Di bengkel manufaktur semikonduktor, persyaratan proses manufaktur chip untuk kondisi lingkungan dan akurasi peralatan sangat ketat, dan sedikit penyimpangan pun dapat menyebabkan penurunan hasil chip yang signifikan. Platform pergerakan gantry presisi XYZT mengandalkan komponen granit untuk berkolaborasi dengan bagian lain dari platform guna membangun fondasi yang kokoh untuk mencapai akurasi skala nano.
Sifat peredam getaran yang sangat baik
Di bengkel manufaktur semikonduktor, pengoperasian peralatan periferal dan pergerakan personel dapat menyebabkan getaran. Struktur internal komponen granit padat dan seragam, dengan karakteristik peredaman tinggi alami, seperti "penghalang" getaran yang efisien. Ketika getaran eksternal ditransmisikan ke platform XYZT, komponen granit dapat secara efektif meredam lebih dari 80% energi getaran dan mengurangi gangguan getaran pada akurasi gerakan platform. Pada saat yang sama, platform dilengkapi dengan sistem pemandu apung udara presisi tinggi, yang bekerja bersamaan dengan komponen granit. Pemandu apung udara menggunakan lapisan gas stabil yang dibentuk oleh gas bertekanan tinggi untuk mewujudkan gerakan suspensi tanpa kontak dari bagian-bagian yang bergerak pada platform dan mengurangi getaran kecil yang disebabkan oleh gesekan mekanis. Bersama-sama, keduanya memastikan bahwa akurasi pemosisian platform selalu terjaga pada tingkat nanometer dalam proses-proses kunci seperti litografi dan etsa chip, dan menghindari penyimpangan pola sirkuit chip yang disebabkan oleh getaran.
Stabilitas termal yang sangat baik
Fluktuasi suhu dan kelembapan di bengkel sangat memengaruhi akurasi peralatan manufaktur chip. Koefisien ekspansi termal granit sangat rendah, umumnya 5-7 ×10⁻⁶/℃, ukurannya hampir tidak berubah ketika suhu berubah. Bahkan jika perbedaan suhu siang dan malam di bengkel atau produksi panas peralatan menyebabkan suhu lingkungan berfluktuasi, komponen granit dapat tetap stabil untuk mencegah deformasi platform akibat ekspansi dan kontraksi termal. Pada saat yang sama, sistem kontrol suhu cerdas yang terpasang pada platform memantau suhu lingkungan secara real-time, secara otomatis menyesuaikan peralatan pendingin udara dan pembuangan panas, dan menjaga suhu bengkel pada 20 °C ±1 °C. Dikombinasikan dengan keunggulan stabilitas panas granit, memastikan bahwa platform dalam pengoperasian jangka panjang, akurasi pergerakan setiap sumbu selalu memenuhi standar presisi nanometer manufaktur chip, untuk memastikan bahwa ukuran pola litografi chip akurat, kedalaman etsa seragam.
Memenuhi kebutuhan lingkungan yang bersih
Bengkel manufaktur semikonduktor perlu menjaga tingkat kebersihan yang tinggi untuk mencegah partikel debu mencemari chip. Material granit sendiri tidak menghasilkan debu, dan permukaannya halus, sehingga tidak mudah menyerap debu. Platform secara keseluruhan mengadopsi desain struktur tertutup sepenuhnya atau semi-tertutup untuk mengurangi masuknya debu dari luar. Sistem sirkulasi udara internal terhubung dengan sistem pendingin udara bersih di bengkel untuk memastikan kebersihan udara internal mencapai tingkat yang dibutuhkan oleh manufaktur chip. Dalam lingkungan yang bersih ini, komponen granit tidak akan terpengaruh kinerjanya karena erosi debu, dan komponen kunci seperti sensor presisi tinggi dan motor platform juga dapat beroperasi secara stabil, memberikan jaminan akurasi skala nano yang berkelanjutan dan andal untuk manufaktur chip, dan membantu industri semikonduktor untuk bergerak ke tingkat proses yang lebih tinggi.
Waktu posting: 14 April 2025