Sebuah revolusi dalam akurasi pemotongan wafer! Bagaimana cara mempertahankan posisi ±5 um untuk alas granit?

Dalam pertempuran pamungkas "nanopresisi" dalam manufaktur semikonduktor, kesalahan sekecil apa pun pada peralatan pemotong wafer dapat mengubah sebuah chip menjadi limbah. Basis granit adalah pahlawan tanpa tanda jasa yang mengendalikan akurasi pemosisian berulang ±5 um, menulis ulang aturan manufaktur presisi dengan tiga keajaiban alamnya.

"Jangkar penstabil" terhadap deformasi termal: Koefisien muai termal granit serendah 5-7 × 10⁻⁶/℃, yang hanya sepertiga dari koefisien muai termal material logam. Di bawah pengaruh panas yang dihasilkan oleh operasi kecepatan tinggi peralatan pemotong wafer, material biasa akan mengalami deformasi akibat muai dan kontraksi termal, yang menyebabkan posisi kepala pemotong bergeser. Namun, dasar granit dapat tetap "tidak bergerak", yang pada dasarnya menghilangkan deviasi posisi akibat deformasi termal dan meletakkan fondasi yang kokoh untuk presisi.

"Perisai senyap" peredam getaran: Deru mesin perkakas yang konstan dan getaran peralatan yang terus-menerus di bengkel dapat dianggap sebagai "pembunuh fatal" bagi presisi. Struktur kristal granit yang unik bagaikan peredam kejut alami, mampu dengan cepat mengubah getaran eksternal dan getaran mekanis yang dihasilkan oleh pengoperasian peralatan menjadi energi panas untuk disipasi. Sementara alas lainnya masih "bergoyang" akibat getaran, alas granit telah menciptakan platform yang stabil untuk kepala pemotong yang tetap diam, sehingga memungkinkan akurasi ±5 μm.

"Benteng Abadi" Tahan Korosi: Bengkel semikonduktor dipenuhi dengan zat korosif seperti larutan etsa dan pembersih asam serta alkali. Dalam lingkungan seperti itu, logam dasar akan berkarat dan berubah bentuk secara bertahap. Granit, dengan stabilitas kimianya yang melekat, tidak bereaksi sama sekali dengan zat kimia ini. Berapa pun lamanya penggunaan, granit dapat mempertahankan integritas struktural dan memastikan pemotongan presisi tinggi secara terus-menerus.

Dari bakat material hingga pemrosesan ultra-presisi, basis granit telah membuktikan dengan kekuatannya bahwa tidak semua material dapat memenuhi tantangan berat manufaktur semikonduktor. Justru karena keunggulan alami yang tak tergantikan inilah basis granit menjadi kunci bagi peralatan pemotong wafer untuk mencapai akurasi pemosisian berulang ±5 μm, dan semakin mendorong industri semikonduktor untuk terus bergerak menuju presisi yang lebih tinggi!

granit presisi14


Waktu posting: 14 Mei 2025