Di "pabrik super" pembuatan chip, setiap wafer seukuran kuku jari membawa sirkuit yang presisi, dan kunci untuk menentukan apakah sirkuit ini dapat dibentuk dengan tepat sebenarnya tersembunyi dalam sebuah batu yang tidak mencolok - yaitu granit. Hari ini, mari kita bahas tentang "senjata rahasia" granit - kapasitas peredamannya - dan bagaimana ia menjadi "malaikat pelindung" peralatan pemindaian wafer.
Apa itu peredaman? Apakah batu juga bisa "menyerap getaran"?
Peredaman terdengar sangat profesional, tetapi sebenarnya prinsipnya sangat sederhana. Bayangkan Anda tiba-tiba berhenti saat berlari. Jika tidak ada peredaman, tubuh Anda akan melaju ke depan karena inersia. Dan peredaman seperti tangan tak terlihat, membantu Anda untuk "mengerem" dengan cepat. Struktur internal granit terdiri dari kristal mineral yang saling terjalin seperti kuarsa dan feldspar, dan terdapat banyak celah kecil dan titik gesekan di antara kristal-kristal ini. Ketika getaran eksternal ditransmisikan ke granit, celah dan titik gesekan ini mulai "bekerja", mengubah energi getaran menjadi energi panas dan secara bertahap menghilangkannya, memungkinkan getaran untuk berhenti dengan cepat. Ini seperti memasang "peredam kejut super" pada perangkat, sehingga perangkat tersebut tidak lagi "bergetar".
Pemindaian wafer: Kesalahan kecil dapat menyebabkan kesalahan besar.
Perangkat pemindai wafer seperti kamera presisi yang "mengambil gambar" wafer, mendeteksi dan menggambar pola sirkuit pada skala nano. Namun, selama pengoperasian peralatan, putaran motor dan pergerakan komponen mekanis akan menghasilkan getaran frekuensi tinggi. Jika getaran ini tidak dikendalikan, lensa pemindai akan "kabur" seperti kamera yang tidak stabil, sehingga menghasilkan data deteksi yang tidak akurat dan bahkan dapat langsung membuang seluruh wafer.
Ketika alas logam biasa mengalami getaran, seringkali terjadi "benturan keras dengan keras", dengan getaran yang dipantulkan bolak-balik di dalam logam, sehingga guncangan menjadi semakin parah. Granit, dengan kapasitas peredaman yang sangat baik, dapat menyerap lebih dari 80% energi getaran. Sebuah kasus nyata di sebuah pabrik semikonduktor menunjukkan bahwa sebelum alas granit diganti, tepi gambar wafer yang diambil oleh peralatan pemindaian menjadi buram, dengan deviasi setinggi ±3μm. Setelah beralih ke alas granit, kejernihan gambar meningkat secara signifikan, deviasi berkurang menjadi ±0,5μm, dan tingkat hasil produksi melonjak dari 82% menjadi 96%!
Krisis Resonansi: Bagaimana Granit "Meredakan Bahaya"?
Selain getaran dari peralatan itu sendiri, getaran kecil dari lingkungan eksternal (seperti pengoperasian mesin di sebelahnya atau langkah kaki pekerja) juga dapat menyebabkan masalah besar. Ketika frekuensi getaran eksternal konsisten dengan frekuensi peralatan itu sendiri, resonansi akan terjadi, seperti mengguncang agar-agar, semakin besar amplitudonya, semakin kuat guncangannya. Karakteristik peredaman granit seperti memasang "penyumbat telinga kedap suara" pada peralatan, memperluas rentang frekuensi resonansi peralatan dan membuatnya lebih kecil kemungkinannya untuk sinkron dengan dunia luar. Data menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, risiko resonansi peralatan telah berkurang hingga 95%, dan stabilitasnya telah meningkat tiga kali lipat!
Pencerahan tentang "peredaman" dalam kehidupan
Sebenarnya, prinsip peredaman juga sangat umum dalam kehidupan sehari-hari. Peredam kejut mobil memungkinkan kita untuk berkendara dengan mulus di jalan yang bergelombang, dan fungsi peredam bising pada headphone dapat memblokir kebisingan eksternal. Semua ini mencapai stabilitas dengan "menyerap energi". Granit telah membawa kemampuan ini ke tingkat ekstrem dan telah menjadi material kunci yang sangat diperlukan di bidang manufaktur chip.
Lain kali Anda melihat granit, jangan anggap itu hanya sebagai batu biasa! Dalam dunia manufaktur semikonduktor yang canggih, justru material yang tampaknya biasa inilah yang, dengan "kekuatan super" uniknya, terus mendorong kemajuan teknologi.
Waktu posting: 17 Juni 2025