Dalam bidang manufaktur presisi dan penelitian ilmiah, kerataan platform presisi granit merupakan indikator kunci untuk memastikan akurasi peralatan. Berikut ini adalah pengantar mendetail tentang beberapa metode deteksi umum dan prosedur pengoperasiannya untuk Anda.
I. Metode Deteksi Interferometer Laser
Interferometer laser merupakan alat yang direkomendasikan untuk deteksi kerataan presisi tinggi. Sebagai contoh, interferometer laser ZYGO GPI XP memiliki resolusi hingga 0,1 nm. Saat melakukan deteksi, pertama-tama sejajarkan sumber cahaya interferometer dengan platform dan bagi permukaan platform menjadi area grid berukuran 50 mm x 50 mm. Selanjutnya, data frinji interferensi dikumpulkan poin demi poin, dan data tersebut dicocokkan serta dianalisis menggunakan polinomial Zernike untuk mendapatkan kesalahan kerataan. Metode ini dapat diterapkan pada platform presisi tinggi dan dapat mendeteksi kesalahan kerataan ≤0,5 μm/m². Metode ini umum digunakan dalam deteksi mesin fotolitografi dan platform mesin pengukur tiga koordinat kelas atas.
II. Metode Array Level Elektronik
Deteksi susunan level elektronik mudah dioperasikan dan sangat efisien. Level elektronik TESA A2 (dengan resolusi 0,01 μm/m) dipilih dan disusun dalam susunan 9x9 sepanjang arah sumbu X/Y platform. Dengan mengumpulkan data kemiringan setiap level secara sinkron dan kemudian menggunakan metode kuadrat terkecil untuk perhitungan, nilai kerataan dapat diperoleh secara akurat. Metode ini dapat secara efektif mengidentifikasi kondisi konkavitas dan konveksitas lokal platform. Misalnya, fluktuasi 0,2 μm dalam rentang 50 mm juga dapat dideteksi, yang cocok untuk deteksi cepat dalam produksi massal.
III. Metode Kristal Datar Optik
Metode kristal datar optik cocok untuk mendeteksi platform area kecil. Tempelkan kristal datar optik dengan erat ke permukaan yang akan diuji pada platform dan amati pinggiran interferensi yang terbentuk di antara keduanya di bawah pencahayaan sumber cahaya monokromatik (seperti lampu natrium). Jika garis-garisnya berupa garis lurus sejajar, ini menunjukkan kerataan yang baik. Jika muncul garis lengkung, hitung kesalahan kerataan berdasarkan derajat kelengkungan garis. Setiap garis lengkung mewakili perbedaan ketinggian 0,316 μm, dan data kerataan dapat diperoleh melalui konversi sederhana.
Empat. Metode Inspeksi Mesin Pengukur Tiga Koordinat
Mesin pengukur tiga koordinat dapat mencapai pengukuran presisi tinggi dalam ruang tiga dimensi. Letakkan platform granit di atas meja kerja mesin pengukur dan gunakan probe untuk mengumpulkan data secara seragam dari beberapa titik pengukuran di permukaan platform. Sistem mesin pengukur memproses dan menganalisis data ini untuk menghasilkan laporan kerataan platform. Metode ini tidak hanya dapat mendeteksi kerataan, tetapi juga memperoleh parameter geometris platform lainnya secara bersamaan, dan cocok untuk deteksi komprehensif platform granit besar.
Menguasai metode deteksi ini dapat membantu Anda menilai kerataan platform presisi granit secara akurat dan memberikan jaminan yang andal untuk pengoperasian peralatan presisi yang stabil.
Waktu posting: 29 Mei 2025