Di bidang pembuatan alur pada wafer semikonduktor, presisi adalah hal yang sangat penting. Alas granit yang biasa saja dapat menghasilkan lompatan kualitatif dalam kinerja peralatan pembuatan alur! "Kekuatan super" apa yang sebenarnya disembunyikannya? Mengapa dikatakan bahwa memilih alas granit yang tepat berarti Anda telah berhasil setengah jalan? Hari ini, kami akan mengajak Anda untuk mengungkapnya secara mendalam!
I. Kekuatan yang Melekat: Tiga "Keunggulan yang Melekat" dari Granit
Ketahanan terhadap gempa bumi sama stabilnya dengan Gunung Tai.
Granit memiliki kepadatan setinggi 2.800-3.100 kg/m³, dan strukturnya sepadat "benteng batu". Dalam lingkungan getaran frekuensi tinggi pada proses pembuatan alur wafer (peralatan membuat alur lebih dari 100 kali per menit), granit dapat menyerap lebih dari 90% energi getaran, seperti melengkapi peralatan dengan "teknologi canggih peredam kejut"! Data pengukuran dari pabrik chip tertentu menunjukkan bahwa setelah menggunakan alas granit, amplitudo getaran kepala pemotong alur telah berkurang dari 15μm menjadi 3μm, dan tepi alur mikro yang diukir menjadi sehalus cermin.
2. "Konstitusi tahan panas" Tidak takut terhadap perbedaan suhu
Material biasa "mengembang dan berubah bentuk" saat dipanaskan dan "menyusut dan berubah bentuk" saat didinginkan, tetapi koefisien ekspansi termal granit sangat rendah, yaitu 4-8×10⁻⁶/℃, yang hanya 1/5 dari logam! Bahkan jika suhu di bengkel berfluktuasi tajam hingga 10℃ dalam 24 jam, deformasinya kurang dari 0,01 mm dan hampir dapat diabaikan. Ini berarti bahwa terlepas dari pergantian siang dan malam atau pengoperasian yang lama dan pembangkitan panas peralatan, alas granit dapat menjaga posisi slot tetap "diam" sepanjang waktu.
3. Ketahanan aus yang tak tertandingi
Kekerasan Mohs granit mencapai 6 hingga 7, setara dengan batu kuarsa, dan ketahanan ausnya tiga kali lipat dari baja biasa! Di bawah gesekan frekuensi tinggi jangka panjang pada proses pembuatan alur wafer, permukaan alas hampir tidak aus. Setelah sebuah pabrik pengecoran menggunakan alas granit selama lima tahun, kerataannya masih terjaga dalam ±0,5μm/m saat diperiksa, dan akurasi pembuatan alur tetap konsisten, sehingga menghemat biaya kalibrasi dan penggantian peralatan secara signifikan.
II. Adaptasi yang Tepat: Bagaimana Granit Memenuhi Persyaratan Alur yang Berbeda?
Adegan 1: Pembuatan alur ultra-halus (alur mikro di bawah 10μm)
Persyaratan: Kerataan maksimal
Keunggulan Granite: Melalui pemrosesan presisi tinggi dengan penghubung lima sumbu, kerataan dapat dikontrol dalam ±0,5μm/m, yang berarti bahwa pada panjang 1 meter, kesalahan ketinggian 200 kali lebih tipis daripada sehelai rambut manusia! Memastikan bahwa jarak antara kepala pemotong alur dan wafer selalu tepat, dan kesalahan lebar alur mikro yang diukir tidak melebihi ±0,1μm.
Adegan 2: Pembuatan alur massal berkecepatan tinggi
Persyaratan: Performa peredaman guncangan super
Keunggulan granit: Sifat peredaman alami di dalamnya dapat dengan cepat meredam getaran peralatan. Setelah sebuah pabrik panel tertentu memperkenalkan alas granit, kecepatan pembuatan alur meningkat sebesar 40%, dan tingkat hasil produksi melonjak dari 85% menjadi 96%, sehingga menghasilkan keuntungan ganda berupa efisiensi produksi dan kualitas!
Adegan 3: Pembuatan alur di lingkungan yang kompleks (Suhu tinggi/korosi)
Persyaratan: Tahan suhu tinggi dan tahan korosi
Keunggulan granit: Stabilitas kimia yang sangat kuat, tahan terhadap korosi asam dan basa; Memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah dan tidak akan berubah bentuk bahkan pada suhu tinggi lokal (150℃) selama proses pembuatan alur laser. Sebuah alas granit yang digunakan di laboratorium tertentu dengan larutan pembuatan alur korosif telah digunakan terus menerus selama tiga tahun, dan permukaan alas tersebut tetap utuh.
III. Bagaimana Cara Memilih Alas Granit "Asli Berkualitas Tinggi"?
Perhatikan kepadatannya: Granit dengan kepadatan ≥2800kg/m³ memiliki struktur yang lebih padat.
Periksa sertifikasi: Pastikan untuk mengenali sertifikasi yang berwenang seperti ISO 9001 dan CNAS untuk menjamin kualitas.
Data verifikasi: Produsen wajib menyediakan laporan pengujian mengenai koefisien ekspansi termal (< 8×10⁻⁶/℃) dan kerataan (±0,5μm/m).
Pengujian di tempat: Ketuk bagian dasarnya. Suara yang jernih menunjukkan bahwa tidak ada retakan di dalamnya. Jika permukaan sentuhnya sehalus cermin, itu menunjukkan akurasi pemrosesan yang tinggi.
Kesimpulan: Pilih granit yang tepat dan menangkan separuh pertempuran dalam pembuatan alur!
Dari ketahanan terhadap benturan, panas, hingga keausan, alas granit, dengan "keindahan alami" dan "kekuatan yang tangguh", telah menjadi mitra emas untuk peralatan pembuatan alur wafer. Di era manufaktur semikonduktor saat ini yang mengejar presisi skala nano, alas granit berkualitas tinggi bukan hanya investasi pada peralatan tetapi juga jaminan jangka panjang untuk efisiensi produksi dan kualitas produk!
Waktu posting: 17 Juni 2025