Di bengkel manufaktur semikonduktor, persyaratan proses manufaktur chip untuk kondisi lingkungan dan akurasi peralatan sangat ketat, dan setiap penyimpangan kecil dapat menyebabkan penurunan hasil chip yang signifikan. Platform pergerakan gantry presisi XYZT mengandalkan komponen granit untuk berkolaborasi dengan bagian lain platform guna membangun fondasi yang kokoh untuk mencapai akurasi skala nano.
Properti pemblokiran getaran yang sangat baik
Di bengkel manufaktur semikonduktor, pengoperasian peralatan periferal dan personel yang berjalan di sekitarnya dapat menyebabkan getaran. Struktur internal komponen granit padat dan seragam, dengan karakteristik redaman alami yang tinggi, layaknya "penghalang" getaran yang efisien. Ketika getaran eksternal ditransmisikan ke platform XYZT, komponen granit dapat secara efektif meredam lebih dari 80% energi getaran dan mengurangi gangguan getaran pada akurasi gerakan platform. Platform ini juga dilengkapi dengan sistem pemandu pelampung udara presisi tinggi, yang bekerja sama dengan komponen granit. Pemandu pelampung udara menggunakan lapisan gas stabil yang dibentuk oleh gas bertekanan tinggi untuk mewujudkan gerakan suspensi nirsentuh dari bagian-bagian platform yang bergerak dan mengurangi getaran kecil yang disebabkan oleh gesekan mekanis. Bersama-sama, keduanya memastikan bahwa akurasi posisi platform selalu terjaga pada tingkat nanometer dalam proses-proses penting seperti litografi dan etsa chip, serta menghindari deviasi pola sirkuit chip yang disebabkan oleh getaran.
Stabilitas termal yang sangat baik
Fluktuasi suhu dan kelembapan di bengkel memiliki pengaruh besar terhadap keakuratan peralatan manufaktur chip. Koefisien ekspansi termal granit sangat rendah, umumnya dalam 5-7 × 10⁻⁶/℃, ukurannya hampir tidak berubah ketika suhu berubah. Bahkan jika perbedaan suhu antara siang dan malam di bengkel atau produksi panas peralatan menyebabkan suhu sekitar berfluktuasi, komponen granit dapat tetap stabil untuk mencegah deformasi platform karena ekspansi dan kontraksi termal. Pada saat yang sama, sistem kontrol suhu cerdas yang dilengkapi dengan platform memantau suhu sekitar secara real time, secara otomatis menyesuaikan peralatan pendingin udara dan pembuangan panas, dan mempertahankan suhu bengkel pada 20 ° C ± 1 ° C. Dikombinasikan dengan keunggulan stabilitas panas granit, memastikan bahwa platform dalam operasi jangka panjang, akurasi pergerakan setiap sumbu selalu memenuhi standar presisi nanometer manufaktur chip, untuk memastikan bahwa ukuran pola litografi chip akurat, kedalaman etsa seragam.
Memenuhi kebutuhan lingkungan yang bersih
Bengkel manufaktur semikonduktor perlu menjaga tingkat kebersihan yang tinggi untuk mencegah partikel debu mengontaminasi chip. Material granit sendiri tidak menghasilkan debu, dan permukaannya halus, sehingga tidak mudah menyerap debu. Platform secara keseluruhan mengadopsi desain struktur tertutup penuh atau semi-tertutup untuk mengurangi masuknya debu eksternal. Sistem sirkulasi udara internal terhubung dengan sistem pendingin udara bersih bengkel untuk memastikan kebersihan udara internal mencapai tingkat yang dibutuhkan oleh manufaktur chip. Dalam lingkungan yang bersih ini, komponen granit tidak akan memengaruhi kinerja akibat erosi debu, dan komponen utama seperti sensor dan motor presisi tinggi pada platform juga dapat beroperasi secara stabil, memberikan jaminan akurasi skala nano yang berkelanjutan dan andal untuk manufaktur chip, serta membantu industri semikonduktor untuk bergerak ke tingkat proses yang lebih tinggi.
Waktu posting: 14-Apr-2025