IDalam industri manufaktur semikonduktor, akurasi peralatan inspeksi wafer sangat penting untuk memastikan kualitas sirkuit terpadu. Alas mesin granit presisi tinggi, seperti yang disediakan oleh ZHHIMG®, memainkan peran vital dalam meningkatkan kinerja peralatan tersebut. Berikut cara alas mesin ini membuat perbedaan.
Stabilitas Dimensi yang Luar Biasa. Granit memiliki koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, sekitar (4–8)×10⁻⁶/℃, jauh lebih rendah daripada banyak logam. Dalam lingkungan yang terkontrol ketat di pabrik semikonduktor, di mana fluktuasi suhu kecil sekalipun dapat menyebabkan kesalahan pengukuran, alas mesin granit tetap stabil. Stabilitas ini memastikan bahwa penempatan komponen dalam peralatan inspeksi wafer tetap akurat, mencegah penyimpangan akibat termal yang dapat memengaruhi ketelitian hasil inspeksi.
Peredaman Getaran UnggulLantai produksi sering kali dipenuhi getaran dari berbagai sumber. Sifat peredaman bawaan granit, dengan rasio peredaman 0,05–0,1, secara efektif menyerap dan menghilangkan getaran ini. Untuk inspeksi wafer
Dalam bidang pemrosesan data yang membutuhkan pencitraan resolusi tinggi dan pembacaan sensor yang presisi, pengurangan getaran yang diberikan oleh alas granit sangat berharga. Hal ini meminimalkan gangguan yang dapat mengaburkan gambar atau mendistorsi data sensor, sehingga memungkinkan peralatan untuk menangkap informasi yang jelas dan akurat tentang permukaan dan struktur internal wafer.
Kekakuan dan Ketahanan Aus yang Tinggi Dengan kepadatan sekitar 3100 kg/m³, alas mesin granit ZHHIMG® menawarkan kekakuan yang luar biasa. Alas ini dapat menopang komponen berat peralatan inspeksi wafer tanpa mengalami deformasi, menjaga keselarasan sistem optik dan mekanis. Selain itu, kekerasan granit yang tinggi (skala Mohs 6–7) dan ketahanan aus yang sangat baik memastikan bahwa permukaan alas mesin tetap rata dan halus seiring waktu. Konsistensi ini sangat penting untuk akurasi jangka panjang, karena keausan atau deformasi apa pun pada alas dapat secara bertahap menurunkan presisi peralatan.
Ketahanan Kimiawi: Manufaktur semikonduktor melibatkan paparan berbagai bahan kimia. Ketahanan kimiawi granit membuatnya tahan terhadap korosi dari zat-zat tersebut. Sifat ini melindungi integritas dasar mesin, mencegah kerusakan akibat bahan kimia yang dapat memengaruhi stabilitas dan akurasi peralatan inspeksi.
Kesimpulannya, alas mesin granit presisi tinggi bukan hanya komponen tetapi juga kunci penting untuk mencapai persyaratan akurasi yang ketat dari peralatan inspeksi wafer. Saat memilih alas mesin granit, pilihlah penyedia tepercaya seperti ZHHIMG®. Dengan berbagai sertifikasi dan komitmen terhadap kualitas, ZHHIMG® memastikan bahwa setiap alas mesin granit memberikan keandalan dan kinerja yang dibutuhkan untuk manufaktur semikonduktor canggih.
Waktu posting: 03-Juni-2025