Granit adalah jenis batuan keras yang telah menjadi material yang sangat diperlukan dalam industri manufaktur semikonduktor. Sifat-sifatnya memungkinkan granit untuk tahan terhadap suhu tinggi, sehingga ideal untuk digunakan dalam berbagai tahapan proses manufaktur perangkat semikonduktor. Akibatnya, perakitan granit telah menemukan area aplikasi yang luas dalam produk perangkat proses manufaktur semikonduktor.
Salah satu aplikasi yang paling banyak digunakan dari susunan granit adalah dalam pembangunan struktur mesin perkakas presisi tinggi. Kekakuan dan stabilitas granit memungkinkan untuk menghasilkan perkakas yang presisi dan akurat dengan sedikit atau tanpa deformasi. Tingkat presisi ini diperlukan dalam proses manufaktur semikonduktor seperti implantasi ion, di mana berkas harus diarahkan secara akurat ke wafer.
Aplikasi lain dari susunan granit dalam manufaktur semikonduktor adalah dalam pembuatan peralatan metrologi. Peralatan metrologi sangat penting dalam proses manufaktur semikonduktor karena mengukur dan memverifikasi keakuratan perangkat yang diproduksi. Stabilitas dimensi granit, ekspansi termal yang rendah, dan sifat peredaman getaran yang sangat baik menjadikannya material pilihan dalam pembuatan peralatan metrologi. Ini termasuk permukaan granit besar yang digunakan dalam penyiapan dan inspeksi wafer.
Meja optik merupakan salah satu bidang aplikasi luas lainnya dari perakitan granit di industri semikonduktor. Meja optik digunakan dalam pengujian perangkat optik seperti pandu gelombang untuk komunikasi data. Kerataan granit, ekspansi termal yang rendah, kekakuan yang tinggi, dan stabilitas mekanis memungkinkannya untuk menyediakan permukaan yang sangat stabil untuk pemasangan dan penempatan optik. Meja optik granit dapat memberikan stabilitas dan kekakuan yang diperlukan untuk melakukan pengujian perangkat optik yang akurat dan presisi.
Granit juga digunakan dalam pembuatan dudukan dan penyangga wafer. Selama proses manufaktur semikonduktor, penyelarasan presisi dan kontrol posisi sangat penting. Dudukan wafer, yang menahan wafer di tempatnya selama pemrosesan, harus mempertahankan akurasi posisi sambil tahan terhadap suhu tinggi dan kondisi vakum. Granit memiliki stabilitas dimensi yang sangat baik pada berbagai suhu dan dapat tahan terhadap kondisi vakum, menjadikannya ideal untuk pembuatan dudukan wafer. Penyangga yang digunakan dalam pergerakan wafer dari satu posisi ke posisi lain mengalami urutan pergerakan berulang selama proses fabrikasi semikonduktor. Rakitan granit memberikan stabilitas dan daya tahan yang dibutuhkan untuk menahan siklus pergerakan yang terus menerus dan berulang.
Singkatnya, penerapan material granit dalam industri manufaktur semikonduktor sangat luas. Sifat-sifatnya seperti stabilitas dimensi, ekspansi termal rendah, kekakuan tinggi, dan peredaman getaran menjadikannya material ideal untuk digunakan dalam berbagai tahapan proses manufaktur perangkat semikonduktor. Mulai dari pembuatan peralatan mesin presisi tinggi dan peralatan metrologi hingga meja optik dan dudukan serta penjepit wafer, atribut granit memainkan peran penting dalam memberikan stabilitas, akurasi, dan pengulangan yang diperlukan untuk mencapai manufaktur perangkat semikonduktor berkualitas tinggi.
Waktu posting: 06-Des-2023