Revolusi Presisi dalam manufaktur semikonduktor: Ketika granit bertemu dengan teknologi mikron
1.1 Penemuan tak terduga dalam ilmu material
Menurut laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI 2023, 63% pabrik canggih dunia telah mulai menggunakan alas granit, alih-alih platform logam tradisional. Batu alam ini, yang berasal dari kondensasi magma jauh di dalam Bumi, sedang menulis ulang sejarah manufaktur semikonduktor karena sifat fisiknya yang unik:
Keunggulan inersia termal: koefisien ekspansi termal granit 4,5×10⁻⁶/℃ hanya 1/5 dari baja tahan karat, dan stabilitas dimensi ±0,001mm dipertahankan dalam pekerjaan berkelanjutan mesin litografi
Karakteristik peredam getaran: koefisien gesekan internal 15 kali lebih tinggi dari besi cor, secara efektif menyerap getaran mikro peralatan
Sifat magnetisasi nol: menghilangkan sepenuhnya kesalahan magnetik dalam pengukuran laser
1.2 Perjalanan metamorfosis dari tambang ke pabrik
Mengambil basis produksi cerdas ZHHIMG di Shandong sebagai contoh, sepotong granit mentah perlu menjalani:
Pemesinan ultra-presisi: pusat pemesinan hubungan lima sumbu untuk 200 jam penggilingan terus menerus, kekasaran permukaan hingga Ra0,008μm
Perawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan stres alami di bengkel suhu dan kelembaban konstan, yang meningkatkan stabilitas produk hingga 40%
Kedua, pecahkan enam masalah presisi manufaktur semikonduktor "solusi batu"
2.1 Skema pengurangan laju fragmentasi wafer
Demonstrasi kasus: Setelah pabrik pengecoran chip di Jerman mengadopsi platform granit terapung gas kami:
| Diameter wafer | pengurangan tarif chip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inci | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Skema terobosan akurasi penyelarasan litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik tertanam memantau variabel bentuk secara real time dan secara otomatis menyesuaikan kemiringan platform
Data terukur: di bawah fluktuasi 28℃±5℃, akurasi penanaman berfluktuasi kurang dari 0,12μm
Waktu posting: 24-Mar-2025