Dalam peralatan manufaktur semikonduktor dan optoelektronik, granit terutama digunakan pada bagian-bagian kunci seperti platform gerak presisi, alas rel pemandu, struktur pendukung isolasi getaran, dan substrat pemasangan komponen optik. Bagian-bagian ini memiliki persyaratan yang sangat tinggi untuk presisi, stabilitas, dan toleransi lingkungan. Karakteristik granit dapat secara tepat memenuhi tuntutan ketat industri semikonduktor dan optoelektronik. Berikut adalah analisis skenario aplikasi spesifik dan keunggulannya:
I. Bagian Aplikasi Utama
Platform gerak presisi (seperti platform wafer untuk mesin fotolitografi dan mesin pengikat)
Alat ini digunakan untuk membawa komponen presisi seperti wafer dan lensa optik, mencapai gerakan translasi dan rotasi dengan akurasi skala nano.
Peralatan umum: meja benda kerja mesin fotolitografi, platform pemosisian peralatan pengukuran.
Struktur dasar dan rangka rel pemandu
Sebagai alas pemasangan untuk pemandu linier dan pemandu apung udara, alat ini mendukung mekanisme gerak inti peralatan tersebut.
Peralatan umum: rangka mekanis peralatan pengemasan semikonduktor dan instrumen inspeksi optik.
Struktur penyangga dan penstabil isolasi getaran
Alat ini digunakan untuk mengisolasi getaran eksternal (seperti getaran dari lantai pabrik atau selama pengoperasian peralatan), sehingga memastikan stabilitas sistem optik atau mesin presisi.
Skenario umum: Dukungan dasar untuk mikroskop optik dan interferometer laser.
Substrat pemasangan komponen optik
Perbaiki perangkat optik seperti cermin, prisma, dan laser untuk memastikan stabilitas jangka panjang dari akurasi penyelarasan sistem jalur optik.
Peralatan umum: Peralatan pengemasan optoelektronik, sistem penyambungan serat optik.
Waktu posting: 29 Mei 2025