Dalam rantai produksi semikonduktor yang presisi, sistem transfer wafer bagaikan "urat nadi lini produksi chip", dan stabilitas serta akurasinya secara langsung menentukan tingkat hasil produksi chip. Generasi baru sistem transfer wafer secara revolusioner menggabungkan motor linier dengan alas granit, dan keunggulan unik material granit merupakan kunci utama untuk membuka potensi transmisi berkinerja tinggi.
Landasan granit: Membangun "fondasi yang kokoh" untuk transmisi yang stabil.
Granit, yang telah mengalami pemurnian geologis selama ratusan juta tahun, memiliki kristalisasi mineral internal yang padat dan seragam. Karakteristik alami ini menjadikannya bahan dasar yang ideal untuk sistem transfer wafer. Dalam lingkungan kompleks ruang bersih semikonduktor, granit, dengan koefisien ekspansi termal ultra-rendah (hanya 5-7 ×10⁻⁶/℃), dapat menahan panas yang dihasilkan selama pengoperasian peralatan dan pengaruh perubahan suhu lingkungan, memastikan stabilitas ukuran dasar dan menghindari penyimpangan jalur transmisi yang disebabkan oleh deformasi termal. Kinerja peredaman getarannya yang luar biasa dapat dengan cepat menyerap getaran mekanis yang dihasilkan selama start-up, shutdown, dan akselerasi motor linier, serta gangguan eksternal yang disebabkan oleh pengoperasian peralatan lain di bengkel, menyediakan platform yang stabil dengan "nol getaran" untuk transmisi wafer.
Sementara itu, stabilitas kimia granit memastikan bahwa granit tidak mengalami korosi atau karat di bengkel semikonduktor di mana reagen asam dan basa mudah menguap dan kebersihan tinggi diperlukan, sehingga menghindari dampak pada akurasi transmisi akibat penuaan material atau adsorpsi polutan. Karakteristik permukaan yang halus dan padat dapat secara lebih efektif mengurangi adhesi debu, memenuhi standar bebas debu yang ketat di ruang bersih dan menghilangkan risiko kontaminasi wafer dari akarnya.
Efek "kemitraan emas" antara motor linier dan granit.
Motor linier, dengan karakteristiknya yang tidak memiliki celah transmisi mekanis, akselerasi tinggi, dan kecepatan respons tinggi, memberikan keunggulan "cepat, akurat, dan stabil" pada transmisi wafer. Alas granit menyediakan platform pendukung yang kokoh dan andal. Keduanya bekerja sama untuk mencapai peningkatan kinerja yang signifikan. Ketika motor linier menggerakkan pembawa wafer untuk berjalan di jalur alas granit, kekakuan dan stabilitas alas yang kuat memastikan transmisi gaya penggerak motor yang efisien, menghindari kehilangan gaya atau keterlambatan transmisi yang disebabkan oleh deformasi alas.
Didorong oleh permintaan akan presisi skala nano, motor linier dapat mencapai kontrol perpindahan tingkat sub-mikron. Karakteristik pemrosesan presisi tinggi dari alas granit (dengan kesalahan kerataan yang dikontrol dalam ±1μm) sangat cocok dengan kontrol presisi motor linier, secara bersamaan memastikan bahwa kesalahan pemosisian selama transmisi wafer kurang dari ±5μm. Baik itu perpindahan cepat antar berbagai peralatan proses atau parkir presisi untuk penyerahan wafer, kombinasi motor linier dan alas granit dapat memastikan "penyimpangan nol dan getaran nol" dalam transmisi wafer.
Verifikasi praktik industri: Peningkatan ganda dalam efisiensi dan tingkat hasil
Setelah meningkatkan sistem transfer wafernya, sebuah perusahaan semikonduktor global terkemuka mengadopsi solusi motor linier + alas granit, yang meningkatkan efisiensi transfer wafer sebesar 40%, mengurangi tingkat terjadinya kesalahan seperti tabrakan dan pergeseran selama proses transfer sebesar 85%, dan meningkatkan tingkat hasil keseluruhan chip sebesar 6%. Di balik data tersebut terdapat jaminan stabilitas transmisi yang diberikan oleh alas granit dan efek sinergi kecepatan tinggi dan presisi dari motor linier, yang secara signifikan mengurangi kerugian dan kesalahan dalam proses transmisi wafer.
Dari sifat material hingga manufaktur presisi, dari keunggulan kinerja hingga verifikasi praktis, kombinasi motor linier dan alas granit telah mendefinisikan ulang standar sistem transfer wafer. Di masa depan ketika teknologi semikonduktor maju menuju proses 3nm dan 2nm, material granit pasti akan terus memberikan dorongan kuat bagi perkembangan industri dengan keunggulan yang tak tergantikan.
Waktu posting: 14 Mei 2025