Revolusi Presisi dalam Manufaktur Semikonduktor: Ketika Granit Bertemu Teknologi Mikron
1.1 Penemuan tak terduga dalam ilmu material
Menurut laporan SEMI International Semiconductor Association tahun 2023, 63% dari pabrik semikonduktor canggih di dunia telah mulai menggunakan alas granit sebagai pengganti platform logam tradisional. Batu alam ini, yang berasal dari kondensasi magma jauh di dalam Bumi, sedang menulis ulang sejarah manufaktur semikonduktor karena sifat fisikanya yang unik:
Keunggulan inersia termal: koefisien ekspansi termal granit 4,5×10⁻⁶/℃ hanya 1/5 dari baja tahan karat, dan stabilitas dimensi ±0,001mm tetap terjaga dalam pengoperasian mesin litografi secara terus menerus.
Karakteristik peredaman getaran: koefisien gesekan internal 15 kali lebih tinggi daripada besi cor, secara efektif menyerap getaran mikro peralatan.
Sifat magnetisasi nol: sepenuhnya menghilangkan kesalahan magnetik dalam pengukuran laser.
1.2 Perjalanan metamorfosis dari milikku menjadi luar biasa
Mengambil contoh basis produksi cerdas ZHHIMG di Shandong, sepotong granit mentah perlu melalui proses berikut:
Pemesinan ultra-presisi: pusat pemesinan penghubung lima sumbu untuk penggilingan kontinu selama 200 jam, kekasaran permukaan hingga Ra0,008μm
Perawatan penuaan buatan: Pelepasan stres alami selama 48 jam di bengkel dengan suhu dan kelembaban konstan, yang meningkatkan stabilitas produk hingga 40%.
Kedua, pecahkan enam masalah presisi manufaktur semikonduktor "solusi batu"
2.1 Skema pengurangan tingkat fragmentasi wafer
Demonstrasi kasus: Setelah sebuah pabrik chip di Jerman mengadopsi platform granit apung gas kami:
| Diameter wafer | pengurangan tingkat chip | peningkatan kerataan |
| 12 inci | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 inci | 82% | ≤0,0005 mm |
2.2 Skema terobosan akurasi penyelarasan litografi
Sistem kompensasi suhu: sensor keramik tertanam memantau variabel bentuk secara real-time dan secara otomatis menyesuaikan kemiringan platform.
Data terukur: pada fluktuasi suhu 28℃±5℃, akurasi penyematan berfluktuasi kurang dari 0,12μm
Waktu posting: 24 Maret 2025