Lapisan granit merupakan komponen penting dalam berbagai perangkat semikonduktor. Sebagai material yang sangat stabil dan kaku, granit banyak digunakan sebagai alas untuk peralatan pengolahan semikonduktor. Granit dicirikan oleh koefisien ekspansi termal yang rendah, stabilitas dimensi yang tinggi, dan sifat mekanik yang sangat baik. Karena sifat-sifat ini, lapisan granit paling umum digunakan dalam tiga jenis perangkat semikonduktor yang berbeda - peralatan metrologi, peralatan litografi, dan peralatan inspeksi.
Peralatan metrologi digunakan untuk mengukur dan mendeteksi dimensi kritis perangkat semikonduktor. Peralatan ini memainkan peran penting dalam menjaga kualitas dan konsistensi proses manufaktur semikonduktor. Peralatan metrologi meliputi instrumen seperti mikroskop optik, mikroskop elektron, dan mikroskop gaya atom (AFM). Karena kinerja instrumen pengukuran ini bergantung pada stabilitas, presisi, dan ketahanan terhadap getaran, granit merupakan pilihan ideal untuk material alasnya. Keseragaman dan stabilitas alas granit memberikan platform yang stabil bagi instrumen, yang meningkatkan akurasi dan keandalannya.
Peralatan litografi digunakan untuk membuat pola mikrochip pada wafer. Proses litografi membutuhkan tingkat presisi dan akurasi yang tinggi untuk menciptakan sirkuit kompleks dan meningkatkan kinerja chip. Peralatan litografi meliputi sistem stepper dan scanner yang menggunakan cahaya untuk mentransfer gambar ke wafer. Karena proses litografi sangat sensitif terhadap getaran dan perubahan termal, alas berkualitas tinggi sangat penting untuk memastikan stabilitas dan pengulangan proses litografi. Alas granit memberikan stabilitas yang dibutuhkan dan kinerja peredaman getaran yang ketat untuk sistem litografi. Alas granit memungkinkan sistem stepper atau scanner untuk mempertahankan hubungan spasial yang tepat, memastikan akurasi tinggi dan kualitas produk akhir.
Peralatan inspeksi digunakan untuk mendeteksi cacat pada perangkat semikonduktor. Peralatan inspeksi meliputi sistem seperti mikroskop pemindai laser, mikroskop elektron, dan mikroskop optik. Dengan kebutuhan akan perangkat-perangkat ini yang sangat akurat, stabil, dan tahan getaran, alas granit merupakan material yang sempurna. Sifat mekanik dan stabilitas dimensi granit membantu dalam isolasi getaran, yang meningkatkan akurasi keluaran peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, alas granit sangat penting bagi industri semikonduktor dan banyak digunakan dalam berbagai jenis peralatan. Sifat uniknya seperti stabilitas dimensi, koefisien ekspansi termal rendah, dan stabilitas mekanik yang sangat baik menjadikan granit pilihan ideal untuk material alas peralatan semikonduktor. Karena alas granit berkualitas tinggi memberikan stabilitas, presisi, dan ketahanan getaran yang diperlukan untuk peralatan semikonduktor, pada akhirnya meningkatkan kualitas produk akhir. Oleh karena itu, penggunaan alas granit dalam peralatan semikonduktor dipastikan akan terus berlanjut selama bertahun-tahun mendatang.
Waktu posting: 03-Apr-2024