukaan dasar granit seperti "panggung horizontal" yang dirancang khusus untuk peralatan inspeksi.
Beberapa dudukan kelas atas juga memiliki "otak pintar" - level presisi tinggi bawaannya bagaikan "penjaga kecil" yang bertugas 24 jam sehari. Setelah mendeteksi kemiringan peralatan sebesar 0,01 derajat (sudut yang lebih kecil dari ujung pena), perangkat hidrolik akan segera aktif dan "meluruskan" peralatan dalam waktu 30 detik.
Ketiga, desain yang cerdik semakin meningkatkan stabilitas
Para insinyur juga merancang struktur dasar mesin. Bagian bawahnya dibuat berbentuk sarang lebah heksagonal, seperti sarang lebah, yang tidak hanya mengurangi berat tetapi juga mendistribusikan tekanan secara merata. Ketika probe deteksi bergerak di atas wafer, deformasi di setiap titik dasar hampir sama persis, memastikan referensi horizontal tetap stabil sepanjang waktu.
Yang lebih menakjubkan lagi adalah adanya "peredam kejut tak terlihat" - peredam kejut keramik piezoelektrik - yang dipasang di antara alas dan tanah. Peredam kejut ini dapat menangkap berbagai getaran mulai dari 1 hingga 1000 Hz seperti radar dan langsung memancarkan gelombang balik untuk "menangkal" gangguan tersebut. Misalnya, getaran yang dihasilkan oleh pengoperasian mesin di sebelahnya atau guncangan kendaraan yang lewat di luar, semuanya "tidak berguna" di depannya.
Data berbicara sendiri: Seberapa Kuatkah Efeknya?
Dalam aplikasi praktis, kinerja dasar granit benar-benar menakjubkan:
Pemeriksaan optik: Keakuratan identifikasi cacat permukaan pada wafer telah ditingkatkan dari 3 mikron menjadi 1 mikron (1 mikron = seperenam puluh rambut manusia).
Pengujian ultrasonik: Kesalahan dalam pengukuran ketebalan wafer telah berkurang tiga perempat.
Pemakaian jangka panjang: Setelah pengoperasian terus-menerus selama setahun, perubahan kerataan hampir tidak terlihat, sementara alas mesin biasa sudah lama menjadi "membungkuk".
Dari keunggulan bahan alami hingga pemrosesan yang presisi dan desain yang inovatif, alas granit telah membuktikan dengan "kekuatannya" bahwa jika Anda ingin mendeteksi keripik secara akurat, batu ini benar-benar sangat diperlukan!
Waktu posting: 18-Jun-2025