Di bidang manufaktur kelas atas dan penelitian ilmiah mutakhir, modul gerak ultra-presisi pelampung udara telah menjadi peralatan kunci untuk operasi dan pengukuran halus dengan kinerja presisi yang sangat baik. Basis presisi granit, sebagai inti pendukung, memiliki persyaratan ketat untuk lingkungan kerja, dan kondisi lingkungan yang sesuai adalah dasar untuk memastikan kinerja yang stabil dan efek terbaiknya.
Pertama, kontrol suhu: "penstabil" presisi
Meskipun granit dikenal karena stabilitasnya, ia tidak sepenuhnya kebal terhadap perubahan suhu. Meskipun koefisien ekspansi termalnya rendah, umumnya 5-7 ×10⁻⁶/℃, dalam skenario kontrol gerak ultra-presisi, fluktuasi suhu yang halus masih dapat menyebabkan perubahan dimensi dan memengaruhi akurasi modul. Di bengkel manufaktur chip semikonduktor, proses litografi membutuhkan akurasi posisi tingkat tinggi, dan suhu lingkungan berfluktuasi sebesar 1 °C, dan alas granit dengan panjang sisi 1 meter dapat menghasilkan ekspansi atau kontraksi linier sebesar 5-7 mikron. Perubahan kecil ini ditransmisikan oleh modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara, yang cukup untuk menyebabkan penyimpangan pola litografi chip dan sangat mengurangi hasil produksi. Oleh karena itu, dilengkapi dengan alas presisi granit dari modul gerak ultra-presisi mengambang di udara, suhu lingkungan kerja ideal harus dikontrol pada 20 °C ±1 °C, dengan bantuan peralatan suhu konstan presisi tinggi, seperti sistem pendingin udara suhu dan kelembaban konstan, pemantauan dan penyesuaian suhu lingkungan secara terus menerus, untuk memastikan bahwa fluktuasi suhu berada dalam kisaran yang sangat kecil, menjaga stabilitas ukuran alas, untuk memastikan pengoperasian modul yang sangat presisi.
Kedua, manajemen kelembapan: kunci perlindungan anti lembap untuk "batu"
Kelembapan merupakan faktor penting lain yang memengaruhi kinerja alas granit presisi. Dalam lingkungan dengan kelembapan tinggi, granit mudah menyerap uap air, yang dapat menyebabkan kondensasi pada permukaan. Hal ini tidak hanya memengaruhi stabilitas sambungan antara granit dan modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara, tetapi juga dapat menyebabkan erosi permukaan dan mengurangi kilap serta akurasi dalam jangka panjang. Di bengkel pengasahan lensa optik, jika kelembapan lebih tinggi dari 60% RH dalam waktu lama, uap air yang terserap pada permukaan alas granit akan mengganggu pergerakan slider pelampung gas, sehingga akurasi pengasahan lensa berkurang dan permukaan menjadi cacat. Oleh karena itu, kelembapan relatif lingkungan kerja harus dikontrol secara ketat antara 40%-60% RH, yang dapat dipantau dan disesuaikan secara real-time dengan memasang dehumidifier, sensor kelembapan, dan peralatan lainnya untuk menghindari kerusakan pada alas granit akibat kelembapan tinggi, dan memastikan kelancaran operasi modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara.
Ketiga, jaminan kebersihan: "penjaga" ketelitian.
Bahaya partikel debu terhadap alas granit presisi dari modul gerak ultra-presisi pengapungan udara tidak dapat diremehkan. Begitu partikel-partikel kecil memasuki celah lapisan gas antara slider pengapung gas dan alas granit, partikel tersebut dapat merusak keseragaman lapisan gas, meningkatkan gesekan, dan bahkan menggores permukaan alas, sehingga mengurangi akurasi gerakan. Di bengkel permesinan ultra-presisi komponen kedirgantaraan, jika partikel debu di udara jatuh pada alas granit, lintasan gerak alat permesinan dapat menyimpang, memengaruhi akurasi permesinan komponen. Oleh karena itu, area kerja harus dijaga kebersihannya dengan sangat baik, mencapai standar kebersihan 10.000 atau bahkan lebih tinggi, melalui pemasangan peralatan pemurnian udara, seperti filter udara efisiensi tinggi (HEPA), untuk menyaring partikel debu di udara. Pada saat yang sama, staf perlu mengenakan pakaian bebas debu, penutup sepatu, dll., untuk mengurangi debu yang dibawa oleh manusia. Pertahankan lingkungan operasi presisi tinggi dari alas granit dan modul gerak ultra-presisi pengapungan udara.
Keempat, isolasi getaran: pengoperasian "bantalan peredam kejut" yang lancar.
Getaran eksternal merupakan musuh presisi modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara. Meskipun alas granit presisi memiliki kemampuan peredaman getaran tertentu, getaran berkekuatan tinggi masih dapat melampaui batas penyangganya. Getaran yang dihasilkan oleh lalu lintas di sekitar pabrik dan pengoperasian peralatan mekanik besar ditransmisikan ke alas granit melalui tanah, yang akan mengganggu akurasi gerak modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara. Pada CMM kelas atas, getaran dapat menyebabkan kontak antara probe pengukuran dan benda kerja yang akan diukur menjadi tidak stabil, sehingga mengakibatkan penyimpangan data pengukuran. Untuk mengatasi masalah ini, perlu dilakukan tindakan isolasi getaran yang efektif, seperti meletakkan bantalan isolasi getaran di area pemasangan peralatan, membangun fondasi isolasi getaran, atau menggunakan sistem isolasi getaran aktif untuk secara aktif mengimbangi getaran eksternal, dan menciptakan lingkungan kerja yang tenang dan stabil untuk alas granit presisi dan modul gerak ultra-presisi pelampung udara.
Hanya dengan memenuhi sepenuhnya persyaratan lingkungan terkait suhu, kelembaban, kebersihan, dan pengendalian getaran, alas presisi granit dari modul gerak ultra-presisi pelampung udara dapat memaksimalkan keunggulan kinerjanya, memberikan jaminan yang andal untuk operasi ultra-presisi di berbagai bidang, dan membantu industri untuk bergerak menuju tingkat manufaktur dan penelitian ilmiah yang lebih presisi.
Waktu posting: 08-Apr-2025