Manufaktur semikonduktor: Dalam proses pembuatan chip, proses fotolitografi membutuhkan transfer pola sirkuit secara presisi ke wafer. Basis granit dari modul gerak ultra-presisi mengambang udara sumbu tunggal dapat memberikan pemosisian presisi tinggi dan dukungan stabil untuk meja wafer pada peralatan litografi. Misalnya, ASML dan produsen mesin litografi ternama internasional lainnya menggunakan modul gerak mengambang udara berbasis granit pada peralatan kelas atas mereka, yang dapat mengontrol akurasi pemosisian wafer pada tingkat nanometer untuk memastikan akurasi pola litografi, sehingga meningkatkan integrasi dan kinerja chip.
Bidang pengukuran presisi: CMM (Coordinate Measuring Machine) adalah peralatan pengukuran presisi yang umum digunakan dalam produksi industri, yang digunakan untuk mengukur ukuran, bentuk, dan akurasi posisi benda kerja. Modul gerak ultra-presisi dari pelampung udara sumbu tunggal pada alas granit dapat digunakan sebagai platform gerak CMM, yang dapat mewujudkan gerakan linier presisi tinggi dan memberikan lintasan gerak yang stabil untuk probe pengukuran. Misalnya, CMM kelas atas Hexagon menggunakan kombinasi ini untuk mengukur komponen besar dan kompleks dengan akurasi pengukuran hingga tingkat mikron, memberikan jaminan kuat untuk kontrol kualitas komponen di industri otomotif, kedirgantaraan, dan industri lainnya.
Bidang kedirgantaraan: Dalam pemrosesan dan pengujian komponen kedirgantaraan, presisi tinggi sangat dibutuhkan. Misalnya, pemesinan bilah mesin pesawat terbang membutuhkan kontrol yang tepat terhadap lintasan gerak alat untuk memastikan akurasi profil bilah. Basis granit dari modul gerak ultra-presisi apung udara sumbu tunggal dapat diterapkan pada pusat pemesinan lima sumbu dan peralatan lainnya untuk memberikan kontrol gerak presisi tinggi untuk alat dan memastikan bahwa akurasi pemesinan bilah dapat memenuhi persyaratan desain. Pada saat yang sama, dalam proses perakitan mesin pesawat terbang, juga perlu menggunakan peralatan pengukuran presisi tinggi untuk mendeteksi akurasi perakitan komponen. Modul gerak apung udara dari basis granit dapat memberikan dukungan yang stabil dan gerakan yang akurat untuk peralatan pengukuran guna memastikan kualitas perakitan.
Bidang inspeksi optik: Dalam proses pembuatan dan pengujian komponen optik, diperlukan penentuan posisi dan pengukuran komponen optik dengan presisi tinggi. Misalnya, saat memproduksi komponen optik presisi tinggi seperti cermin dan lensa, diperlukan penggunaan interferometer dan peralatan lain untuk mendeteksi akurasi bentuk permukaan. Alas granit dari modul gerak ultra-presisi apung udara sumbu tunggal dapat digunakan sebagai platform pergerakan interferometer, yang dapat mewujudkan akurasi penentuan posisi sub-mikron dan memberikan dukungan data yang akurat untuk deteksi komponen optik. Selain itu, pada peralatan pemrosesan laser, juga diperlukan penggunaan platform gerak presisi tinggi untuk mengontrol lintasan pemindaian sinar laser, alas granit dari modul gerak apung udara dapat memenuhi persyaratan ini, untuk mencapai pemrosesan laser presisi tinggi.
Waktu posting: 07-Apr-2025