Dalam dunia manufaktur semikonduktor yang presisi, pengujian non-destruktif pada wafer merupakan kunci penting untuk memastikan kualitas chip. Basis granit yang tampaknya tidak signifikan sebenarnya adalah "pahlawan tanpa tanda jasa" yang menentukan akurasi deteksi. Bagaimana pengaruhnya terhadap hasil pengujian? Artikel ini akan melakukan analisis mendalam dari berbagai dimensi seperti sifat material dan desain struktural.
1. Fondasi yang Stabil: Keunggulan alami granit meletakkan dasar yang kokoh untuk ketelitian.
1. Performa seismik yang sangat baik
Selama pengoperasian peralatan pengujian non-destruktif wafer, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis akan menghasilkan getaran. Jika getaran ini tidak ditekan secara efektif, getaran tersebut akan sangat mengganggu akurasi pengujian. Bagian dalam granit terjalin erat dengan kristal mineral seperti kuarsa dan feldspar. Struktur uniknya memberikannya kapasitas penyerapan getaran alami, mampu menyerap lebih dari 90% energi getaran peralatan. Data pengukuran aktual dari produsen semikonduktor tertentu menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, amplitudo getaran peralatan deteksi telah berkurang dari 12μm menjadi 2μm, secara efektif menghindari penyimpangan sinyal deteksi yang disebabkan oleh getaran.
2. Koefisien ekspansi termal yang sangat rendah
Selama proses deteksi, faktor-faktor seperti pemanasan peralatan dan perubahan suhu lingkungan akan memengaruhi stabilitas alas mesin. Material biasa memuai secara signifikan saat dipanaskan, tetapi koefisien ekspansi termal granit hanya 1/5 dari baja. Bahkan jika suhu lingkungan berfluktuasi sebesar 10℃, deformasinya dapat diabaikan. Hal ini memungkinkan alas granit untuk menyediakan platform referensi yang stabil bagi peralatan inspeksi, memastikan bahwa posisi relatif antara probe inspeksi dan wafer tetap akurat setiap saat dan menghindari kesalahan inspeksi yang disebabkan oleh deformasi termal.
Kedua, desain yang presisi: Optimalisasi struktural semakin meningkatkan keandalan deteksi.
Pemrosesan presisi tinggi dan jaminan kerataan
Dasar granit berkualitas tinggi ini diproses dengan teknologi CNC penghubung lima sumbu canggih, dengan kerataan ±0,5μm/m, memberikan referensi pemasangan ultra-rata untuk peralatan inspeksi. Dalam inspeksi wafer, vertikalitas dan kerataan probe inspeksi sangat penting untuk hasil inspeksi. Dasar granit presisi tinggi dapat memastikan posisi probe yang tepat, sehingga data inspeksi menjadi lebih akurat dan andal.
2. Adaptasi struktural yang disesuaikan
Rangka mesin granit dapat disesuaikan untuk berbagai peralatan pengujian non-destruktif wafer dan persyaratan proses. Misalnya, untuk memenuhi persyaratan peralatan inspeksi optik untuk refleksi cahaya, permukaan rangka mesin dapat diberi perlakuan khusus; untuk memenuhi persyaratan pemasangan peralatan pengujian ultrasonik, rangka dapat diprefabrikasi dengan lubang pemasangan dan baki kabel yang presisi, memungkinkan pemasangan peralatan yang cepat dan akurat serta mengurangi penyimpangan deteksi yang disebabkan oleh kesalahan pemasangan.
III. Stabilitas jangka panjang: Mengurangi kehilangan presisi yang disebabkan oleh perawatan peralatan.
Granit memiliki kekerasan tinggi dan ketahanan aus yang kuat, dengan kekerasan Mohs 6 hingga 7, yang tiga kali lebih kuat daripada baja biasa. Selama operasi inspeksi jangka panjang, permukaan alas mesin tidak mudah aus dan selalu dapat mempertahankan kondisi presisi yang baik. Sebaliknya, alas yang terbuat dari bahan lain dapat menyebabkan perubahan pada referensi pemasangan peralatan karena keausan, sehingga memengaruhi akurasi deteksi dan memerlukan kalibrasi dan perawatan yang sering. Masa pakai yang lama dan stabilitas tinggi dari alas granit secara efektif mengurangi frekuensi perawatan peralatan dan menurunkan risiko kehilangan presisi yang mungkin terjadi selama proses perawatan.
Mulai dari ketahanan terhadap guncangan, ketahanan terhadap panas hingga desain yang presisi, setiap fitur dari alas granit tersebut menjamin keakuratan pengujian non-destruktif wafer. Di era manufaktur semikonduktor saat ini yang mengejar presisi tertinggi, memilih alas granit berkualitas tinggi sama seperti menambahkan lapisan asuransi yang kokoh untuk keakuratan dan keandalan hasil pengujian.
Waktu posting: 18 Juni 2025