Di laboratorium presisi untuk pembuatan chip, terdapat "pahlawan di balik layar" yang tampaknya biasa saja - alas mesin dari granit. Jangan remehkan batu ini. Ini adalah kunci untuk memastikan keakuratan pengujian non-destruktif pada wafer! Hari ini, mari kita lihat bagaimana alas ini menjaga agar peralatan deteksi selalu "horizontal dan vertikal".
1. Terlahir dengan "gen yang stabil"
Granit bukanlah batu biasa. Struktur internalnya seperti "puzzle mineral" yang saling terkait erat. Kuarsa, feldspar, dan kristal lainnya tersusun rapat, dengan kepadatan yang sangat tinggi dan hampir tanpa rongga. Ini seperti membangun rumah dengan beton bertulang, yang kokoh dan stabil. Ketika peralatan inspeksi "diletakkan" di atasnya, meskipun beratnya beberapa ton, deformasi dasar granit sangat kecil, hanya sepersepuluh dari deformasi baja!
Yang lebih mengesankan lagi adalah bahwa granit hampir tidak takut terhadap perubahan suhu. Material logam biasa cenderung "memuai dan bertambah berat" ketika dipanaskan dan "menyusut dan menjadi lebih tipis" ketika didinginkan. Namun, granit tampaknya memiliki "keajaiban suhu konstan". Ketika suhu berfluktuasi sebesar 1℃, pemuaian dan penyusutannya hanya seperseribu dari sehelai rambut manusia. Perlu dicatat bahwa bahkan jika ada sedikit perubahan suhu di laboratorium pengujian, alas granit dapat dengan kokoh menopang peralatan dan mencegah kerataan "menyimpang".
Kedua, teknik pengolahan "detail-detail yang rumit"
Untuk membuat dasar granit lebih akurat, para insinyur menggunakan "teknologi hitam" untuk pemrosesannya. Bayangkan memoles batu dengan "amplas super" yang terbuat dari berlian - begitulah cara kerja mesin gerinda lima sumbu. Mesin ini akan menggerinda permukaan granit agar lebih rata daripada cermin dalam tiga langkah:
Penggilingan kasar: Pertama, hilangkan noda permukaan batu dan atur kerataannya hingga seperduapuluh ukuran rambut manusia.
Penggilingan semi-halus: Pemurnian lebih lanjut, dengan kerataan ditingkatkan hingga seperlima puluh dari sehelai rambut manusia.
Penggilingan halus: Terakhir, permukaannya dipoles dengan bubuk penggiling ultra-halus, mencapai kerataan hingga seperseribu helai rambut manusia! Pada tahap ini, permukaan dasar granit seperti "panggung horizontal" yang dibuat khusus untuk peralatan inspeksi.
Beberapa dudukan kelas atas juga memiliki "otak pintar" - level presisi tinggi bawaannya seperti "penjaga kecil" yang bertugas 24 jam sehari. Begitu mendeteksi bahwa peralatan miring sebesar 0,01 derajat (sudut yang lebih kecil dari ujung pena), perangkat hidrolik akan segera aktif dan "meluruskan" peralatan dalam waktu 30 detik.
Ketiga, desain yang cerdas semakin meningkatkan stabilitas.
Para insinyur juga memutar otak mereka untuk merancang struktur dasar mesin. Bagian bawahnya dibuat berbentuk sarang lebah heksagonal, persis seperti sarang lebah, yang tidak hanya mengurangi berat tetapi juga mendistribusikan tekanan secara merata. Ketika probe deteksi bergerak di atas wafer, deformasi di setiap titik dasar hampir sama persis, memastikan bahwa referensi horizontal tetap stabil sepanjang waktu.
Yang lebih menakjubkan lagi adalah adanya "peredam kejut tak terlihat" - peredam kejut keramik piezoelektrik - yang dipasang di antara alas dan tanah. Peredam ini dapat menangkap berbagai getaran mulai dari 1 hingga 1000 Hz seperti radar dan segera memancarkan gelombang balik untuk "menangkal" gangguan tersebut. Misalnya, getaran yang dihasilkan oleh pengoperasian mesin di sebelahnya atau guncangan kendaraan yang lewat di luar semuanya "tidak berguna" di depannya.
Data berbicara sendiri: Seberapa Kuatkah efeknya?
Dalam aplikasi praktis, kinerja alas granit sungguh menakjubkan:
Inspeksi optik: Akurasi identifikasi cacat permukaan pada wafer telah ditingkatkan dari 3 mikron menjadi 1 mikron (1 mikron = seperenam puluh dari sehelai rambut manusia).
Pengujian ultrasonik: Kesalahan dalam mengukur ketebalan wafer telah berkurang hingga tiga perempat.
Penggunaan jangka panjang: Setelah beroperasi terus menerus selama setahun, perubahan kerataan hampir tidak terlihat, sedangkan alas mesin biasa sudah lama menjadi "miring".
Mulai dari keunggulan material alami hingga pemrosesan yang presisi dan desain inovatif, dasar granit telah membuktikan "kekuatannya" bahwa jika Anda ingin mendeteksi retakan secara akurat, batu ini benar-benar tak tergantikan!
Waktu posting: 18 Juni 2025