Di bidang manufaktur presisi dan penelitian ilmiah, kerataan platform presisi granit merupakan indikator utama untuk memastikan keakuratan peralatan. Berikut ini adalah pengantar terperinci tentang beberapa metode deteksi utama dan prosedur pengoperasiannya untuk Anda.
I. Metode Deteksi Interferometer Laser
Interferometer laser merupakan alat yang lebih disukai untuk deteksi kerataan presisi tinggi. Ambil contoh interferometer laser ZYGO GPI XP, resolusinya dapat mencapai 0,1 nm. Saat melakukan deteksi, pertama-tama sejajarkan sumber cahaya interferometer dengan platform dan bagi permukaan platform menjadi area kisi berukuran 50mm×50mm. Selanjutnya, data pinggiran interferensi dikumpulkan poin demi poin, dan data tersebut disesuaikan dan dianalisis menggunakan polinomial Zernike untuk memperoleh kesalahan kerataan. Metode ini berlaku untuk platform presisi tinggi dan dapat mendeteksi kesalahan kerataan ≤0,5μm/m². Metode ini umumnya digunakan dalam deteksi mesin fotolitografi dan platform mesin pengukur tiga koordinat kelas atas.
II. Metode Susunan Level Elektronik
Deteksi susunan level elektronik mudah dioperasikan dan sangat efisien. Level elektronik TESA A2 (dengan resolusi 0,01μm/m) dipilih dan disusun dalam susunan 9×9 di sepanjang arah sumbu X/Y platform. Dengan mengumpulkan data kemiringan setiap level secara bersamaan dan kemudian menggunakan metode kuadrat terkecil untuk perhitungan, nilai kerataan dapat diperoleh secara akurat. Metode ini dapat secara efektif mengidentifikasi kondisi cekung dan cembung lokal platform. Misalnya, fluktuasi 0,2μm dalam rentang 50mm juga dapat dideteksi, yang cocok untuk deteksi cepat dalam produksi massal.
III. Metode Kristal Datar Optik
Metode kristal datar optik cocok untuk mendeteksi platform area kecil. Tempelkan kristal datar optik dengan erat ke permukaan yang akan diuji pada platform dan amati pinggiran interferensi yang terbentuk di antara keduanya di bawah pencahayaan sumber cahaya monokromatik (seperti lampu natrium). Jika garis-garisnya berupa garis lurus paralel, ini menunjukkan kerataan yang baik. Jika garis lengkung muncul, hitung kesalahan kerataan berdasarkan tingkat kelengkungan garis. Setiap garis lengkung mewakili perbedaan ketinggian 0,316μm, dan data kerataan dapat diperoleh melalui konversi sederhana.
Empat. Metode Inspeksi Mesin Pengukur Tiga Koordinat
Mesin pengukur tiga koordinat dapat mencapai pengukuran presisi tinggi dalam ruang tiga dimensi. Letakkan platform granit di meja kerja mesin pengukur dan gunakan probe untuk mengumpulkan data secara seragam dari beberapa titik pengukuran di permukaan platform. Sistem mesin pengukur memproses dan menganalisis data ini untuk menghasilkan laporan kerataan platform. Metode ini tidak hanya dapat mendeteksi kerataan, tetapi juga memperoleh parameter geometris platform lainnya secara bersamaan, dan cocok untuk deteksi komprehensif platform granit besar.
Menguasai metode deteksi ini dapat membantu Anda menilai kerataan platform presisi granit secara akurat dan memberikan jaminan yang dapat diandalkan untuk pengoperasian peralatan presisi yang stabil.
Waktu posting: 29-Mei-2025