Revolusi Presisi dalam manufaktur semikonduktor: Ketika granit bertemu dengan teknologi mikron
1.1 Penemuan tak terduga dalam ilmu material
Menurut laporan Asosiasi Semikonduktor Internasional SEMI tahun 2023, 63% pabrik canggih di dunia telah mulai menggunakan alas granit sebagai pengganti platform logam tradisional. Batu alam ini, yang berasal dari kondensasi magma jauh di dalam Bumi, menulis ulang sejarah manufaktur semikonduktor karena sifat fisiknya yang unik:
Keunggulan inersia termal: koefisien ekspansi termal granit 4,5×10⁻⁶/℃ hanya 1/5 dari baja tahan karat, dan stabilitas dimensi ±0,001mm dipertahankan dalam pekerjaan berkelanjutan mesin litografi
Karakteristik peredam getaran: koefisien gesekan internal 15 kali lebih tinggi dari besi cor, secara efektif menyerap getaran mikro peralatan
Sifat magnetisasi nol: menghilangkan sepenuhnya kesalahan magnetik dalam pengukuran laser
1.2 Perjalanan metamorfosis dari tambang ke pabrik
Mengambil contoh basis produksi cerdas ZHHIMG di Shandong, sepotong granit mentah perlu menjalani:
Pemesinan ultra-presisi: pusat pemesinan hubungan lima sumbu untuk 200 jam penggilingan terus menerus, kekasaran permukaan hingga Ra0,008μm
Perawatan penuaan buatan: 48 jam pelepasan stres alami di bengkel suhu dan kelembaban konstan, yang meningkatkan stabilitas produk hingga 40%
Kedua, pecahkan enam masalah presisi manufaktur semikonduktor "solusi batu"
2.1 Skema pengurangan laju fragmentasi wafer
Demonstrasi kasus: Setelah pabrik pengecoran chip di Jerman mengadopsi platform granit terapung gas kami:
| Diameter wafer | pengurangan tarif chip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inci | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Skema terobosan akurasi penyelarasan litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik tertanam memantau bentuk variabel secara real time dan secara otomatis menyesuaikan kemiringan platform
Data terukur: di bawah fluktuasi 28℃±5℃, akurasi penanaman berfluktuasi kurang dari 0,12μm
Waktu posting: 24-Mar-2025