Di bidang manufaktur canggih dan penelitian ilmiah mutakhir, modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara telah menjadi peralatan utama untuk pengoperasian dan pengukuran yang baik dengan kinerja presisi yang sangat baik. Basis presisi granit, sebagai inti pendukung, memiliki persyaratan ketat untuk lingkungan kerja, dan kondisi lingkungan yang sesuai adalah dasar untuk memastikan kinerja yang stabil dan efek terbaik.
Pertama, kontrol suhu: "stabilizer" presisi
Meskipun granit dikenal karena stabilitasnya, granit tidak sepenuhnya kebal terhadap perubahan suhu. Meskipun koefisien ekspansi termalnya rendah, umumnya 5-7 ×10⁻⁶/℃, dalam skenario kontrol gerakan ultra-presisi, fluktuasi suhu yang halus masih dapat menyebabkan perubahan dimensi dan memengaruhi akurasi modul. Di bengkel pembuatan chip semikonduktor, proses litografi memerlukan akurasi posisi tingkat danami, dan suhu sekitar berfluktuasi sebesar 1 ° C, dan dasar granit dengan panjang sisi 1 meter dapat menghasilkan ekspansi atau kontraksi linier sebesar 5-7 mikron. Perubahan kecil ini ditransmisikan oleh modul gerakan ultra-presisi dari pelampung udara, yang cukup untuk membuat penyimpangan pola litografi chip dan sangat mengurangi hasil. Oleh karena itu, dilengkapi dengan basis presisi granit dari modul gerakan ultra-presisi mengambang udara, suhu lingkungan kerja yang ideal harus dikontrol pada 20 ° C ± 1 ° C, dengan bantuan peralatan suhu konstan presisi tinggi, seperti sistem pendingin udara suhu dan kelembaban konstan, pemantauan terus-menerus dan penyesuaian suhu sekitar, untuk memastikan bahwa fluktuasi suhu dalam rentang yang sangat kecil, menjaga stabilitas ukuran dasar, untuk memastikan bahwa modul beroperasi dengan presisi tinggi.
Kedua, manajemen kelembaban: kunci perlindungan anti lembab "batu"
Kelembaban merupakan faktor penting lain yang memengaruhi kinerja alas granit presisi. Dalam lingkungan dengan kelembaban tinggi, granit mudah menyerap uap air, yang dapat menyebabkan kondensasi pada permukaan, yang tidak hanya memengaruhi stabilitas sambungan granit dan modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara, tetapi juga dapat menyebabkan erosi permukaan dan mengurangi kilap serta akurasi dalam jangka panjang. Di bengkel penggilingan lensa optik, jika kelembaban lebih tinggi dari 60%RH untuk waktu yang lama, uap air yang terserap pada permukaan alas granit akan mengganggu pergerakan slider pelampung gas, sehingga akurasi penggilingan lensa berkurang, dan permukaannya cacat. Oleh karena itu, kelembaban relatif lingkungan kerja harus dikontrol secara ketat antara 40%-60%RH, yang dapat dipantau dan disesuaikan secara real time dengan memasang dehumidifier, sensor kelembaban, dan peralatan lainnya untuk menghindari kerusakan pada alas granit karena kelembaban tinggi, dan memastikan kelancaran pengoperasian modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara.
Ketiga, jaminan kebersihan: “penjaga” presisi
Kerusakan partikel debu pada alas granit presisi dari modul gerak ultra-presisi flotasi udara tidak dapat diremehkan. Setelah partikel kecil memasuki celah lapisan gas antara penggeser pelampung gas dan alas granit, partikel tersebut dapat merusak keseragaman lapisan gas, meningkatkan gesekan, dan bahkan menggores permukaan alas, sehingga mengakibatkan berkurangnya akurasi gerakan. Di bengkel pemesinan ultra-presisi komponen kedirgantaraan, jika partikel debu di udara jatuh pada alas granit, lintasan gerak alat pemesinan dapat menyimpang, yang memengaruhi akurasi pemesinan komponen. Oleh karena itu, area kerja harus dijaga kebersihannya dengan sangat baik, mencapai standar kebersihan 10.000 atau bahkan lebih tinggi, melalui pemasangan peralatan pemurnian udara, seperti filter udara efisiensi tinggi (HEPA), menyaring partikel debu di udara, pada saat yang sama, staf perlu mengenakan pakaian bebas debu, penutup sepatu, dll., untuk mengurangi debu yang dibawa oleh manusia. Pertahankan lingkungan operasi presisi tinggi dari alas granit dan modul gerak ultra-presisi pelampung udara.
Empat, isolasi getaran: pengoperasian "bantalan kejut" yang lancar
Getaran eksternal merupakan musuh dari presisi modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara. Meskipun alas granit presisi memiliki kemampuan redaman getaran tertentu, getaran berkekuatan tinggi masih dapat menembus batas penyangganya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar pabrik dan pengoperasian peralatan mekanis besar ditransmisikan ke alas granit melalui tanah, yang akan mengganggu akurasi gerakan modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara. Pada CMM kelas atas, getaran dapat menyebabkan kontak antara probe pengukur dan benda kerja yang akan diukur menjadi tidak stabil, sehingga mengakibatkan penyimpangan data pengukuran. Untuk mengatasi masalah ini, perlu dilakukan tindakan isolasi getaran yang efektif, seperti memasang bantalan isolasi getaran di area pemasangan peralatan, membangun fondasi isolasi getaran, atau menggunakan sistem isolasi getaran aktif untuk secara aktif mengimbangi getaran eksternal, dan menciptakan lingkungan kerja yang tenang dan stabil untuk alas presisi granit dan modul gerak ultra-presisi pelampung udara.
Hanya dengan sepenuhnya memenuhi persyaratan lingkungan dari segi temperatur, kelembaban, kebersihan, dan pengendalian getaran, dasar presisi granit dari modul gerak ultra-presisi pelampung udara dapat memberikan manfaat penuh bagi keunggulan kinerjanya, memberikan jaminan yang andal untuk operasi ultra-presisi di berbagai bidang, dan membantu industri bergerak menuju tingkat manufaktur presisi yang lebih tinggi dan tingkat penelitian ilmiah.
Waktu posting: 08-Apr-2025