Platform granit, sebagai alat acuan untuk pengukuran dan pemrosesan yang presisi, pemeliharaan akurasinya secara langsung memengaruhi kualitas produksi. Berikut ini adalah rencana pemeliharaan sistematis yang mencakup pengendalian lingkungan, pemeliharaan harian, dan kalibrasi profesional untuk memastikan bahwa platform tersebut mempertahankan akurasi tingkat nanometer dalam jangka waktu yang lama.
1. Pengendalian Lingkungan: Bangun penghalang perlindungan yang presisi.
Pengaturan suhu dan kelembapan
Suhu lingkungan kerja perlu distabilkan pada 20±1℃. Setiap fluktuasi 1℃ akan menyebabkan deformasi termal pada platform granit sebesar 0,5-1μm/m. Sistem suhu konstan dapat dipasang di bengkel untuk mencegah udara dari saluran pendingin udara langsung mengenai platform.
Kelembapan harus dikontrol antara 40% dan 60%. Kelembapan yang berlebihan dapat dengan mudah menyebabkan karat pada bagian logam, sedangkan kelembapan yang terlalu rendah dapat menyebabkan gangguan listrik statis pada pengukuran.
Isolasi getaran
Platform tersebut harus dijauhkan dari sumber getaran seperti mesin pengepres dan mesin penggiling. Dianjurkan untuk menjaga jarak lebih dari 3 meter dari peralatan yang menghasilkan getaran.
Jika getaran tidak dapat dihindari, peredam kejut pegas udara dapat dipasang di bagian bawah platform untuk mengurangi dampak getaran lingkungan terhadap kerataan platform (yang dapat mengurangi getaran eksternal hingga lebih dari 80%).
2. Perawatan Harian: Pengawasan teliti mulai dari pembersihan hingga perlindungan
Spesifikasi pembersihan permukaan
Pembersihan debu: Lap permukaan dengan kulit rusa atau kain bebas serat searah setiap hari untuk mencegah partikel debu (≥5μm) menggores platform. Noda membandel dapat dibersihkan dengan lembut menggunakan etanol anhidrat (kemurnian ≥99,7%). Pelarut kuat seperti aseton tidak boleh digunakan.
Pembersihan noda minyak: Jika terkena noda minyak, bersihkan dengan pembersih netral yang diencerkan, lalu bilas dengan air deionisasi dan keringkan di udara untuk mencegah minyak mineral menembus pori-pori kecil pada platform.
Perlindungan terhadap beban dan benturan
Kapasitas daya dukung platform harus dikendalikan dalam batas 70% dari beban nominal (misalnya, untuk platform 1000kg, disarankan agar bebannya ≤700kg) untuk menghindari deformasi permanen yang disebabkan oleh kelebihan beban lokal.
Dilarang keras memukul benda kerja di atas platform. Saat menggunakan alat, kenakan sarung tangan lembut untuk mencegah benda tajam menggores permukaan (goresan dengan kedalaman lebih dari 20μm akan memengaruhi pengukuran jalur cahaya pantulan).
3. Kalibrasi Profesional: Inti dari pemeliharaan akurasi secara ilmiah
Pengaturan siklus kalibrasi
Skenario penggunaan konvensional: Kalibrasi setiap triwulan dan gunakan interferometer laser untuk mendeteksi kerataan (dengan akurasi ±0,5μm/m).
Penggunaan frekuensi tinggi atau lingkungan yang keras: Kalibrasi bulanan, dengan fokus pada pemantauan area yang sensitif terhadap suhu (seperti tepi platform di dekat sumber panas).
Pemrosesan pasca-kalibrasi
Jika ditemukan penyimpangan kerataan (seperti > ±1μm/m), maka harus dihaluskan dan diperbaiki oleh teknisi profesional menggunakan bubuk mikro W1.5. Penghalusan sendiri dengan amplas dilarang keras.
Setelah kalibrasi, data harus direkam dan diarsipkan, dan kurva penurunan akurasi platform harus dibuat untuk memprediksi kebutuhan perawatan di muka.
4. Penyimpanan dan Transportasi: Hindari kehilangan presisi tersembunyi
Poin-poin penting untuk penyimpanan jangka panjang
Saat disimpan, sebaiknya ditutup dengan penutup kedap lembap dan kedap debu. Bagian bawah harus ditopang oleh tiga titik (titik penopang terletak pada 2/9 panjang platform) untuk mencegah deformasi tekukan akibat gravitasi (platform sepanjang 1 meter dapat melengkung sebesar 0,3μm karena penopang satu titik dalam jangka panjang).
Pindahkan posisi titik tumpuan platform secara berkala (bulanan) untuk menghindari tekanan lokal jangka panjang.
Rencana perlindungan transportasi
Transportasi jarak pendek: Bungkus dengan busa peredam guncangan, pasang di dalam rangka yang kokoh, dan jaga percepatan dalam batas 2g.
Pengiriman jarak jauh: Perlu dikemas vakum dan diisi dengan nitrogen kering. Setelah tiba, harus didiamkan selama 24 jam hingga suhu mencapai keseimbangan sebelum dibuka untuk mencegah air kondensasi memengaruhi akurasi.
5. Prediksi Kerusakan: Teknik untuk Mengidentifikasi Masalah Sejak Dini
Inspeksi visual: Amati permukaan secara berkala dengan kaca pembesar 40x. Jika ditemukan goresan yang terus menerus atau penurunan kilap yang signifikan, hal itu mungkin menunjukkan penurunan akurasi.
Deteksi suara: Ketuk platform dengan lembut. Jika suara menjadi serak (biasanya suara seharusnya jernih), mungkin ada retakan mikro di dalamnya. Hentikan penggunaan segera untuk melakukan deteksi.
Melalui sistem perawatan ini, platform granit ZHHIMG® dapat mempertahankan kerataan ±1μm/m selama 10 tahun, yang lebih dari tiga kali lebih lama daripada masa pakai presisi platform yang tidak dirawat dengan benar. Praktik telah membuktikan bahwa setelah pabrik semikonduktor tertentu mengadopsi solusi ini, frekuensi kalibrasi platform berkurang hingga 50%, dan biaya perawatan tahunan dapat dihemat lebih dari 150.000 yuan.
Waktu posting: 18 Juni 2025