Dalam rantai presisi manufaktur semikonduktor, sistem transfer wafer bagaikan "urat nadi lini produksi chip", dan stabilitas serta akurasinya secara langsung menentukan tingkat hasil chip. Sistem transfer wafer generasi baru secara revolusioner menggabungkan motor linier dengan basis granit, dan keunggulan unik material granit justru menjadi kode inti untuk mewujudkan transmisi berkinerja tinggi.
Basis granit: Membangun "fondasi yang kokoh" untuk transmisi yang stabil
Granit, yang telah mengalami proses pemurnian geologis selama ratusan juta tahun, memiliki kristalisasi mineral internal yang padat dan seragam. Karakteristik alami ini menjadikannya material dasar yang ideal untuk sistem transfer wafer. Dalam lingkungan ruang bersih semikonduktor yang kompleks, granit, dengan koefisien muai termal yang sangat rendah (hanya 5-7 ×10⁻⁶/℃), dapat menahan panas yang dihasilkan selama pengoperasian peralatan dan pengaruh perubahan suhu lingkungan, memastikan stabilitas ukuran dasar dan menghindari deviasi jalur transmisi akibat deformasi termal. Kinerja peredam getarannya yang luar biasa dapat dengan cepat menyerap getaran mekanis yang dihasilkan selama proses start-up, shutdown, dan akselerasi motor linear, serta gangguan eksternal yang ditimbulkan oleh pengoperasian peralatan lain di bengkel, menyediakan platform yang stabil tanpa guncangan untuk transmisi wafer.
Sementara itu, stabilitas kimia granit memastikannya tidak terkorosi atau berkarat di bengkel semikonduktor yang mana reagen asam dan alkali bersifat volatil dan membutuhkan kebersihan tinggi, sehingga menghindari dampak pada akurasi transmisi akibat penuaan material atau penyerapan polutan. Karakteristik permukaan yang halus dan padat dapat mengurangi adhesi debu secara lebih efektif, memenuhi standar bebas debu yang ketat di ruang bersih, dan menghilangkan risiko kontaminasi wafer dari akar.
Efek "kemitraan emas" dari motor linier dan granit
Motor linear, dengan karakteristik tanpa celah transmisi mekanis, akselerasi tinggi, dan kecepatan respons tinggi, memberikan keunggulan transmisi wafer "cepat, akurat, dan stabil". Alas granit menyediakan platform penyangga yang kokoh dan andal. Keduanya bekerja sama untuk mencapai peningkatan kinerja. Ketika motor linear menggerakkan pembawa wafer untuk berjalan di atas lintasan alas granit, kekakuan dan stabilitas alas yang kuat memastikan transmisi gaya penggerak motor yang efisien, menghindari kehilangan gaya atau kelambatan transmisi yang disebabkan oleh deformasi alas.
Didorong oleh tuntutan presisi nanoskala, motor linear dapat mencapai kontrol perpindahan tingkat sub-mikron. Karakteristik pemrosesan presisi tinggi dari alas granit (dengan kesalahan kerataan yang dikontrol dalam ±1μm) sangat cocok dengan kontrol presisi motor linear, yang secara bersamaan memastikan bahwa kesalahan pemosisian selama transmisi wafer kurang dari ±5μm. Baik untuk perpindahan kecepatan tinggi antar berbagai peralatan proses maupun parkir presisi untuk serah terima wafer, kombinasi motor linear dan alas granit dapat memastikan "deviasi dan jitter nol" dalam transmisi wafer.
Verifikasi praktik industri: Peningkatan ganda dalam efisiensi dan tingkat hasil
Setelah memutakhirkan sistem transfer wafernya, sebuah perusahaan semikonduktor global terkemuka mengadopsi solusi motor linear + alas granit, yang meningkatkan efisiensi transfer wafer hingga 40%, mengurangi tingkat kejadian kerusakan seperti tabrakan dan offset selama proses transfer hingga 85%, dan meningkatkan tingkat hasil keseluruhan chip hingga 6%. Di balik data tersebut terdapat jaminan stabilitas transmisi yang diberikan oleh alas granit dan efek sinergi kecepatan tinggi dan presisi dari motor linear, yang secara signifikan mengurangi kerugian dan kesalahan dalam proses transmisi wafer.
Dari sifat material hingga manufaktur presisi, dari keunggulan kinerja hingga verifikasi praktis, kombinasi motor linear dan alas granit telah mendefinisikan ulang standar sistem transfer wafer. Di masa depan, ketika teknologi semikonduktor berkembang menuju proses 3nm dan 2nm, material granit pasti akan terus menyuntikkan dorongan kuat bagi perkembangan industri dengan keunggulannya yang tak tergantikan.
Waktu posting: 14 Mei 2025