Dalam bidang pembuatan alur wafer semikonduktor, presisi adalah kuncinya. Basis granit yang biasa-biasa saja dapat menghasilkan lompatan kualitatif dalam kinerja peralatan pembuatan alur! "Kekuatan super" apa yang sebenarnya disembunyikannya? Mengapa dikatakan bahwa memilih basis granit yang tepat berarti Anda telah berhasil di tengah jalan? Hari ini, kami akan mengajak Anda untuk mengungkapnya secara mendalam!
I. Kekuatan Inheren: Tiga "Keunggulan Inheren" Granit
Tahan terhadap gempa sama stabilnya dengan Gunung Tai
Granit memiliki kepadatan setinggi 2.800-3.100 kg/m³, dan strukturnya sepadat "benteng batu". Dalam lingkungan getaran frekuensi tinggi dari alur wafer (peralatan membuat alur lebih dari 100 kali per menit), ia dapat menyerap lebih dari 90% energi getaran, seperti melengkapi peralatan dengan "teknologi hitam penyerap goncangan"! Data terukur dari pabrik chip tertentu menunjukkan bahwa setelah menggunakan dasar granit, amplitudo jitter kepala pemotong alur telah menurun dari 15μm menjadi 3μm, dan tepi alur mikro yang diukir sehalus cermin.
2. "Konstitusi tahan panas" Tidak takut dengan perbedaan suhu
Bahan-bahan biasa "memuai dan berubah bentuk" saat dipanaskan dan "mengecil dan berubah bentuk" saat didinginkan, tetapi koefisien ekspansi termal granit serendah 4-8×10⁻⁶/℃, yang hanya 1/5 dari logam! Bahkan jika suhu di bengkel berfluktuasi tajam sebesar 10℃ dalam waktu 24 jam, deformasinya kurang dari 0,01 mm dan hampir dapat diabaikan. Ini berarti bahwa terlepas dari pergantian siang dan malam atau pengoperasian yang berkepanjangan dan pembangkitan panas peralatan, dasar granit dapat menjaga posisi slot "tidak bergerak" sepanjang waktu.
3. Ketahanan aus yang tidak dapat dihancurkan
Kekerasan Mohs granit mencapai 6 hingga 7, sebanding dengan batu kuarsa, dan ketahanan ausnya tiga kali lipat dari baja biasa! Di bawah gesekan frekuensi tinggi jangka panjang dari alur wafer, permukaan alasnya hampir tidak aus. Setelah pengecoran tertentu menggunakan alas granit selama lima tahun, kerataannya masih dipertahankan dalam ±0,5μm/m setelah diperiksa, dan akurasi alurnya tetap konsisten, sehingga menghemat biaya kalibrasi dan penggantian peralatan dalam jumlah yang signifikan.
Ii. Adaptasi yang Tepat: Bagaimana Granit Memenuhi Persyaratan Alur yang Berbeda?
Adegan 1: Alur yang sangat halus (alur mikro di bawah 10μm)
Persyaratan: Kerataan maksimal
Keunggulan granit: Melalui pemrosesan presisi tinggi dengan hubungan lima sumbu, kerataan dapat dikontrol dalam ±0,5μm/m, yang berarti bahwa pada panjang 1 meter, kesalahan ketinggian 200 kali lebih tipis dari rambut manusia! Pastikan jarak antara kepala pemotong alur dan wafer selalu tepat, dan kesalahan lebar alur mikro yang diukir tidak melebihi ±0,1μm.
Adegan 2: Alur produksi massal berkecepatan tinggi
Persyaratan: Kinerja penyerapan guncangan super
Keunggulan granit: Sifat peredam alami di dalamnya dapat dengan cepat meredam getaran peralatan. Setelah pabrik panel tertentu memperkenalkan alas granit, kecepatan pembuatan alur meningkat hingga 40%, dan tingkat hasil melonjak dari 85% menjadi 96%, menghasilkan panen ganda dalam hal efisiensi dan kualitas produksi!
Adegan 3: Alur Lingkungan Kompleks (Suhu tinggi/korosi)
Persyaratan: Tahan suhu tinggi dan tahan korosi
Keunggulan granit: Stabilitas kimia yang sangat kuat, tahan terhadap korosi asam dan alkali; Memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah dan tidak akan berubah bentuk bahkan pada suhu tinggi setempat (150℃) selama pembuatan alur laser. Basis granit yang digunakan di laboratorium tertentu dengan larutan pembuatan alur korosif telah digunakan terus-menerus selama tiga tahun, dan permukaan basis tersebut tetap utuh.
III. Bagaimana Cara Memilih Basis Granit "Asli Berkualitas Tinggi"?
Perhatikan kepadatannya: Granit dengan kepadatan ≥2800kg/m³ memiliki struktur yang lebih padat.
Periksa sertifikasi: Pastikan untuk mengenali sertifikasi resmi seperti ISO 9001 dan CNAS untuk memastikan kualitas.
Data verifikasi: Produsen diharuskan memberikan laporan pengujian tentang koefisien ekspansi termal (< 8×10⁻⁶/℃) dan kerataan (±0,5μm/m).
Uji di tempat: Ketuk alasnya. Suara yang jelas menunjukkan tidak ada retakan di dalamnya. Jika permukaan sentuh sehalus cermin, ini menunjukkan akurasi pemrosesan yang tinggi.
Kesimpulan: Pilih granit yang tepat dan menangkan setengah pertempuran dalam pembuatan alur!
Dari ketahanan terhadap guncangan, ketahanan terhadap panas hingga ketahanan terhadap keausan, alas granit, dengan "keindahan alami" dan "kekuatannya yang luar biasa", telah menjadi mitra emas untuk peralatan pembuatan alur wafer. Di era manufaktur semikonduktor saat ini yang mengejar presisi skala nano, alas granit berkualitas tinggi tidak hanya merupakan investasi dalam peralatan tetapi juga jaminan jangka panjang untuk efisiensi produksi dan kualitas produk!
Waktu posting: 17-Jun-2025