Dalam bidang pembuatan alur wafer semikonduktor, presisi adalah kuncinya. Alas granit yang biasa-biasa saja dapat menghasilkan peningkatan kualitatif dalam kinerja peralatan pembuatan alur! "Kekuatan super" apa yang sebenarnya disembunyikannya? Mengapa dikatakan bahwa memilih alas granit yang tepat berarti Anda telah berhasil di tengah jalan? Hari ini, kami akan mengajak Anda untuk mengungkapnya lebih dalam!
I. Kekuatan Inheren: Tiga "Keunggulan Inheren" Granit
Tahanan seismiknya sama stabilnya dengan Gunung Tai
Granit memiliki kepadatan hingga 2.800-3.100 kg/m³, dan strukturnya sepadat "benteng batu". Dalam lingkungan getaran frekuensi tinggi dari wafer grooving (peralatan melakukan groove lebih dari 100 kali per menit), granit dapat menyerap lebih dari 90% energi getaran, sama seperti peralatan yang dilengkapi dengan "teknologi hitam penyerap goncangan"! Data pengukuran dari sebuah pabrik chip menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, amplitudo getaran kepala pemotong grooving telah berkurang dari 15μm menjadi 3μm, dan tepi microgrooving yang diukir sehalus cermin.
2. "Konstitusi tahan panas" Tidak takut dengan perbedaan suhu
Material biasa "memuai dan berubah bentuk" saat dipanaskan dan "menyusut dan berubah bentuk" saat didinginkan, tetapi koefisien muai termal granit hanya 4-8×10⁻⁶/℃, yang hanya 1/5 dari logam! Bahkan jika suhu di bengkel berfluktuasi tajam sebesar 10℃ dalam 24 jam, deformasinya kurang dari 0,01 mm dan hampir dapat diabaikan. Ini berarti, terlepas dari pergantian siang dan malam atau pengoperasian dan panas yang dihasilkan peralatan dalam waktu lama, alas granit dapat menjaga posisi slot tetap "tidak bergerak" sepanjang waktu.
3. Ketahanan aus yang tidak dapat dihancurkan
Kekerasan Mohs granit mencapai 6 hingga 7, sebanding dengan batu kuarsa, dan ketahanan ausnya tiga kali lipat baja biasa! Di bawah gesekan frekuensi tinggi jangka panjang dari alur wafer, permukaan alasnya hampir tidak aus. Setelah pengecoran tertentu menggunakan alas granit selama lima tahun, kerataannya masih dipertahankan dalam kisaran ±0,5μm/m setelah inspeksi, dan akurasi alurnya tetap konsisten, sehingga menghemat biaya kalibrasi dan penggantian peralatan secara signifikan.
Ii. Adaptasi yang Tepat: Bagaimana Granit Memenuhi Persyaratan Alur yang Berbeda?
Adegan 1: Alur ultra-halus (alur mikro di bawah 10μm)
Persyaratan: Kerataan maksimal
Keunggulan granit: Melalui pemrosesan presisi tinggi dengan lima sumbu penghubung, kerataan dapat dikontrol hingga ±0,5μm/m, yang berarti bahwa pada panjang 1 meter, kesalahan ketinggiannya 200 kali lebih tipis daripada rambut manusia! Pastikan jarak antara kepala pemotong alur dan wafer selalu presisi, dan kesalahan lebar alur mikro yang diukir tidak melebihi ±0,1μm.
Adegan 2: Alur produksi massal berkecepatan tinggi
Persyaratan: Kinerja penyerapan guncangan super
Keunggulan granit: Sifat peredam alami di dalamnya dapat dengan cepat meredam getaran peralatan. Setelah sebuah pabrik panel memperkenalkan alas granit, kecepatan pembuatan alur meningkat 40%, dan tingkat hasil produksi melonjak dari 85% menjadi 96%, menghasilkan peningkatan efisiensi dan kualitas produksi dua kali lipat!
Adegan 3: Alur Lingkungan Kompleks (Suhu tinggi/korosi)
Persyaratan: Tahan suhu tinggi dan tahan korosi
Keunggulan granit: Stabilitas kimia yang sangat kuat, tahan terhadap korosi asam dan alkali; Koefisien ekspansi termalnya rendah dan tidak akan berubah bentuk bahkan pada suhu tinggi setempat (150℃) selama proses laser grooving. Sebuah alas granit yang digunakan di laboratorium tertentu dengan larutan grooving korosif telah digunakan terus menerus selama tiga tahun, dan permukaan alasnya tetap utuh.
III. Bagaimana Cara Memilih Basis Granit "Asli Berkualitas Tinggi"?
Perhatikan kepadatannya: Granit dengan kepadatan ≥2800kg/m³ memiliki struktur yang lebih padat.
Periksa sertifikasi: Pastikan untuk mengenali sertifikasi resmi seperti ISO 9001 dan CNAS untuk memastikan kualitas.
Data verifikasi: Produsen diharuskan memberikan laporan uji pada koefisien ekspansi termal (< 8×10⁻⁶/℃) dan kerataan (±0,5μm/m).
Uji di tempat: Ketuk alasnya. Suara yang jernih menandakan tidak ada retakan di dalamnya. Jika permukaan sentuh sehalus cermin, ini menandakan akurasi pemrosesan yang tinggi.
Kesimpulan: Pilih granit yang tepat dan menangkan setengah pertempuran dalam pembuatan alur!
Dari ketahanan terhadap guncangan, panas, hingga aus, alas granit, dengan "keindahan alami" dan "kekuatannya yang luar biasa", telah menjadi mitra emas bagi peralatan pembuatan alur wafer. Di era manufaktur semikonduktor masa kini yang mengutamakan presisi skala nano, alas granit berkualitas tinggi bukan hanya investasi peralatan, tetapi juga jaminan jangka panjang untuk efisiensi produksi dan kualitas produk!
Waktu posting: 17-Jun-2025